专利名称：一种生产线上选择作业机台的方法及装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体生产领域，特别涉及一种半导体生产线上选择作业机台的方法及装置。
背景技术：
在半导体器件生产线中，需要用到多种作业机台，以完成不同的作业。对于工艺应用目的相同的机台，如果生产厂商或机台型号不同，其所实现的工艺性能也存在差异。例如，不同厂商生产的光刻涂胶机台，该机台用于涂布光刻胶，甲厂商生产的光刻涂胶机台带有化学去边功能，而乙厂商生产的光刻涂胶机台没有去边功能，为了防止后续作业时污染作业机台，对于没有进行化学去边的产品，需要通过曝光机台采用光学去边去除产品边缘光阻，而采用曝光机台进行光学去边会影响曝光机台约30%的产能，严重影响曝光机台的作业效率。可见，作业机台的选择，对于提高整个生产线的生产效率至关重要。、然而，目前的生产线上，作业员识别产品型号后，根据工艺要求选择作业机台，这就造成作业机台的选择完全依靠作业员的经验和判断，容易发生产品在不符合工艺要求的机台上生产而导致报废，存在较大的安全隐患，也增加了作业员的工作量，并且，由于每次都需要作业员选择作业机台后再进行生产，降低了生产效率。
发明内容
本发明提供一种生产线上选择作业机台的方法及装置，用以提高生产效率，避免人工选择作业机台带来的安全隐患。本发明实施例提供的具体技术方案如下一种生产线上选择作业机台的方法，包括获取半导体生产线上所需生产产品的产品型号；从针对作业机台设定的作业许可表中，查找与所述产品型号相对应的作业许可状态，若所述作业许可状态为允许，则选择所述作业机台进行生产作业。一种生产线上选择作业机台的装置，包括第一处理单元，用于获取半导体生产线上所需生产产品的产品型号；第二处理单元，用于从针对作业机台设定的作业许可表中，查找与所述产品型号相对应的作业许可状态，若所述作业许可状态为允许，则选择所述作业机台进行生产作业。基于上述技术方案，本发明实施例中，首先在MES系统中预设产品型号，并按照作业机台在整个生产流程中所处的作业阶段设定作业许可表，在该作业许可表中预设产品型号对应的生产程序的作业许可状态；在半导体生产线进行生产作业时，获取所需生产产品的产品型号，从针对作业机台设定的作业许可表中，查找与产品型号对应的作业许可状态，若作业许可状态为允许，则选择该作业机台进行生产作业。从而避免了每次生产时都由作业员根据工艺要求选择作业机台，对产品生产带来的安全隐患，有效地避免了由于作业员选择不符合工艺要求的机台进行生产，所造成的产品返工或报废，提高了半导体生产线的生产稳定性，并且，只需要作业员进行一次初始设定，半导体生产线即可根据该初始设定自动选择作业机台进行生产作业，避免了每次作业时都由作业员选择作业机台，从而优化了几台配置，能够合理安排机台进行生产作业，提高了生产效率。
图I为本发明实施例中生产线上选择作业机台的方法流程图；图2为本发明实施例中针对作业机台设定的作业许可表示意图；图3为本发明实施例中生产线上选择作业机台的装置结构图。
具体实施例方式为了提高生产效率，避免人工选择作业机台带来的安全隐患，本发明实施例提供 了一种生产线上选择作业机台的方法及装置。该方法为获取半导体生产线上所需生产产品的产品型号，从针对作业机台设定的作业许可表中，查找与上述产品型号相对应的作业许可状态，若作业许可状态为允许，则选择该作业机台进行生产作业。下面结合附图对本发明优选的实施例进行详细说明。如附图I所示，本发明实施例中，在生产线上选择作业机台的详细方法流程如下步骤101 :获取半导体生产线上所需生产产品的产品型号。本发明实施例中，在生产产品之前，需要在制造执行系统(ManufacturingExecution System, MES)中预设半导体生产线上所需生产产品的产品型号，并针对该产品型号依次预设整个生产流程的每个作业阶段所需的生产程序的标识。较佳地，在MES系统中预设生产批号和产品型号的对应关系，在开始生产之前，根据操作人员从操作界面输入的生产批号，获得产品型号，并进一步获得每个作业阶段所需的生产程序的标识。并在生产线作业之前，确定每个作业机台对应的作业阶段，并按照该作业阶段所需生产程序的标识，在作业机台的作业许可表中，对应产品型号预设作业许可状态。其中，生产程序为具体的作业指令，用于指示作业机台根据该作业指令完成相应的工艺生产。产品型号为属于同一类产品在生产过程中的唯一标识。例如，需要生产产品型号为R)206C的芯片，在其生产流程中，涂胶机台对应的生产程序的标识为11。步骤102 :从针对作业机台设定的作业许可表中，查找与产品型号相对应的作业许可状态，若作业许可状态为允许，则选择该作业机台进行生产作业。产品的整个生产流程可以划分为多个作业阶段，每个作业阶段可以对应一个或多个作业机台，在存在多个作业机台时，需要根据工艺需求从中选择一个作业机台进行相应的作业。其中，在针对作业机台设定作业许可表时，确定作业机台对应的作业阶段，并按照该作业阶段所需生产程序的标识，在作业机台的作业许可表中对应所述产品型号预设作业许可状态。本发明实施例中，可以根据如表I所示的工艺作业限制情况针对生产流程中的每个作业机台设定作业许可表，在该作业许可表中预设产品型号对应的生产程序的作业许可状态，如图2所示，若预设的产品型号对应的生产程序的作业许可状态为允许，则该作业机台针对该产品型号的产品按照允许作业的生产程序进行相应的作业。例如，在编号为“APTRK04”的作业机台中设定的作业许可表中，与产品型号“F0206C”对应的标识为“I”的生产程序和标识为“11”的生产程序为允许状态，则表示在该作业机台中，产品型号为“R)206C”产品按照标识为“ I”和“ 11 ”的生产程序进行生产作业。表I
权利要求
1.一种生产线上选择作业机台的方法，其特征在于，包括 获取半导体生产线上所需生产产品的产品型号； 从针对作业机台设定的作业许可表中，查找与所述产品型号相对应的作业许可状态，若所述作业许可状态为允许，则选择所述作业机台进行生产作业。
2.如权利要求I所述的方法，其特征在于，获取半导体生产线上所需生产产品的产品型号之前，包括 预设半导体生产线上所需生产产品的产品型号，并针对该产品型号依次预设整个生产流程的每个作业阶段所需生产程序的标识； 确定每个作业机台对应的作业阶段，并按照所述作业阶段所需生产程序的标识，在作业机台的作业许可表中，对应所述产品型号预设作业许可状态。
3.如权利要求I或2所述的方法，其特征在于，若当前作业阶段存在多种型号的作业机台时，从针对作业机台设定的作业许可表中，查找与所述产品型号相对应的作业许可状态，包括 分别从针对每个作业机台设定的作业许可表中，查找与所述产品型号相对应的作业许可状态，确定所有作业许可状态为允许的作业机台，并从中选择任意一个作业机台进行生产作业。
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，选择所述作业机台进行生产作业，包括 根据所述产品型号从所述作业机台中获取相应的标识为允许状态的生产程序进行生产作业。
5.一种生产线上选择作业机台的装置，其特征在于，包括 第一处理单元，用于获取半导体生产线上所需生产产品的产品型号； 第二处理单元，用于从针对作业机台设定的作业许可表中，查找与所述产品型号相对应的作业许可状态，若所述作业许可状态为允许，则选择所述作业机台进行生产作业。
6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，第一处理单元获取半导体生产线上所需生产产品的产品型号之前，预设半导体生产线上所需生产产品的产品型号，并针对该产品型号依次预设整个生产流程的每个作业阶段所需生产程序的标识，以及确定每个作业机台对应的作业阶段，并按照所述作业阶段所需生产程序的标识，在作业机台的作业许可表中，对应所述产品型号预设作业许可状态。
7.如权利要求5或6所述的装置，其特征在于，若当前作业阶段存在多种型号的作业机台时，第二处理单元从针对作业机台设定的作业许可表中，查找与所述产品型号相对应的作业许可状态，具体为 分别从针对每个作业机台设定的作业许可表中，查找与所述产品型号相对应的作业许可状态，确定所有作业许可状态为允许的作业机台，并从中选择任意一个作业机台进行生产作业。
8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，第二处理单元选择所述作业机台进行生产作业，具体为 根据所述产品型号从所述作业机台中获取相应的标识为允许状态的生产程序进行生产作业。
全文摘要
本发明公开了一种生产线上选择作业机台的方法及装置，避免人工选择作业机台带来的安全隐患，提高生产效率。该方法为获取半导体生产线上所需生产产品的产品型号，从针对作业机台设定的作业许可表中，查找与所述产品型号相对应的作业许可状态，若所述作业许可状态为允许，则选择所述作业机台进行生产作业。本发明同时公开了一种生产线上选择作业机台的装置。
文档编号H01L21/67GK102768940SQ20111011404
公开日2012年11月7日 申请日期2011年5月4日 优先权日2011年5月4日
发明者彭超群, 戴新华, 詹祥宇, 邵宗俞 申请人:北大方正集团有限公司, 深圳方正微电子有限公司