专利名称：带有监控功能的硅片倒片机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体设备，尤其涉及一种带有监控功能的硅片倒片机。
背景技术：
由于半导体行业的特殊性，所涉及的产品以及设备都极其昂贵，所以对产品以及设备的保护就显得尤为重要，在产品的生产过程中，设备如果出现故障会对产品造成不良影响，尤其是刮伤或者破损，会造成相当大的经济损失。在现有的硅片倒片机运行过程中，由于故障发生时无人观察到现场状况，且没有 任何监控装置可以监控设备的运行状况，更不能将设备的运行过程进行记录，无法判断出故障原因，如果要重现故障进行分析，就可能会损坏设备或者其他产品。因此，如何提供一种能够对设备运行情况进行实时监控的硅片倒片机是本领域的技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种带有监控功能的硅片倒片机，以解决现有的硅片倒片机无法实时监控现场状况的问题。为解决上述技术问题，本实用新型提供一种带有监控功能的硅片倒片机，包括带有内腔的本体以及设于所述本体内部的机械手臂，还包括设于所述本体内部用于监控所述机械手臂运动过程的摄像装置以及与所述摄像装置相连接的监控系统。较佳地，所述摄像装置设于本体内腔上部的一个顶角处。较佳地，所述摄像装置采用通用串行总线摄像头。较佳地，所述摄像装置通过数据线连接至所述监控系统。较佳地，所述监控系统采用机台控制电脑，且所述机台控制电脑具有自动保存、自动删除以及显示的程序。本实用新型提供的带有监控功能的硅片倒片机，包括带有内腔的本体以及设于所述本体内部的机械手臂，还包括设于所述本体内部用于监控所述机械手臂运动过程的摄像装置以及与所述摄像装置相连接的监控系统。本实用新型将摄像装置安装在硅片倒片机的内腔内，利用摄像装置对所述硅片倒片机内部的运动情况进行监控，并将监控录像保存于所述监控系统中。本实用新型的有益效果包括I.当故障发生后，可以及时通过监控录像对故障进行分析和处理，缩短故障判断时间。2.避免对故障发生状况的猜测，保证故障处理方式的正确性。3.避免分析过程中对产品以及设备造成损害，节约成本。
[0016]图I为本实用新型一实施例的带有监控功能的硅片倒片机的结构示意图；图2为本实用新型一实施例的带有监控功能的硅片倒片机的工作过程示意图。图中1_本体、2-机械手臂、3-摄像装置、4-监控系统、5-数据线。
具体实施方式
以下将对本实用新型的带有监控功能的硅片倒片机结构作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例 的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。需说明的是，附图采用非常简化的形式且使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。本实用新型提供的带有监控功能的硅片倒片机，如图I所示，包括带有内腔的本体I以及设于所述本体I内部的机械手臂2，还包括设于所述本体I内部用于监控所述机械手臂2运动过程的摄像装置3以及与所述摄像装置3相连接的监控系统4。本实用新型将摄像装置3安装在硅片倒片机的内腔内，利用摄像装置3对所述硅片倒片机内部的运动情况进行监控，并将监控录像保存于所述监控系统4中，当故障发生后，可以及时通过监控录像对故障进行分析和处理，避免对故障发生状况的猜测，保证故障处理方式的正确性，缩短故障判断时间同时避免分析过程中对产品以及设备造成损害。较佳地，如图I所示，所述摄像装置3设于本体I内腔上部的一个顶角处。使得所述摄像装置3的视角尽可能大。较佳地,所述摄像装置3采用通用串行总线(USB,英文全称Universal SerialBUS)摄像头，具有练好的通用性。较佳地，如图I所示，所述摄像装置3通过数据线5连接至所述监控系统4，同样具有良好的通用性。较佳地，所述监控系统4采用机台控制电脑，且所述机台控制电脑具有自动保存、自动删除以及显示的程序。具体地，所述监控系统4的采样方式采用24小时不间断监控录像，对所述硅片倒片机进行监控；所述监控系统4的存储方式采用自动删除旧录像仅保存最近24小时的录像，这样既不占用过多的存储空间，又能够达到及时对故障进行分析处理的目的。所述带有监控功能的硅片倒片机的工作过程如图2所示，所述摄像装置3从所述本体I内采集到视频信号，通过数据线5的传输作用传递给所述监控系统4，所述监控系统4分别对信号进行保存及显示的处理，实现对所述硅片倒片机的实时监控作用，当保存的视频信号达到24小时，所述监控系统自动对其进行删除处理，以释放出足够的存储空间。综上所述，本实用新型提供的带有监控功能的硅片倒片机，包括带有内腔的本体I以及设于所述本体I内部的机械手臂2，还包括设于所述本体I内部用于监控所述机械手臂2运动过程的摄像装置3以及与所述摄像装置3相连接的监控系统4。本实用新型将摄像装置3安装在硅片倒片机的内腔内，利用摄像装置3对所述硅片倒片机内部的运动情况进行监控，并将监控录像保存于所述监控系统4中，当故障发生后，可以及时通过监控录像对故障进行分析和处理，避免对故障发生状况的猜测，保证故障处理方式的正确性，缩短故障判断时间同时避免分析过程中对产品以及设备造成损害，从而节约成 本。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种带有监控功能的硅片倒片机，包括带有内腔的本体以及设于所述本体内部的机械手臂，其特征在于，还包括设于所述本体内部用于监控所述机械手臂运动过程的摄像装置以及与所述摄像装置相连接的监控系统。
2.如权利要求I所述的带有监控功能的硅片倒片机，其特征在于，所述摄像装置设于本体内腔上部的一个顶角处。
3.如权利要求I所述的带有监控功能的硅片倒片机，其特征在于，所述摄像装置采用通用串行总线摄像头。
4.如权利要求I所述的带有监控功能的硅片倒片机，其特征在于，所述摄像装置通过数据线连接至所述监控系统。
5.如权利要求4所述的带有监控功能的硅片倒片机，其特征在于，所述监控系统采用机台控制电脑。
专利摘要本实用新型涉及一种带有监控功能的硅片倒片机，包括带有内腔的本体以及设于所述本体内部的机械手臂，还包括设于所述本体内部用于监控所述机械手臂运动过程的摄像装置以及与所述摄像装置相连接的监控系统。本实用新型将摄像装置安装在硅片倒片机的内腔内，利用摄像装置对所述硅片倒片机内部的运动情况进行监控，并将监控录像保存于所述监控系统中，当故障发生后，可以及时通过监控录像对故障进行分析和处理，避免对故障发生状况的猜测，保证故障处理方式的正确性，缩短故障判断时间同时避免分析过程中对产品以及设备造成损害，从而节约成本。
文档编号H01L21/67GK202601587SQ20122020018
公开日2012年12月12日 申请日期2012年5月4日 优先权日2012年5月4日
发明者桂纯钦, 潘达文, 金卫 申请人:上海华力微电子有限公司