专利名称：一种模块化基板载物台及其应用设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及液晶显示器的制造技术，尤其涉及一种模块化基板载物台及其应用设备。
背景技术：
薄膜场效应晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，TFT-IXD)的制造过程可以分为三个阶段第一阶段、阵列(Array)工艺在一张较大的基板上形成若干独立的TFT像素阵列电路，每个像素阵列电路的区域对应一个液晶显示屏(panel)；第二阶段、贴膜(cell)工艺在TFT基板上涂布液晶，覆盖彩色滤光片，拼合成LCD面板并切割成独立的液晶显示屏；第三阶段、为液晶显示屏安装背光源，偏振片以及周边电路，形成完整的TFT-IXD。在制造工艺的过程中，绝大部分设备都设有可以上下运动的支撑架结构的载物台。当基板被机械手送至设备中时，支撑架会升起并撑住基板。现有技术中，采用这种配备支撑架结构的整体载物台会存在以下几个缺点1、整体的载物台必须依靠支撑架来承载基板以便取送，机械手取送基板的过程都需要很长时间，大部分时间都会花费在支撑架上下起落的时间；2、经过长期使用，载物台的表面或者部分就会出现异常，一旦有损坏就必须整体更换，不可能针对局部进行修复，整体更换载物台会花费较大的财力和物力；3、整体的载物台在使用当中，不容易对载物台的下方和死角处进行清理，会导致堆积大量灰尘，而在TFT制造行业中灰尘是最大的敌人，不仅影响品质还会对设备的正常运行造成较大影响；4、限制了载物台的载入方向，只能从一个方向上交换基板，限制了机械手的安放位置。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种模块化基板载物台及其应用设备，能够解决整体载物台必须依靠支撑架来承载基板等待取送的问题，进而解决了使用支撑架承载基板所带来的诸多不便。为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的本实用新型提供了一种模块化基板载物台，所述载物台包括基台；根据基板取送装置的需要安装于基台上的多个承载模块，所述多个承载模块的上表面处于同一平面内。其中，所述承载模块的形状、数量和安装位置根据基板取送装置的结构、以及取送基板的运动轨迹确定。其中，所述承载模块的形状采用顶端平整的各种柱状；所述多个承载模块对称的安装在基台的四周。[0014]其中，所述承载模块间有间隔，所述间隔大于所述基板取送装置的取送部位的最大截面尺寸。其中，每个承载模块设置有对自身高度进行校准的螺丝结构。本实用新型还提供了一种应用模块化基板载物台的设备，所述设备包括载物台； 所述载物台包括基台；根据基板取送装置的需要安装于基台上的多个承载模块，所述多个承载模块的上表面处于同一平面内。其中，所述承载模块的形状、数量和安装位置根据基板取送装置的结构、以及取送基板的运动轨迹确定。其中，所述承载模块的形状采用顶端平整的各种柱状；所述多个承载模块对称的安装在基台的四周。其中，所述承载模块间有间隔，所述间隔大于所述基板取送装置的取送部位的最大截面尺寸。 其中，每个承载模块设置有对自身高度进行校准的螺丝结构。本实用新型所提供的模块化基板载物台及其应用设备，所述载物台包括基台，并在基台上根据基板取送装置的需要安装有多个承载模块，所述多个承载模块的上表面处于同一平面内，使得机械臂可以从四个方向进出承载模块的间隙完成基板的取送，这样在流水线作业的过程中，基板的取送不再受到载物台的限制；如果承载模块发生损坏，可以仅对损坏的特定承载模块进行更换，这样能够降低维护的费用和复杂度；不必有等待支撑架的升起和降落时间，因此减少了取送基板的时间。这种结构对于清洁设备内部的灰尘来说有很大的帮助，使得载物台的清理更加方便，进而能减少灰尘、提高产品的品质。
图1本实用新型一种模块化基板载物台结构示意图。附图标记说明11-基台；12-承载模块。
具体实施方式
本实用新型的基本思想是在基台上根据基板取送装置的需要安装多个承载模块，所述多个承载模块的上表面处于同一平面内。下面通过附图及具体实施例对本实用新型做进一步的详细说明。图1为本实用新型一种模块化基板载物台结构示意图，如图1所示，所述载物台包括基台11，并在基台11上根据基板取送装置的需要安装有多个承载模块12，所述多个承载模块12的上表面处于同一平面内。具体的，所述基台11的材质可以是大理石。所述在基台11上根据基板取送装置的需要安装有多个承载模块12为根据基板取送装置的结构、以及取送基板的运动轨迹，选择承载模块12的形状、数量和安装位置，并安装在基台11上。其中，所述承载模块12的形状采用顶端平整的各种柱状，例如圆柱体、 长方体、正方体等。在实际应用中，所述多个承载模块12至少要对称的安装在基台11的四周。所述承载模块12的形状、数量和安装位置都需要根据基板取送装置的需要进行选择，并且还需要保证基板能够平稳的放置在多个承载模块12上。以图1为例，一共有16个承载模块12，以 4行4列的排列方式安装在基台11上，并且相邻的承载模块12间具有等宽的间隙。其中， 承载模块12间的间隙足以使得基板取送装置正常工作，示例性的，如果基板取送装置与基板接触的部位叫做取送部位，那么，承载模块12间的间隙大于所述基板取送装置的取送部位的最大截面尺寸。例如机械臂能够正常进出。所述多个承载模块12的上表面处于同一平面内可以利用螺丝结构对每个承载模块12的高度进行校准，从而解决了放置基板时平衡度的问题。本模块化的基板载物台由于没有涉及支撑架结构，对基板进行取送时基板取送装置直接伸入伸出即可，不必有等待支撑架的升起和降落时间，因此减少了取送基板的时间。需要特别说明的是，图1中并未体现用于校正基板位置的夹紧(clamp)结构、吹基板的气孔、以及真空吸附装置。在图1中，基板取送装置以机械臂为例，图1中箭头所示方向为机械臂的出入口。由图1中可以看出，机械臂可以从四个方向进出承载模块12的间隙完成基板的取送，这样在流水线作业的过程中，基板的取送不再受到载物台的限制。进一步的，如果承载模块12发生损坏，可以仅对损坏的特定承载模块进行更换， 这样能够降低维护的费用和复杂度。再进一步的，多个承载模块12为了方便机械臂的进出设有间隙，这种结构对于清洁设备内部的灰尘来说有很大的帮助，使得载物台的清理更加方便。由于在模块间的缝隙是有气流通过，因此可以增加离子吹风可以降低静电击穿的现象。进一步地，本实用新型实施例还提供一种应用模块化基板载物台的设备，该设备包括前述实施例中图1所示的载物台。这里，所述应用设备可以为TFT-LCD制造过程中所有需要载物台承载基板的设备。以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种模块化基板载物台，其特征在于，所述载物台包括基台；根据基板取送装置的需要安装于基台上的多个承载模块，所述多个承载模块的上表面处于同一平面内。
2.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于，所述承载模块的形状、数量和安装位置根据基板取送装置的结构、以及取送基板的运动轨迹确定。
3.根据权利要求2所述的载物台，其特征在于，所述承载模块的形状采用顶端平整的各种柱状；所述多个承载模块对称的安装在基台的四周。
4.根据权利要求2所述的载物台，其特征在于，所述承载模块间有间隔，所述间隔大于所述基板取送装置的取送部位的最大截面尺寸。
5.根据权利要求1、2、3或4所述的载物台，其特征在于，每个承载模块设置有对自身高度进行校准的螺丝结构。
6.一种应用模块化基板载物台的设备，其特征在于，所述设备包括载物台；所述载物台包括基台；根据基板取送装置的需要安装于基台上的多个承载模块，所述多个承载模块的上表面处于同一平面内。
7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述承载模块的形状、数量和安装位置根据基板取送装置的结构、以及取送基板的运动轨迹确定。
8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，所述承载模块的形状采用顶端平整的各种柱状；所述多个承载模块对称的安装在基台的四周。
9.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，所述承载模块间有间隔，所述间隔大于所述基板取送装置的取送部位的最大截面尺寸。
10.根据权利要求6、7、8或9所述的设备，其特征在于，每个承载模块设置有对自身高度进行校准的螺丝结构。
专利摘要本实用新型公开了一种模块化基板载物台，所述载物台包括基台；根据基板取送装置的需要安装于基台上的多个承载模块，所述多个承载模块的上表面处于同一平面内。本实用新型还公开了一种应用模块化基板载物台的设备，应用上述载物台和设备，使得在流水线作业的过程中基板的取送不再受到载物台的限制；如果承载模块发生损坏，可以仅对损坏的特定承载模块进行更换，这样能够降低维护的费用和复杂度；这种结构对于清洁设备内部的灰尘来说有很大的帮助，使得载物台的清理更加方便。
文档编号H01L21/683GK202217652SQ20112026728
公开日2012年5月9日 申请日期2011年7月26日 优先权日2011年7月26日
发明者唐涛, 曹宇, 魏广伟, 黄雄天 申请人:北京京东方光电科技有限公司