专利名称：一种物料系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及到半导体的自动生产设备技术领域，尤其是涉及到焊线机、LED固晶机和LED点胶机的走料及物料台相结合的物料系统方面。
背景技术：
焊线机是应用于发光二极管(LED)、激光管、三极管、集成电路和一些特殊半导体器件的内引线焊接的设备。LED固晶机是LED生产中固晶的设备，晶是LED晶片，LED晶片为LED发光的半导体晶片。 LED点胶机是LED生产中点胶的设备，胶可以用于固定LED晶片，含荧光粉的胶可以用于焊好线的LED含有荧光粉，胶还可以用于焊好线的LED的封装。现有上述设备存在自动化程度不高，有的甚至人工放置物料至物料台，生产效率低。物料是指生产半导体产品或者半导体应用产品所需的原材料。
发明内容
综上所述，本发明的目的在于解决现有半导体的自动生产设备存在生产效率低的技术不足，而提出一种物料系统。为解决本发明所提出的技术问题，采用的技术方案为一种物料系统，包括有送料机构、取料机构及设于送料机构和取料机构之间的物料台机构；其特征在于所述的送料机构或者所述的取料机构包括有用于放置物料和推动物料移动的托料架，或者所述的送料机构和所述的取料机构包括有用于放置物料和推动物料移动的托料架，托料架连接有驱动托料架水平移动的托料架水平驱动机构，所述的物料台机构包括有基座支架，基座支架上设有用于弹性下压物料的压料机构，基座支架还设有供托料架移动的托架凹槽。所述的托料架连接有驱动托料架上下移动的托料架上下驱动机构，所述的托料架上设有物料卡槽。所述的物料台机构设有用于驱动物料台旋转的物料台旋转机构。所述的物料台机构设有用于驱动物料台水平移动的物料台水平移动机构。所述的物料台机构包括有水平夹持机构，水平夹持机构包括有前夹块和后夹块；所述的前夹块和后夹块的其中一夹块与基座支架水平滑动连接，另一夹块与基座支架固定连接，与基座支架水平滑动连接的夹块连接有推动该夹块开启的水平开夹电机，与基座支架水平滑动连接的夹块与基座支架间连接有弹簧；或所述前夹块和后夹块均与基座支架水平滑动连接，其中一夹块连接有推动该夹块开启的水平开夹电机，所述前夹块和后夹块分别与基座支架间连接有弹簧。所述的送料机构设有设于托料架侧边位置的入料导向挡片，所述的收料机构设有设于托料架侧边位置的收料导向挡片。
所述的送料机构还包括有走料支架、放料架及用于将走料支架上的物料夹起放到放料架的夹取料机构，夹取料机构包括有夹料爪，夹取料机构有第一物料感应开关，走料支架处有第二物料感应开关，放料架处有第三物料感应开关。所述的送料机构还包括有供料机构，供料机构包括有料斗支架，料斗支架中设有物料盒，物料盒内壁设有将物料分层隔置的料槽，在物料盒的底部设有用于托起物料盒的托板，托板与料斗支架间设有控制物料盒逐渐下降的丝杆螺母和配套丝杆，丝杆的顶端连接有驱动丝杆旋转的丝杆电机；在所述走料支架上设有用于将物料盒中的物料逐个夹出拖至走料支架上的取料夹；供料机构还包括有用于将物料盒向前推出的左物料盒推出机构。所述的送料机构还包括有用于将放置在左料盘中的物料抬起后移动到走料支架上的物料叉条，物料叉条连接有驱动物料叉条上下、前后及左右移动的物料叉条驱动机构。
所述的取料机构还包括有右放料架，右放料架连接有驱动右放料架上下及左右移动将物料放到右料盘的右放料架驱动机构；或者右放料架连接有用于将右放料架上的物料夹住放到右料盘的右夹取料机构；右放料架处有第四物料感应开关，右夹取料机构有第五物料感应开关。所述的取料机构还包括收料机构；所述的收料机构包括有右料斗支架，右料斗支架中设有右物料盒，右物料盒内壁设有将物料分层隔置的料槽，在右物料盒的底部设有用于托起右物料盒的取料托板，取料托板与右料斗支架间设有控制右物料盒逐渐下降的丝杆螺母和配套丝杆，丝杆的顶端连接有驱动丝杆旋转的电机。所述的取料机构包括有用于右料盘前后移动的右料盘驱动机构。本发明的有益效果为本发明可以实现自动将物料送入到物料台机构中，物料在物料台机构中夹持固定，供焊接机构进行焊接操作，或者供固晶机构进行固晶操作，或者供点胶机构进行点胶操作，操作完毕后，由取料机构自动将物料从物料台中取出，提高了机器的自动化程度，提高了生产效率，有利于降低半导体产品的成本或者半导体应用产品(比如COB LED、显示屏、照明灯和数码管等)的成本，COB LED也称为LED COB芯片集成封装，本发明还可以实现如下功能没有引脚的物料以及带有引脚的物料自动送入到物料台机构中，自动在物料台机构中夹持固定，自动随物料台机构移动(物料台机构如果能移动时)，自动从物料台机构中取出。如一些直插LED、大功率LED和贴片LED可以用P C B板LED或者金属基板LED或者陶瓷基板LED来生产(也称为COB LED或者为LED COB封装，比如显示屏、照明灯和数码管等)，不需要直插LED支架、大功率LED支架和贴片LED支架，有利于节省原材料，不需要支架切脚等工艺，有利于改进工艺，利于多方面降低半导体产品或者半导体应用产品(比如显示屏、照明灯和数码管等)的成本。物料台机构底部设有物料台旋转机构，能够多方向焊线，就有利于布线，如一些PC B板LED、金属基板LED和陶瓷基板LED等就可以减少布线层数量或者减小板的面积，利于降低半导体产品或者半导体应用产品(比如显示屏、照明灯和数码管等)的成本。
图1为本发明的整体结构示意图2为本发明的供料机构、走料支架、放料架及夹取料机构的前斜侧面立体结构示意 图3为本发明的供料机构、走料支架、放料架及夹取料机构的后斜侧面立体结构示意
图4为本发明的供料机构及走料支架分解结构示意 图5为本发明的夹取料机构及托料架的背面结构示意 图6为本发明的物料台机构的立体结构示意 图7为本发明的物料台机构的分解结构示意图； 图8为图7的背面结构意 图9为本发明的物料台机构和取料机构的立体结构示意图。
具体实施例方式以下结合附图和本发明的一种具体实施例对本发明的结构作进一步地说明。参照图1至图9中所示，本发明主要由送料机构1、物料台机构2及取料机构3三大部分组成。物料台机构2介于送料机构I与取料机构3之间，物料被送料机构I送入物料台机构2中供焊接机构进行焊接操作，或者供固晶机构进行固晶操作，或者供点胶机构进行点胶操作，操作完毕后，由取料机构3取出，物料是指生产半导体产品或者半导体应用产品所需的原材料。送料机构I包括有供料机构11、走料支架12、夹取料机构13、放料架14及托料架15。物料在送料机构I中的工作流程为首先，将分层隔置在供料机构11中的物料移动到走料支架12上；然后，夹取料机构13将走料支架12上移动到放料架14上；最后，托料架15将放料架14上的物料移动到物料台机构2中。供料机构11包括有料斗支架111，料斗支架111中设有物料盒112，物料盒112内壁设有将物料分层隔置的料槽1121，物料可以采用手动方式插入至物料盒112的料槽1121中，或者采用其它专用设备将物料插入至物料盒112的料槽1121中，物料在物料盒112中呈水平多层叠放，各层彼此分隔开；为了适应不同尺寸的物料，物料盒112的前后侧板通过间距可调结构连接，料斗支架111的前后支架也通过间距可调结构连接，在料斗支架111左右支架也可以通过间距可调结构连接。为了便于向走料支架12供料，在物料盒112的底部设有用于托起物料盒112的托板113，托板113与料斗支架111间设有丝杆螺母114和配套丝杆115，丝杆115的顶端连接有驱动丝杆115旋转的丝杆电机116，丝杆电机116的电机固定座通过中间板与料斗支架111固定连接，也即是丝杆电机116驱动丝杆115旋转过程中丝杆螺母114沿丝杆115上或下移动，由于丝杆螺母114与托板113固定连接的，托板113从物料盒112底部将其托住的，螺母114沿丝杆115下移时，物料盒112的逐渐下降，物料盒112中的物料从底部逐个向走料支架12中供应。料斗支架111中可以同时放入I个或I个以上的物料盒112，在料斗支架111底部设有用于将物料盒112向前推出的左物料盒推出机构117 ;左物料盒推出机构117包括有前后水平设置的物料盒滑槽1171，以及设于物料盒滑槽1171中的前后推动机构1172，前后推动机构1172可以是电机、皮带、滑轨及推料架构成，电机通过皮带驱动推料架沿滑轨前后移动，当供应完物料的空物料盒112下降至物料盒滑槽1171中之后，前后推动机构1172从该空物料盒112的背面将其沿物料盒滑槽1171向前推出。在料斗支架111上设有一个或者I个以上弹性锁销118，在每一个物料盒112顶部四个角处设有一个或者I个以上供弹性锁销118弹性进入的缺口，当供应状态的物料盒下降至供应位，也即是供应状态的物料盒中最底层物料及将被夹取拖出至走料支架12上之前的位置时，弹性锁销118弹入至缺口中，阻挡上方非供应状态的物料盒继续下降，便于空物料盒被推出，在空物料盒被推出之后，丝杆电机116反转，托板113上升，托板113上设有与弹性锁销Il8配合的斜切面，托板113上升至托举非供应状态的物料盒之前，通过托板113上斜切面使得弹性锁销118后退解锁，随后，丝杆电机116正转，托板113下降，此时非供应状态的物料盒转化成为供应状态的物料盒，随托板113的下降而下降。供料机构11除上述结构之外，还可以采用薄片结构的物料叉条，以及驱动物料叉条上下、前后及左右移动的物料叉条驱动机构代替。该结构主要针对物料整齐地摆放在左料盘(放置物料的盘子,上方开口形状)中时的供料,通过物料叉条插入至左料盘中物料底部，在物料叉条驱动机构的驱动下然后将物料抬起后移动到走料支架12上的水平走料槽121中，此方式左料盘代替了物料盒112，此方式走料支架12可以不含有取料夹122及取料 夹122的驱动部分。供料机构11还可以采用前后移动的左料盘驱动机构代替，该结构主要针对物料整齐地摆放在左料盘中时的供料，左料盘驱动机构驱动左料盘前后移动，左料盘中的物料随左料盘移动到放料架14左边对应处，此方式左料盘代替了物料盒112和走料支架12，此方式可以不含有取料夹122及取料夹122的驱动部分。走料支架12包括有与供料机构11对接的水平走料槽121之外，还包括有用于将物料盒112中的物料逐个夹出拖至走料支架上的取料夹122。取料夹122插入到物料盒112中，通过弹性夹持或电机控制夹持将物料盒112中的物料由左向右水平拖至走料支架12的水平走料槽121中。取料夹122连接滑块1221，滑块1221套接在滑轨1222上，滑轨1222固定在水平走料槽121侧边，滑块1221通过皮带1224连接有电机1223，电机1223的驱动下滑块1221及取料夹122水平左右滑动。为了感应取料夹122是否将物料盒112中的物料拖至水平走料槽121右端供夹取料机构13夹取位置，在走料支架12上的相应位置设有第二物料感应开关。取料夹122或者用能上下活动的挡块代替，此时挡块往左移动到物料盒112中的物料的左边再上移，再右移推动物料进入水平走料槽121中，取料夹122或者用上下不能活动的挡块代替，此时取料夹122的驱动部分位于物料盒112左边，取料夹122的驱动部分驱动取料夹122左右移动，取料夹122往右移动时推动物料进入水平走料槽121中。夹取料机构13，用于将走料支架12上的物料夹起放到放料架14 ;夹取料机构13包括有夹料爪131，为实现夹料爪131上下移动，夹料爪131安装在爪上下驱动机构132上；爪上下驱动机构132包括有一个连接夹料爪131的上下滑块1321，上下滑块1321套于竖立的滑轨1322上，上下滑块1321通过皮带1324连接驱动上下滑块1321沿滑轨1322上下滑动的电机1323。为了实现夹料爪131左右水平移动，爪上下驱动机构132安装在爪左右驱动机构133上；爪左右驱动机构133包括有一个连接爪上下驱动机构132的左右滑块1331，左右滑块1331套于水平的滑轨1332上，左右滑块1331通过皮带1334连接驱动左右滑块1331沿滑轨1332左右滑动的电机1333。夹料爪131由两片设有凸起(用于夹取物料时物料向上滑动的限位)的片状部件构成，夹料爪131的两片片状部件为左右方向设置或者前后方向设置或者上下方向设置，也即夹料爪131可实现左右夹、前后夹或上下夹，夹取料机构13的夹料爪131尾部设有第一物料感应开关，用于判断有没有物料及物料的位置。为了便于控制夹料爪131自动张开，夹料爪131尾部设置一个带偏心轮的电机，夹料爪131连接有用于夹料爪131关闭的弹簧。夹料爪131还可以由一个挡块或前后并排的多个挡块构成，此时夹料爪131不会张开及关闭，左右驱动机构133驱动夹料爪131往左移动到走料支架12上的物料的左边，爪上下驱动机构132驱动夹料爪131上下移动到可以推动物料，左右驱动机构133驱动夹料爪131往右移动将走料支架12上的物料移动到放料架14上。放料架14用于放置一片物料或多片物料，实现物料定位目的，为了感应放料架14中是否有物料放入到位，在放料架14处有第三物料感应开关；放料架14中设有供托料架15移入的间隔或凹槽，在托料架15移入之后，夹取料机构13开始将走料支架12上的物料夹起放到放料架14，之后托料架15向上抬适当高度之后向右移动，将物料移入物料台机构2。放料架14及走料支架12还可以设有便于物料放置及移动的间隔或凹槽或缺口，放料架14及走料支架12还可以设有用于压住物料的弹片或者连接有弹 簧的结构。放料架14及走料支架12还可以是一体结构。托料架15用于放置物料和推动物料移动，在托料架15上设有一个或者一个以上的物料卡槽150，每一个物料卡槽150中放置一块物料；当一个物料卡槽150时，卡槽150右端部位也可以不用凸起部分，超过一个物料卡槽150时最右边的卡槽150的右端部位也可以不用凸起部分。托料架15可以是单根的托料条，根据物料的宽度也可以两根或更多并排固定连接的托料条，图中以两根托料条为例说明。托料架15连接有驱动托料架15水平移动的托料架水平驱动机构151，托料架水平驱动机构151结构原理与前面所述的爪左右驱动机构133相同，在此不作详细说明。为了实现对托料架15上的物料进行校正调整后移入物料台机构2中，在托料架15的两侧设有入料导向挡片153。为了实现托料架15适当范围内的上下移动，托料架15与托料架水平驱动机构151之间设有驱动托料架15上下移动的托料架上下驱动机构152 ;托料架上下驱动机构152包括有带有一个或者一个以上缺口的偏心轮1524、安装偏心轮1524的电机1521和推动块1522，推动块1522与轴承1525固定连接，轴承1525通过推动块1522与托料架水平驱动机构151之间的弹簧靠紧有缺口的偏心轮1524，推动块1522通过固定连接托料架15的连接支架与托料架15固定连接，推动块1522向上移动时，托料架15也就向上移动，电机1521的驱动以及推动块1522与托料架水平驱动机构151之间的弹簧作用下托料架15完成上下移动，推动块1522还通过套接在滑轨1523上的滑块与滑轨1523滑动连接，滑轨1523以及电机1521分别通过部件与水平驱动机构151连接。托料架15还可以由压住物料的结构和推动物料的结构组成，压住物料的结构可以放置物料还可以左右移动用于推动物料接近到位，推动物料的结构可以左右移动用于推动物料准确到位
物料台机构2包括有基座支架21，基座支架21上设有供托料架15移动进入的一个或者一个以上的托架凹槽211，基座支架21上还可以设有便于如果有引脚的物料左右移动的一个或者一个以上的凹槽及缺口 ；基座支架21上设有用于弹性下压物料的压料机构22，压料机构22通过滑动结构221与基座支架21滑动连接，滑动结构221可以是导轨，压料机构22与基座支架21间设有弹簧222，压料机构22包括有压板223，在弹簧222的作用下，压板223将托料架15送入到基座支架21上的物料前后边缘压紧，或者压板223为了适应各种物料可以有各种形状，不同物料可以更换相适应的压板223，达到将基座支架21上的物料压紧目的，在压板223压到或者压紧基座支架21上的物料之后托料架15下降并向左退出，也可以在压板223压到或者压紧基座支架21上的物料之前托料架15下降并向左退出，物料台机构2下方的底板上设有带偏心轮的电机224，压料机构22固定连接有带有轴承的与电机224配合的顶杆225，在托料架15将物料送入基座支架21之前，在电机224的驱动下通过顶杆225将压料机构22顶部的压板223顶起。为了更好的固定基座支架21上的物料，物料台机构2包括有水平夹持机构23，水平夹持机构23包括有前夹块231和后夹块232 ；所述的前夹块231和后夹块232的其中一夹块与基座支架21水平滑动连接，另一夹块与基座支架21固定连接，与基座支架21水平滑动连接的夹块连接有推动该夹块开启的水平开夹电机233，与基座支架21水平滑动连接的夹块与基座支架21间连接有弹簧234 ;或所述前夹块231和后夹块232均与基座支架21水平滑动连接，其中一夹块连接有推动该夹块开启的水平开夹电机233，所述前夹块231和后夹块232分别与基座支架21之间连接有弹簧234 ;水平开夹电机233可以设于物料台机构2下方的底板上，为了空间紧凑，水平开夹电机233最好设于物料台机构2下方的底板的后方位置上，并且与前夹块231相配合。实施过程中为了增加旋转和移动功能，还可以在物料台机构2底部设有用于驱动物料台2旋转的 物料台旋转机构24，在物料台机构2底部或者当有物料台旋转机构24时在物料台旋转机构24底部设有用于驱动物料台2水平移动的物料台水平移动机构，也即物料台2在物料台水平移动机构作用下，可以水平状态中的前后、左右或前后左右移动。取料机构3可以采用于送料机构I相同原理的机构，工作程序相反。即取料机构3中包含有与送料机构I的托料架15相同结构的右托料架，右托料架用于将完成焊接、固晶或点胶操作后的物料从物料台机构2中拖出；除可以采用与送料机构I的放料架14、夹取料机构13和走料支架12相同结构的右放料架、右夹取料机构和右走料支架之外，还可以采用一个右放料架代替送料机构I的放料架14、夹取料机构13和走料支架12这三个机构，该右放料架连接有驱动右放料架上下及左右移动将物料放到右料盘31的右放料架驱动机构；或者右放料架连接有用于将右放料架上的物料夹住放到右料盘31的右夹取料机构；右放料架处有第四物料感应开关，右夹取料机构有第五物料感应开关。同样，取料机构3可以与供料机构11相同结构原理的收料机构。所述的收料机构包括有右料斗支架，右料斗支架中设有右物料盒，右物料盒内壁设有将物料分层隔置的料槽，在右物料盒的底部设有用于托起右物料盒的取料托板，取料托板与右料斗支架间设有控制右物料盒逐渐下降的丝杆螺母和配套丝杆，丝杆的顶端连接有驱动丝杆旋转的电机。所述的取料机构包括有用于右料盘前后移动的右料盘驱动机构。以上所述的各偏心轮有一个或者一个以上缺口，到达位置时偏心轮上缺口对应轴承，就能取消弹簧弹力使偏心轮旋转，达到推举状态保持的目的。以上所述的各电机驱动可以是电机通过皮带轮、皮带带动导轨中的滑动块移动，还可以是电机通过连接器、丝杆或者螺杆带动导轨中的滑动块移动，行程较小的还可以是电机通过有缺口的偏心轮、轴承带动导轨中的滑动块移动，以上的电机驱动包含有用于感应电机位置或者感应电机驱动部件位置的一个或者一个以上的感应器。以上所述的各导轨是指能直线运动的导轨，比如直线导轨、线性导轨、交叉滚子导轨和直线轴承与圆杆组成结构。夹料爪可以用轴承旋转圆弧运动方式开闭。
以上所述的除物料台旋转机构及物料台水平移动机构外的各电机驱动还可以用气缸驱动代替，行程较小的还可以用电磁铁驱动代替。物料系统的底板固定在整机底座的顶面上，物料系统的底板也可以就是整机底座，物料系统的底板也可以由多块板连接组成。以上的固定连接包含可调相对位置的固定连接方式。取料机构还可以有类似进料机构的用于将物料盒向前推出的右物料盒推出机构。 进料机构还可以有类似取料机构用于左料盘前后移动的左料盘驱动机构。
权利要求
1.一种物料系统，包括有送料机构、取料机构及设于送料机构和取料机构之间的物料台机构；其特征在于所述的送料机构或者所述的取料机构包括有用于放置物料和推动物料移动的托料架，或者所述的送料机构和所述的取料机构包括有用于放置物料和推动物料移动的托料架，托料架连接有驱动托料架水平移动的托料架水平驱动机构，所述的物料台机构包括有基座支架，基座支架上设有用于弹性下压物料的压料机构，基座支架还设有供托料架移动的托架凹槽。
2.根据权利要求1所述的一种物料系统，其特征在于所述的托料架连接有驱动托料架上下移动的托料架上下驱动机构，所述的托料架上设有物料卡槽。
3.根据权利要求1所述的一种物料系统，其特征在于所述的物料台机构设有用于驱动物料台旋转的物料台旋转机构。
4.根据权利要求1所述的一种物料系统，其特征在于所述的物料台机构设有用于驱动物料台水平移动的物料台水平移动机构。
5.根据权利要求1所述的一种物料系统，其特征在于所述的物料台机构包括有水平夹持机构，水平夹持机构包括有前夹块和后夹块；所述的前夹块和后夹块的其中一夹块与基座支架水平滑动连接，另一夹块与基座支架固定连接，与基座支架水平滑动连接的夹块连接有推动该夹块开启的水平开夹电机，与基座支架水平滑动连接的夹块与基座支架间连接有弹簧；或所述前夹块和后夹块均与基座支架水平滑动连接，其中一夹块连接有推动该夹块开启的水平开夹电机，所述前夹块和后夹块分别与基座支架间连接有弹簧。
6.根据权利要求1所述的一种物料系统，其特征在于所述的送料机构设有设于托料架侧边位置的入料导向挡片，所述的收料机构设有设于托料架侧边位置的收料导向挡片。
7.根据权利要求1所述的一种物料系统，其特征在于所述的送料机构还包括有走料支架、放料架及用于将走料支架上的物料夹起放到放料架的夹取料机构，夹取料机构包括有夹料爪，夹取料机构有第一物料感应开关，走料支架处有第二物料感应开关，放料架处有第三物料感应开关。
8.根据权利要求7所述的一种物料系统，其特征在于所述的送料机构还包括有供料机构，供料机构包括有料斗支架，料斗支架中设有物料盒，物料盒内壁设有将物料分层隔置的料槽，在物料盒的底部设有用于托起物料盒的托板，托板与料斗支架间设有控制物料盒逐渐下降的丝杆螺母和配套丝杆，丝杆的顶端连接有驱动丝杆旋转的丝杆电机；在所述走料支架上设有用于将物料盒中的物料逐个夹出拖至走料支架上的取料夹；供料机构还包括有用于将物料盒向前推出的左物料盒推出机构。
9.根据权利要求7所述的一种物料系统，其特征在于所述的送料机构还包括有用于将放置在左料盘中的物料抬起后移动到走料支架上的物料叉条，物料叉条连接有驱动物料叉条上下、前后及左右移动的物料叉条驱动机构。
10.根据权利要求1所述的一种物料系统，其特征在于所述的取料机构还包括有右放料架，右放料架连接有驱动右放料架上下及左右移动将物料放到右料盘的右放料架驱动机构；或者右放料架连接有用于将右放料架上的物料夹住放到右料盘的右夹取料机构；右放料架处有第四物料感应开关，右夹取料机构有第五物料感应开关。
11.根据权利要求1所述的一种物料系统，其特征在于所述的取料机构还包括收料机构；所述的收料机构包括有右料斗支架，右料斗支架中设有右物料盒，右物料盒内壁设有将物料分层隔置的料槽，在右物料盒的底部设有用于托起右物料盒的取料托板，取料托板与右料斗支架间设有控制右物料盒逐渐下降的丝杆螺母和配套丝杆，丝杆的顶端连接有驱动丝杆旋转的电机。
12.根据权利要求1所述的一种物料系统，其特征在于所述的取料机构包括有用于右料盘前后移动的右料盘驱动机构。
全文摘要
一种物料系统，涉及到半导体的一些生产设备的走料及物料台相结合的物料系统。解决现有半导体的生产设备存在生产效率低的技术不足，包括有送料机构、取料机构及设于送料机构和取料机构之间的物料台机构，所述的送料机构或者所述的取料机构包括有用于放置物料和推动物料移动的托料架，或者所述的送料机构和所述的取料机构包括有用于放置物料和推动物料移动的托料架，托料架连接有驱动托料架水平移动的托料架水平驱动机构，所述的物料台机构包括有基座支架，基座支架上设有用于弹性下压物料的压料机构，基座支架还设有供托料架移动的托架凹槽。这种物料系统，提高了生产效率，有利于降低半导体产品或者半导体应用产品的成本。
文档编号H01L21/677GK103021917SQ201210560580
公开日2013年4月3日 申请日期2012年12月21日 优先权日2012年12月21日
发明者邹志峰 申请人:邹志峰