专利名称：一种石墨舟的制作方法
技术领域：
一种石墨舟技术领域[0001]本实用新型涉及一种太阳能电池片加工设备，尤其是一种石墨舟，具体地说是降低石墨舟插取硅片碎片率的设备，属于太阳能电池片加工的技术领域。
背景技术：
[0002]随着太阳能电池片的需求不断增长，各电池片生产商都想在不增加设备、动力和气体的情况下提高产品质量，同时也降低成本。石墨舟通常由石墨舟片、石墨块等零部件组合形成。目前市场上作业员在插、取硅片时有产生碎片现象，影响了硅片镀膜生产效率。发明内容[0003]本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种石墨舟，其结构简单紧凑，安装使用方便，降低硅片的破碎率，提高了硅片镀膜的效率，降低加工成本，适应性好，安全可靠。[0004]按照本实用新型提供的技术方案，所述石墨舟，包括若干依次交错分布的第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片；所述第一石墨舟片、第二石墨舟片、 第三石墨舟片及第四石墨舟片间通过石墨棒及石墨螺母串接后紧固连接；所述第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间均通过陶瓷管相隔离，所述陶瓷管套在石墨棒上；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间端部的石墨棒上套有石墨块；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片对应的端部均通过相应的石墨块相隔离；所述陶瓷管的长度为10. 98mnTll. 02mm,陶瓷管的外径为 9. 95mnTlO. 05mm,陶瓷管的内径为6.广6. 3mm ；所述石墨棒的直径为5. 9mnT6mm ；所述第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片上均设置有石墨棒安装孔，所述石墨棒安装孔的孔径为6. lmnT6. 5mm。[0005]所述第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间对应相邻的表面均安装若干硅片；所述第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片上对应安装硅片的外圈设置第一固定工艺点、第二固定工艺点及第三固定工艺点；硅片通过第一固定工艺点、第二固定工艺点及第三固定工艺点安装固定于相应的石墨舟片上。[0006]本实用新型的优点第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片依次交错分布；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片通过石墨棒及石墨螺母串接后紧固连接；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间通过陶瓷管及石墨块相隔离；通过石墨棒与对应的石墨舟片间隙配合，陶瓷管与石墨棒的间隙配合，并通过调整陶瓷管的尺寸及陶瓷管与石墨棒安装孔的对应配合，能够增加石墨舟片插取的空间，降低插取过程中的碎片率，结构简单紧凑，安装使用方便，降低硅片的破碎率，提高了硅片镀膜的效率，降低加工成本，适应性好，安全可靠。
[0007]图1为本实用新型的结构示意图。[0008]图2为本实用新型第一石墨舟片的结构示意图。
具体实施方式
[0009]下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。[0010]如图广图2所示本实用新型包括石墨螺母1、石墨棒2、第一固定工艺点3、第二固定工艺点4、第三固定工艺点5、第一石墨舟片6、石墨块7、第二石墨舟片8、陶瓷管9、第一石墨棒安装孔10、固定片11、第一固定片安装孔12、第二固定片安装孔13、硅片14、舟片体15、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17。[0011]如图1和图2所示所述石墨舟包括若干依次交错分布的第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17，即第二石墨舟片8位于第一石墨舟片6与第三石墨舟片16间，第三石墨舟片16位于第二石墨舟片8与第四石墨舟片17间，第四石墨舟片17位于第三石墨舟片16及对应相邻的第一石墨舟片6间；依照上述若干交错分布的第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17通过石墨棒2串接成一体，且石墨棒2的端部设置石墨螺母1，通过石墨棒2与石墨螺母1的对应配合，使得第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17与石墨棒2紧固连接。第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17间均通过陶瓷管 9相隔离，陶瓷管9套在相应的石墨棒2上，且陶瓷管8与石墨棒2间隙配合。陶瓷管9长度为10. 98mnTl 1. 02mm,陶瓷管9的外径为9. 95mnTlO. 05mm,陶瓷管9的内径为6. Γ6. 3mm。 石墨棒2的直径为5. 9mnT6mm。第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17的端部均设置对称分布的舟片固定片，所述对应的舟片固定片通过石墨棒2及石墨螺母2紧固连接，且对应的舟片固定片间通过石墨块7相隔离。[0012]第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17对应相邻的表面安装硅片14，即对应最外侧石墨舟片的表面上不安装硅片14。第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17对应于安装硅片14的外圈设置第一固定工艺点3、第二固定工艺点4及第三固定工艺点5，通过在第一固定工艺点3、第二固定工艺点4及第三固定工艺点5安装相应的固定机构能够将硅片14安装于相应的石墨舟片上。 其中，第二固定工艺点4与第三固定工艺点5位于硅片14的同一侧，第一固定工艺点3位于硅片14的下方，通过三个固定工艺点5能够将硅片14安装于对应的石墨舟片上。[0013]所述第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17的结构相对应，下面以第一石墨舟片6为例来进行说明。所述第一石墨舟片6包括舟片体15，所述舟片体15—侧的两端设置对称分布的固定片11，所述固定片11从舟片体15的端部向外延伸。固定片11上设置第一固定片安装孔12及第二固定片安装孔13 ；所述第一固定片安装孔12及第二固定片安装孔13与舟片体15上相应的第一石墨棒安装孔10的孔径相一致，从而能够与石墨棒2对应间隙配合。石墨棒2穿过相应的第一固定片安装孔12、第二固定片安装孔13，从而能够将相应的石墨舟片串接在一起。第一石墨棒安装孔10、第二固定片安装孔12及第二固定片安装孔13的孔径为6. ImnTe. 5mm ；同时将第一石墨舟片6上对应于设置固定片11另一侧的第一石墨棒安装孔10偏移，以避免安装硅片14时产生的碰撞。为了方便第一石墨棒安装孔10均勻分布于舟片体15上。第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17的中间部分与舟片体15的结构相同，第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17上相应的固定片11位置与第一石墨舟片6上的固定片11位置不同；石墨舟片对应端部的固定片11间通过石墨棒2串接后再通过石墨块7相隔离。如图1和图2所示使用时，在第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16 及第四石墨舟片17间相对应的表面上安装硅片14，硅片14通过第一固定工艺点3、第二固定工艺点4及第三固定工艺点5安装固定。插取舟片时，将相应的石墨舟片安装在石墨棒2 上，端部的石墨棒2安装石墨螺母1。在安装下一个对应的石墨舟片时，先在石墨棒2上套陶瓷管9及石墨块7，并依次安装其余相应的石墨舟片，达到第一石墨舟片6、第二石墨舟片 8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17交错分布的设置。安装固定后，可以对石墨舟片上的硅片 14 进行 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor D印osition)等操作。通过对石墨棒2、陶瓷管9及石墨舟片上相应的孔径设置，能够降低舟片在插取过程中的破碎率。本实用新型第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17 依次交错分布；第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片16及第四石墨舟片17通过石墨棒2及石墨螺母1串接后紧固连接；第一石墨舟片6、第二石墨舟片8、第三石墨舟片 16及第四石墨舟片17间通过陶瓷管9及石墨块7相隔离；通过石墨棒2与对应的石墨舟片间隙配合，陶瓷管9与石墨棒2的间隙配合，并通过调整陶瓷管9的尺寸及陶瓷管9与石墨棒安装孔的对应配合，能够增加石墨舟片插取的空间，降低插取过程中的碎片率，结构简单紧凑，安装使用方便，降低硅片的破碎率，提高了硅片镀膜的效率，降低加工成本，适应性好，安全可靠。
权利要求1.一种石墨舟，包括若干依次交错分布的第一石墨舟片(6)、第二石墨舟片(8)、第三石墨舟片(16)及第四石墨舟片(17)；所述第一石墨舟片(6)、第二石墨舟片(8)、第三石墨舟片(16)及第四石墨舟片(17)间通过石墨棒(2)及石墨螺母(1)串接后紧固连接；所述第一石墨舟片(6)、第二石墨舟片(8)、第三石墨舟片(16)及第四石墨舟片(17)间均通过陶瓷管(9)相隔离，所述陶瓷管(9)套在石墨棒(2)上；第一石墨舟片(6)、第二石墨舟片(8)、 第三石墨舟片(16)及第四石墨舟片(17)间端部的石墨棒(2)上套有石墨块(7)；第一石墨舟片(6)、第二石墨舟片(8)、第三石墨舟片(16)及第四石墨舟片(17)对应的端部均通过相应的石墨块(7)相隔离；其特征是所述陶瓷管(9)的长度为10. 98mnTll. 02mm,陶瓷管 (9)的外径为9. 95mnTlO. 05mm，陶瓷管(9)的内径为6.广6. 3mm;所述石墨棒(2)的直径为 5. 9mnT6mm ；所述第一石墨舟片(6)、第二石墨舟片(8)、第三石墨舟片(16)及第四石墨舟片 (17)上均设置有石墨棒安装孔，所述石墨棒安装孔的孔径为6. ImnTe. 5mm。
2.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征是所述第一石墨舟片(6)、第二石墨舟片 (8)、第三石墨舟片(16)及第四石墨舟片(17)间对应相邻的表面均安装若干硅片(14);所述第一石墨舟片(6)、第二石墨舟片(8)、第三石墨舟片(16)及第四石墨舟片(17)上对应安装硅片(14)的外圈设置第一固定工艺点(3)、第二固定工艺点(4)及第三固定工艺点(5)； 硅片(14)通过第一固定工艺点(3)、第二固定工艺点(4)及第三固定工艺点(5)安装固定于相应的石墨舟片上。
专利摘要本实用新型涉及一种石墨舟，其包括交错分布的第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间通过石墨棒及石墨螺母串接后紧固连接；所述第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间均通过陶瓷管相隔离；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间端部的石墨棒上套有石墨块；陶瓷管的长度为10.98mm~11.02mm，外径为9.95mm~10.05mm，内径为6.1~6.3mm；石墨棒的直径为5.9mm~6mm；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片上均设置有石墨棒安装孔，石墨棒安装孔的孔径为6.1mm~6.5mm。本实用新型降低硅片的破碎率，提高了硅片镀膜的效率，降低加工成本，适应性好，安全可靠。
文档编号H01L31/18GK202308005SQ201120412558
公开日2012年7月4日 申请日期2011年10月25日 优先权日2011年10月25日
发明者代宁, 尤耀明, 李文虎 申请人:无锡绿波新能源设备有限公司