专利名称：晶圆盒底座的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种晶圆盒底座，特别是一种在本体及FI锁机构之间设有两弹性机构、并于所述闩锁机构及透明底板之间设有一定位机构来避免相关组件锁扣不确实以防止晶圆被摔毁的晶圆盒底座。
背景技术：
为避免晶圆在运送过程中受到污染及碰撞，现有晶圆代工厂会利用一可运送及可密封的晶圆盒来放置及运送晶圆。请参考附图1所示，一种现有的晶圆盒，其包含一盒罩A、一晶圆放置架B及一晶圆盒底座C。所述晶圆盒底座C具有一本体91，所述本体91为一内部中空的盒体，其内部设有一闩锁机构92，其底部设有一透明底板93。所述盒罩A为一透明材质的盒罩A，其套设于所述本体91上形成一容置空间。所述晶圆放置架B设于所述本体91的顶面，用以承载多个晶圆(图未示)。如附图1所示，所述闩锁机构92包含一转动开关921及两对称设置的闩锁板922。所述转动开关921设有一枢接孔921a、两凸轮921b及两驱动销孔921c。所述枢接孔921a设于所述转动开关921的中心，所述两凸轮921b为对称的设在所述枢接孔921a的两侧，所述两驱动销孔921c分别为一盲孔，设于所述转动开关921的底部，且分别伸入所述两凸轮921b的内部。所述闩锁板922设有一抵接边922a及两卡掣部922b。如附图1所示，所述本体91内部中央设有一枢接座911，所述透明底板93中央设有一轴孔931，一枢接件a从底部向上依序穿过所述透明底板93的轴孔931、所述转动开关921的枢接孔921a及所述本体91的枢接座911。所述透明底板93进一步设有两弧型孔932，以供一外部的驱动装置(图未示)穿过所述两弧型孔932而插设于所述转动开关921的所述两驱动销孔921c内，以便控制所述转动开关921做一限定角度的转动，所述闩锁机构92具有一缩入位置(解锁状态)及一伸出位置(扣锁状态)。请再参考附图1所示，所述闩锁机构92的所述两闩锁板922为对称的设于所述转动开关921的两侧，受到弹性件(图未示)的作用，所述抵接边922a保持抵接于所述转动开关921的凸轮921b上。另外，相对于所述卡掣部922b的位置，所述本体91两相对的侧面共开设有四开口 912。当所述闩锁机构92处于解锁状态时，各所述卡掣部922b会位于所述本体91的各所述开口 912的内部；当转动开关921受外部驱动做一限定角度的转动时，所述凸轮921b抵接所述闩锁板922的抵接边922a，以推动所述两闩锁板922分别向外伸出一段距离。因此，当所述闩锁机构92处于扣锁状态时，各所述卡掣部922b会伸出所述本体91的各所述开口 912的外部，并且扣住所述盒罩A对应设置的卡槽Al内，进而使所述盒罩A与所述晶圆盒底座C形成密封的状态。如上所述，所述晶圆盒是借着所述闩锁机构92来确保所述盒罩A与所述晶圆盒底座C的锁固来形成密闭，以保护内部的所述晶圆放置架B(及放置其上的晶圆)。为检视所述闩锁机构92确实将所述盒罩A与所述晶圆盒底座C锁固，于所述本体91的各所述开口912的上方适当位置开设一检窗口 913。此外，于所述透明底板93与转动开关921之间设有一耐磨环933来避免两者因作动磨擦而产生粉尘的目的。如上所述，所述晶圆盒底座C的闩锁机构92平日呈一缩入位置(解锁状态)，若要所述盒罩A盖设在所述晶圆盒底座C上组装成一体以进行运送时，需借由外部的驱动装置(图未示)穿过所述两弧型孔932而插设于所述转动开关921的所述两驱动销孔921c内，以便控制所述转动开关921做一限定角度的转动，进而带动所述闩锁机构92呈伸出位置以达到扣锁状态。因此操作人员大多仅以目视方式观看检窗口 913来分析晶圆盒是否锁扣，并进行后续搬运流程。然而，长期使用所述晶圆盒后，由于相关组件摩擦老化或人为操作不确实，而造成所述闩锁机构92没有确实扣锁所述盒罩A，以致搬运过程中所述晶圆放置架B及所述晶圆盒底座C意外掉落的情况时常发生。故，有必要提供一种晶圆盒底座，以解决现有技术所存在的缺陷。
实用新型内容本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆盒底座，其为在本体及闩锁机构之间设有两弹性机构，使闩锁机构在无外力干涉下呈一伸出位置(扣锁状态)，使盒罩与晶圆盒底座组装时需将闩锁机构先进行解锁后再进行扣锁动作，以避免因组件之间扣锁不确实而造成的盒罩与晶圆盒底座意外分开，而造成晶圆被摔毁的情形。本实用新型的次要目的在于提供一种晶圆盒底座，其为在闩锁机构及透明底板之间设有一定位机构。当盒罩及晶圆盒底欲进行组装时，先利用外部的驱动装置控制转动开关做一限定角度的转动，进而带动闩锁机构呈缩入位置以达到解锁状态。此时再借由上述定位机构，使晶圆盒底座即便在没有外部的驱动装置的协助下仍可呈解锁状态，以便于盒罩及晶圆盒底的组装工作。为达上述的目的，本实用新型提供一种晶圆盒底座，其包含一本体、一闩锁机构、一透明底板以及两弹性机构。所述本体的两侧面形成至少两开口。所述闩锁机构设于所述本体之内，并所述闩锁机构具有一转动开关及两对称设置的闩锁板，所述闩锁板并设有卡掣部以对应于所述本体的开口，所述卡掣部在所述两开口内外之间伸出及缩入，以固锁所述盒罩。所述透明底板设于所述本体及闩锁机构的底部，所述透明底板方便由外部直接检视所述底座内部的组件使用情形，以确保所述闩锁机构是否确实固锁所述盒罩。此外，所述本体及所述闩锁机构之间设有两弹性机构，其中所述闩锁板因所述弹性机构的抵撑而使所述闩锁机构在无外力干涉下位于一伸出位置(扣锁状态)。在本实用新型的一实施例中，在所述闩锁机构及所述透明底板之间设有一定位机构，使所述晶圆盒底座在没有外部的驱动装置的协助下仍可呈解锁状态，以便于所述盒罩及所述晶圆盒底的组装工作。在本实用新型的一实施例中，所述弹性机构在所述本体底部设有两插座、两抵撑壁及两弹性件，并且所述两闩锁板上各设一插孔。在本实用新型的一实施例中，所述定位机构在所述闩锁机构的转动开关上设有一个以上的定位凸点。在本实用新型的一实施例中，所述定位机构在所述透明底板上对应设有至少一卡固组件。在本实用新型的一实施例中，所述卡固组件在透明底板上设有一载座、一抵持座及一^固件。
图1，现有的晶圆盒的立体分解图。图2，本实用新型第一实施例的晶圆盒的立体分解图。图3，本实用新型第一实施例的晶圆盒底座的扣锁状态的俯视图。图4，本实用新型第一实施例的晶圆盒底座的解锁状态的俯视图。主要组件符号说明I 本体11枢接座12开口2 闩锁机构21转动开关21a枢接孔21b凸轮21c驱动销孔21d定位凸点22闩锁板22a抵接边 22b卡掣部22c插孔3 透明底板31轴孔32弧型孔33耐磨环41插座42抵撑壁43弹性件431头端432中端433尾端5 定位机构511载座512抵持座513卡固件513a第一端513b第二端513c第三端91 本体911枢接座912 开口913 检窗口92闩锁机构921转动开关921a枢接孔921b凸轮921c驱动销孔922闩锁板922a抵接边922b卡掣部93透明底板931轴孔932弧型孔933垫片A 盒罩Al卡槽B 晶圆放置架C 晶圆盒底座D 晶圆盒底座a 枢接件
具体实施方式
为了使本实用新型的上述及其它目的、特征、优点能更明显易懂，下文将特举本实用新型较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。请参考附图2、3以及附图4所示，其中，附图2为本实用新型第一实施例的晶圆盒的立体分解图、附图3为晶圆盒底座的扣锁状态的俯视图，附图4为晶圆盒底座的解锁状态的俯视图。本实用新型第一实施例的晶圆盒包含一盒罩A、一晶圆放置架B及一晶圆盒底座D。所述晶圆盒底座D具有一本体I，所述本体I为一内部中空的盒体，其内部设有一闩锁机构2，其底部设有一透明底板3，此外于所述本体I及闩锁机构2之间设有两弹性机构，并于所述闩锁机构2及所述透明底板3之间设有至少一定位机构5。所述盒罩A为一透明材质的盒罩A，其套设于所述本体I上形成容置空间。所述晶圆放置架B设于所述本体I的顶面，用以承载多个晶圆(图未示)。如附图2所示，所述本体I包含一枢接座11 (如附图3所示)、数个开口 12。所述闩锁机构2包含一转动开关21及两对称设置的闩锁板22。所述转动开关21设有一枢接孔21a、两凸轮21b、两驱动销孔21c及一个以上的定位凸点21d。所述枢接孔21a设于所述转动开关21的中心，所述两凸轮21b对称的设在所述枢接孔21a的两侧，所述两驱动销孔21c分别为一盲孔，设于所述转动开关21的底部，且分别伸入所述两凸轮21b的内部。所述定位凸点21d设于所述转动开关21的圆型侧面。再者，所述闩锁板22各设有一抵接边22a、两卡掣部22b及一插孔22c。所述抵接边22a设于所述闩锁板22边缘且与所述两凸轮21b抵接，所述卡掣部22b设于所述转动开关21的两侧，所述插孔22c设于闩锁板22上。如附图2所示，所述透明底板3包含一环座(图未示)、一轴孔31、两弧型孔32及一耐磨环33。所述透明底板3中央设有所述环座，所述环座为一环型凹槽，其是选择以卡掣、螺固、共射成型、超音波或黏胶的方式结合一耐磨环33，所述环座的中央凸设有一岛状凸部(图未不)，其上开设有一轴孔31。所述本体I内部中央设有一枢接座11。再者，一枢接件a从底部向上依序穿过所述透明底板3的轴孔31、所述转动开关21的枢接孔21a及所述本体I的枢接座11。所述透明底板3进一步设有两弧型孔32，以供一外部的驱动装置(图未示)穿过所述两弧型孔32而插设于所述转动开关21的所述两驱动销孔21c内，以便控制所述转动开关21做一限定角度的转动，所述闩锁机构2具有一缩入位置(解锁状态)及一伸出位置(扣锁状态)。再者，所述弹性机构于所述本体I底部设有两插座41 (如附图3所示)、两抵撑壁42 (如附图3所示)及两弹性件43，并且所述两闩锁板22上各设有一插孔22c。所述弹性件43的头端431插设于所述插座41内，所述弹性件43的中端432跨置于所述抵撑壁42的两侧，所述弹性件43的尾端433则装设于所述闩锁板22的插孔22c内。借由上述组件的组装搭配后，所述闩锁板22因所述弹性机构的抵撑而使所述闩锁板22在无外力干涉下呈一伸出位置(扣锁状态)。请再参考附图2所示，所述定位机构5在所述闩锁机构2的转动开关21的圆型侧面设有一个以上的定位凸点21d，并在所述透明底板3上对应设有一个以上的卡固组件。所述卡固组件包含一载座511、一抵持座512及卡固件513。所述卡固件513的第一端513a插设于所述载座511上，所述卡固件513的第二端513b跨置于所述抵持座512的两侧，所述卡固件513的第三端513c则抵接于所述转动开关21的圆型侧面。借由上述组件的组装搭配，当外部的驱动装置(图未示)控制所述转动开关21做一限定角度的转动，进而带动所述闩锁机构22呈缩入位置以达到解锁状态。此时再借由所述卡固件513的第三端513c对应顶撑所述定位凸点21d，使所述晶圆盒底座D在没有外部的驱动装置的协助下仍可呈解锁状态，以便于所述盒罩A盖设于所述晶圆盒底座D上顺利完成组装工作。请再参考附图2、3及附图4所示，当所述闩锁板22受所述弹性机构的抵撑而使所述闩锁板22在无外力干涉下使所述闩锁机构2处于一扣锁状态，由于各所述卡掣部22b会伸出所述本体I的各所述开口 12—段距离，因此所述盒罩A无法与所述晶圆盒底座D组装成一体。因此，上述两者如要组装时需使所述闩锁机构2先进行解锁动作，此时需借由外部驱动装置(图未示)来驱使转动开关21做一限定角度的转动，而所述凸轮21b抵接所述闩锁板22的抵接边22a，进而推动所述两闩锁板22分别缩入所述本体I的各所述开口 12的内部。同时间定位机构5的卡固件513的第三端513c同部对应顶撑所述定位凸点21d，因此所述盒罩A可盖设于所述晶圆盒底座D上。接下来，再以外部的驱动装置(图未示)穿过所述两弧型孔32而插设于所述转动开关21的所述两驱动销孔21c内，以便控制所述转动开关21做一限定角度的转动，并推动所述闩锁机构2进行伸出位置，使所述盒罩A及所述晶圆盒底座D顺利形成扣锁的状态。如上所述，相较于现有的晶圆盒，本实用新型的晶圆盒底座借由在所述本体及所述闩锁机构之间设有两弹性机构。使所述闩锁机构在无外力干涉下呈一伸出位置(扣锁状态)，使盒罩与晶圆盒底座组装时需将所述闩锁机构先进行解锁后再进行扣锁动作，以避免因组件之间扣锁不确实或操作人员误判下而造成的盒罩与所述晶圆盒底座意外分开，而造成晶圆被摔毁的情形。此外，本实用新型还在所述闩锁机构及所述透明底板之间设有一定位机构。当所述盒罩及所述晶圆盒底欲进行组装时，先利用外部的驱动装置控制所述转动开关做一限定角度的转动，进而带动所述闩锁机构呈缩入位置以达到解锁状态。此时再借由上述定位机构，使所述晶圆盒底座在没有外部的驱动装置的协助下仍可呈解锁状态，以便于所述盒罩及所述晶圆盒底的组装工作。以上所述仅是本实用新型的优选实施例，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种晶圆盒底座，其特征在于，包含: 一本体，所述本体两侧面形成至少两开口； 一闩锁机构，所述闩锁机构设于所述本体内，所述闩锁机构具有一转动开关及两对称设置的闩锁板，所述闩锁板并设有卡掣部以对应于所述本体的开口，所述卡掣部在所述两开口内外之间伸出及缩入； 一透明底板，所述透明底板设于所述本体及闩锁机构的底部，所述透明底板便于由外部直接检视所述晶圆盒底座内部的组件使用情形；以及 两弹性机构，所述弹性机构设于所述本体及闩锁机构之间，其中所述闩锁板因所述弹性机构的抵撑而使所述闩锁板在无外力干涉下位于一伸出位置。
2.根据权利要求1所述的晶圆盒底座，其特征在于，所述闩锁机构及透明底板之间设有一定位机构。
3.根据权利要求1所述的晶圆盒底座，其特征在于，所述弹性机构在所述本体底部设有两插座、两抵撑壁及两弹性件，并且所述两R锁板上各设一插孔。
4.根据权利要求2所述的晶圆盒底座，其特征在于，所述定位机构在所述闩锁机构的转动开关上设有一个以上的定位凸点。
5.根据权利要求2所述的晶圆盒底座，其特征在于，所述定位机构在所述透明底板上对应设有一卡固组件。
6.根据权利要求5所述的晶圆盒底座，其 特征在于，所述卡固组件在透明底板上设有一载座、一抵持座及 ^固件。
专利摘要一种晶圆盒底座，其包含一本体、一闩锁机构、一透明底板。所述本体与一盒罩及一晶圆放置架组合，共同形成一用以承载晶圆的晶圆盒。所述闩锁机构设于所述本体之内，其具有一转动开关、两闩锁板，并借由所述转动开关的带转动使闩锁板伸出本体以固锁所述盒罩。本实用新型在所述本体及闩锁机构之间设有两弹性机构，使所述闩锁机构在无外力干涉下位于一伸出位置(扣锁状态)，进而组装结合所述盒罩与晶圆盒底座时需将所述闩锁机构先进行解锁后再进行扣锁动作，以避免因组件之间扣锁不确实而造成的所述盒罩与所述晶圆盒底座意外分开，而造成晶圆被摔毁的情形。
文档编号H01L21/673GK202930366SQ201220547258
公开日2013年5月8日 申请日期2012年10月24日 优先权日2012年10月24日
发明者翁连波 申请人:耀连科技有限公司