有机发光显示装置及有机发光显示装置的制造方法

有机发光显示装置及有机发光显示装置的制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种在基板上布置有多个子像素的有机发光显示装置，所述子像素包括：形成于基板上的第一电极；形成于所述第一电极之上，并具备有机发光层的中间层；形成于所述中间层之上的第二电极，所述子像素中的发出至少一种颜色的光的任意一个子像素在所述有机发光层和所述第一电极之间具备发出与所述一种颜色不同的颜色的光的阴影发光层，且发出所述一种颜色的光的任意一个子像素的有机发光层包含空穴输送物质。
【专利说明】有机发光显示装置及有机发光显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及有机发光显示装置及有机发光显示装置的制造方法，尤其涉及提高发光特性的有机发光显示装置及有机发光显示装置的制造方法。
【背景技术】
[0002]近年来，显示装置趋于由能够携带的薄型的平板显示装置所取代。平板显示装置中，有机发光显示装置作为自发光型显示装置，优点在于视角宽，不仅对比度优良，响应速度也较快，因此作为下一代显示装置而受到关注。
[0003]有机发光显示装置具备中间层、第一电极和第二电极等各种薄膜。中间层具备有机发光层，当向第一电极和第二电极施加电压时，有机发光层将发出可视光线。
[0004]作为用于形成配备于有机发光显示装置的各种薄膜的方法，可利用蒸镀工艺。为了通过蒸镀工艺在基板上形成特定图案，通常使用蒸镀掩模。
[0005]另外，由于难以控制这种蒸镀工艺，因此有机发光装置的蒸镀膜(尤其，具备与发光相关的有机发光层的中间层)的形成并不容易进行，其结果，在提高有机发光显示装置的发光特性上存在制约。

【发明内容】

[0006]本发明可提供容易地提高发光特性的有机发光显示装置和有机发光显示装置的制造方法。
[0007]本发明公开一种有机发光显示装置，该有机发光显示装置中在基板上布置有多个子像素，所述子像素包括:形成于基板上的第一电极；形成于所述第一电极之上，并具备有机发光层的中间层；形成于所述中间层之上的第二电极，所述子像素中的发出至少一种颜色的光的任意一个子像素在所述有机发光层和所述第一电极之间具备发出与所述一种颜色不同的颜色的光的阴影发光层，且发出所述一种颜色的光的任意一个子像素的有机发光层包含空穴输送物质。
[0008]在本发明中，所述子像素可包括红色子像素、绿色子像素、蓝色子像素。
[0009]在本发明中，发出所述一种颜色的光的任意一个子像素可以为红色子像素，所述阴影发光层可包括配备于所述绿色子像素的有机发光层或配备于所述蓝色子像素的有机发光层中的至少一个有机发光层的物质。
[0010]本发明中，所述阴影发光层可以由发出互不相同的颜色的光的多个层形成。
[0011]本发明中，还可以包括布置在所述第一电极和所述阴影发光层之间的空穴输送层。
[0012]本发明中，所述空穴输送层可形成为多个层。
[0013]本发明中，还可以包括与所述第一电极电连接，且配备活性层、栅极、源极、漏极的
薄膜晶体管。
[0014]本发明中，所述中间层可利用有机层蒸镀装置形成，所述中间层的蒸镀区域可形成为，远离蒸镀区域的中心的斜边的长度大于靠近蒸镀区域的中心的斜边的长度。
[0015]本发明中，其特征在于，所述中间层可利用有机层蒸镀装置形成，所述中间层的蒸镀区域中，越是远离所述蒸镀区域的中心的区域，远离所述蒸镀区域的中心的斜边的长度可越长。
[0016]本发明中，其特征在于，所述中间层可利用有机层蒸镀装置形成，所述中间层的蒸镀区域中，布置在所述蒸镀区域的中心的区域形成为两侧斜边的长度实质相同。
[0017]本发明中，所述中间层可利用有机层蒸镀装置形成，布置在所述中间层的蒸镀区域的区域可以布置为以所述蒸镀区域的中心为基准对称。
[0018]本发明中，所述基板可具有40英寸以上的大小。
[0019]本发明中，所述中间层可利用有机层蒸镀装置形成，所述中间层的蒸镀区域可具有不均勻的厚度(non-uniform thickness)。
[0020]根据本发明的另一方面，涉及制造基板上布置有多个子像素的有机发光显示装置的方法，包括如下步骤:形成所述子像素；在基板上形成第一电极；在所述第一电极上形成配备有机发光层的中间层；在所述中间层上形成第二电极，所述子像素中，发出至少一种颜色的光的任意一种子像素在所述有机发光层和所述第一电极之间具备发出不同于所述一种颜色的其他颜色的光的阴影发光层，发出所述一种颜色的光的任意一种子像素的有机发光层可包含空穴输送物质。
[0021]在本发明中，所述阴影发光层可以在形成所述子像素中的任意一种颜色的子像素的有机发光层之前，在形成与所述一种颜色不同的其他颜色的子像素的有机发光层的过程中形成。
[0022]在本发明中，所述中间层利用包括多个有机层蒸镀组件的有机层蒸镀装置形成，所述有机层蒸镀组件包括:放射蒸镀物质的蒸镀源；布置在所述蒸镀源的一侧，具备多个蒸镀源喷嘴的蒸镀源喷嘴部；布置成与所述蒸镀源喷嘴部面对，并具备多个图案化狭缝的图案化狭缝板，由此蒸镀工艺可以执行为由所述蒸镀源放射的所述蒸镀物质通过所述图案化狭缝板形成于所述基板上。
[0023]在本发明中，所述子像素具备红色子像素、绿色子像素、蓝色子像素，所述红色子像素的有机发光层，所述绿色子像素的有机发光层，所述蓝色子像素的有机发光层可利用所述多个有机层蒸镀组件中的彼此不同的有机层蒸镀组件形成。
[0024]本发明中，所述多个有机层蒸镀组件中，用于形成所述一种颜色的子像素的有机发光层的有机层蒸镀组件和用于形成所述阴影发光层的有机层蒸镀组件可相邻地布置。
[0025]本发明中，利用所述有机层蒸镀装置形成所述中间层的步骤可包括如下步骤:在装载部将所述基板固定到移动部；将固定有所述基板的移动部利用设置成可贯通腔体的第一移送部移送至所述腔体内；在所述有机层蒸镀组件布置在所述腔体内，且布置于所述腔体内的所述有机层蒸镀组件和所述基板分隔预定程度的状态下，所述基板相对所述有机层蒸镀组件移动的同时，从所述有机层蒸镀组件发散的蒸镀物质被蒸镀到所述基板上，形成所述中间层；由卸载部将完成蒸镀的所述基板从所述移动部分离出来；将与所述基板分离的所述移动部利用设置成贯通所述腔体的第二移送部移送至所述装载部。
[0026]本发明中，所述基板通过所述多个有机层蒸镀组件的同时可对所述基板连续地进行蒸镀。[0027]本发明中，所述移动部可在所述第一移送部和所述第二移送部之间循环。
[0028]本发明中，所述第一移送部和所述第二移送部可沿上下并排布置。
[0029]本发明中，所述移动部可以以与所述第一移送部非接触的方式在所述腔体内被移送。
[0030]本发明中，所述有机层蒸镀组件的所述图案化狭缝板可以形成为在第一方向或与所述第一方向交叉的第二方向中的至少一个方向上小于所述基板。
[0031]根据本发明的有机发光显示装置和有机发光显示装置的制造方法可容易地提升发光特性。
【专利附图】

【附图说明】
[0032]图1为概略地示出关于本发明一实施例的有机发光显示装置的剖视图。
[0033]图2为图1的A的放大图。
[0034]图3为示出图2的其他变形示例的图。
[0035]图4为概略地示出根据本发明其他实施例的有机发光显示装置的剖视图。
[0036]图5为概略地示出用于制造图1的有机发光显示装置的有机层蒸镀装置的系统构成的平面图。
[0037]图6为概略地示出图5的有机层蒸镀装置的蒸镀部的系统构成的侧视图。
[0038]图7为概略地示出图5的蒸镀部的立体图。
[0039]图8为图7的概略的剖视图。
[0040]图9为示出用于制造图5的有机发光显示装置的有机层蒸镀组件的概略的立体图。
[0041]图10为图9的概略的侧剖视图。
[0042]图11为图9的概略的平面剖视图。
[0043]图12为示出用于制造图5的有机发光显示装置的有机层蒸镀组件的其它示例的概略的立体图。
[0044]图13为示出用于制造图5的有机发光显示装置的有机层蒸镀组件的其它示例的概略的立体图。
[0045]图14为示出图案化狭缝以等间距形成在图6的有机层蒸镀装置的图案化狭缝板上的形态的图。
[0046]图15为不出利用图14的图案化狭缝板形成于基板上的有机层的图。
[0047]图16至图18为顺序地示出制造图5的有机发光显示装置的方法的图。
[0048]符号的说明
[0049]1:有机层蒸镀装置
[0050]2:基板
[0051]30:第一电极
[0052]32R、32G、32B:中间层
[0053]SEML:阴影发光层
[0054]33:第二电极
[0055]100:蒸镀部[0056]200:装载部
[0057]300:卸载部
[0058]400:移送部
[0059]410:第一移送部
[0060]412:引导部
[0061]430:移动部
[0062]431:载体
[0063]1000、1100:有机发光显示装置【具体实施方式】
[0064]以下，参照附图中示出的关于本发明的实施例详细地说明本发明的构成及作用。
[0065]图1为概略地示出关于本发明一实施例的有机发光显示装置的剖视图，图2为图1的A的放大图。
[0066]参照图1和图2，有机发光显示装置1000在基板2上形成有三个子像素。
[0067]而且，各个子像素包括第一电极30、中间层32R、32G、32B、第二电极33。
[0068]S卩，发出红色可视光线的红色子像素包括第一电极30、中间层32R、第二电极33，发出绿色可视光线的绿色子像素包括第一电极30、中间层32G、第二电极33，发出蓝色可视光线的蓝色子像素包括第一电极30、中间层32B、第二电极33。优选地，第二电极33经由所有子像素而共同地形成。
[0069]对于各个部件具体进行说明。
[0070]基板2可以由以SiO2为主要成分的透明的剥离材质形成。基板2并不局限于此，还可以由透明的塑料材质形成。此时，形成基板2的塑料材质可以是从多种有机物中选择的一个以上的有机物。
[0071]虽然未图示，但基板2和第一电极30之间还可进一步形成缓冲层(未图示)。缓冲层(未图示)用于防止通过基板2的杂质元素的侵入，并在基板2上部提供平坦的面，其可由能够实现这种作用的各种物质形成。例如，缓冲层(未图示)可以包括硅氧化物、硅氮化物、氮氧化硅、氧化铝、氮化铝、氧化钛或者氮化钛等无机物或者聚酰亚胺、聚酯、丙烯酸等有机物，并可以由举例的材料中的多个材料的层叠体形成。
[0072]第一电极30形成于基板2之上。第一电极30可具有阳极的功能，第二电极33可具有阴极的功能，但显然这种极性的顺序互为相反也无妨。当第一电极30起到阳极的功能时，第一电极30可以包含功函数高的ΙΤ0、ΙΖ0、Ζη0、Ιη203。而且，根据目的及设计条件，第一电极30还可以包含由Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、N1、Nd、Ir、Cr、L1、Yb或Ca等构成的反射膜。
[0073]而且，第一电极30可以通过对各个子像素分别图案化而形成。
[0074]利用绝缘物在第一电极30上形成像素定义膜31。此时，像素定义膜31形成为至少露出第一电极30的上面的一部分。
[0075]中间层32R、32G、32B形成于第一电极30的上面。中间层32R、32G、32B具备至少发出可视光线的有机发光层。
[0076]参照图2，对于红色子像素的中间层32R进行具体的说明。[0077]中间层32R包括发出红色可视光线的有机发光层EML(R)、阴影发光层SEML、空穴注入层HIL、空穴输送层HTL、插入层IL、电子输送层ETL。
[0078]空穴注入层HIL可以由多种材质形成，作为具体示例，可以由铜酞菁等酞菁化合物，或者作为星型胺的TCTA、m-MTDATA、m-MTDAPB等形成。
[0079]空穴输送层HTL可以由多种材质形成，作为具体示例，可以由N，N' -二(3_甲苯基)-N，N' - 二苯基-[1，1-联苯基]-4，4' -二胺01^)、1^-二(萘-1-基)州，^-二苯基联苯胺(α-NPD)等形成。
[0080]而且，空穴输送层HTL可以由多个层形成，而不是由单层形成。即，如图3所示，第一空穴输送层HTLl和第二空穴输送层HTL2可以形成于空穴注入层HIL之上。
[0081 ] 空穴输送层HTL和空穴注入层HIL之间可形成插入层IL，插入层IL使得电荷的产生或输送变得容易。插入层IL可由多种材质形成，作为具体示例，可包含1，4，5，8，9，12-六氮杂三亚苯基已臆(1,4,5,8,9,12-Hexaazatriphenylenehexanitri Ie)、四氰基对醌二甲烧(Tetracyanoquinodimethane, TCNQ)。
[0082]电子输送层ETL可以利用Alq3形成。而且,虽然未图不,但电子输送层ETL和第二电极33之间还可以形成电子注入层(未图示)。
[0083]阴影发光层SEML形成于空穴输送层HTL之上，有机发光层EML(R)形成于阴影发光层SHML之上。
[0084]阴影发光层SEML具备第一发光层EML(B)和第二发光层EML(G)。第一发光层EML(B)为发出蓝色可视光线的层，第二发光层EML(G)为发出绿色可视光线的层。阴影发光层SEML相比有机发光层EML (R)具有非常薄的厚度。而且，阴影发光层SEML还可以仅具备一个层(即，第一发光层EML(B)或第二发光层EML(G)中的其中一个层)，而不是两个层。
[0085]有机发光层EML(R)可利用发出红色可视光线的多种材料形成。而且，有机发光层EML(R)可包括主物质和掺杂物质。而且，有机发光层EML(R)包含空穴输送物质。此时，空穴输送物质以重量为基准可以含有有机发光层EML(R)的5%至95%。
[0086]阴影发光层SEML是在有机发光层EML(R)发光时，尽可能不应发光的层。阴影发光层SEML是在形成红色子像素的有机发光层EML (R)时或者形成有机发光层EML (R)之前，不期望地形成的蓝色子像素的发出蓝色光的中间层32B的有机发光层(未图示)物质和绿色子像素的发出绿色的光的中间层32G的有机发光层(未图示)物质。
[0087]即，蒸镀装置，尤其构成为沿一侧方向移动的同时执行蒸镀工艺或蒸镀装置被固定而使被蒸镀物移动时，可形成上述的阴影发光层SEML。对于这种蒸镀装置及利用此的蒸镀方法将在后面说明。
[0088]这种阴影发光层SEML降低有机发光层EML (R)的发光特性。即，有机发光层EML (R)的主要发光区域位于有机发光层EML(R)和空穴输送层HTL之间的界面，在本实施例中，空穴输送层HTL和有机发光层EML(R)之间布置有阴影发光层SEML，据此阴影发光层SEML与空穴输送层HTL相接，从而在阴影发光层SEML中产生非正常的发光。
[0089]但是,本实施例的有机发光层EML(R)形成为包含空穴输送物质。作为具体示例，使有机发光层EML (R)的主要物质包含空穴输送物质，由此尽可能使红色中间层32R的发光区域从阴影发光层SEML向有机发光层EML(R)侧移动。据此，提高在红色子像素的中间层32R体现的红色可视光线的特性。提高在红色子像素的中间层32R中体现的光的效率并减小驱动电压。
[0090]虽然未图示，但绿色子像素的中间层32G和蓝色子像素的中间层32B也与红色子像素的中间层32R相同地形成。
[0091]S卩，绿色子像素的中间层32G具备发出绿色可视光线并包含空穴输送物质的有机发光层，且可以具备发出红色或蓝色可视光线的阴影发光层。而且，蓝色子像素的中间层32B具备发出蓝色可视光线并包含空穴输送物质的有机发光层，且可以具备发出红色或蓝色可视光线的阴影发光层。
[0092]中间层32R、32G、32B之上形成第二电极33。第二电极33具有阴极的功能时，第二电极33可以由Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、N1、Nd、Ir、Cr、Li或Ca等金属形成。而且，第二电极33可以包含ΙΤΟ、IZO、ZnO, In2O3等，以能够使光透过。
[0093]虽然未图示，但第二电极33之上可以形成有包封部件(未图示)。包封部件(未图示)可利用多种材料形成，可以使用玻璃材料的基板，作为其它示例，还可以利用有机膜和无机膜来形成，也可以交替地层叠有机膜和无机膜而形成。
[0094]本实施例的有机发光显示装置1000利用蒸镀装置形成具备有机发光层的中间层。此时，形成中间层时，除了形成发出所期望的可视光线的有机发光层之外，还会形成不期望的阴影发光层，但本实施例中，在形成有机发光层时，使其包含空穴输送物质，从而使中间层的发光区域尽可能从阴影发光层沿有机发光层方向移动，据此提高中间层的发光效率。其结果，可容易地实现提高了发光特性的有机发光显示装置。
[0095]图4为概略地示出关于本发明另一实施例的有机发光显示装置的剖视图。
[0096]参照图4，将以与前述实施例的不同点为中心说明本实施例的有机发光显示装置1100。
[0097]有机发光显示装置1100在基板2上形成多个子像素，各个子像素包括第一电极30、中间层32R、第二电极33、薄膜晶体管TFT。图4中仅示出了包括红色中间层32R的红色子像素。这样示出的目的在于便于进行说明，因此本实施例的有机发光显示装置1100如图5所示，可具备绿色和蓝色子像素。
[0098]基板2上形成缓冲层22。缓冲层22上形成具有预定图案的活性层23。活性层23可以由诸如硅系列的无机半导体、有机半导体或氧化物半导体形成，并包括源极区域、漏极区域、沟道区域。
[0099]活性层23的上部形成有栅极绝缘膜24，在栅极绝缘膜24的上部的预定区域形成栅极25。栅极绝缘膜24用于隔离活性层23和栅极25，可以由有机物或诸如SiNx、Si02的无机物形成。
[0100]栅极25可以包含Au、Ag、Cu、N1、Pt、Pd、Al、Mo，还可以包含诸如Al:Nd、Mo:W等
的合金，但并不局限于此，考虑与相邻层的紧贴性、平坦性、电阻及加工性等而可使用多种材质形成。
[0101]栅极25的上部形成有层间绝缘膜26。层间绝缘膜26和栅极绝缘膜24形成为露出活性层23的源极区域和漏极区域，且形成与这种露出的活性层23的源极区域和漏极区域分别相接的源极27和漏极28。
[0102]源极27和漏极28可利用多种导电物质形成，可以是单层结构或多层结构。
[0103]薄膜晶体管TFT的上部形成钝化层29。具体来讲，源极27和漏极28上形成钝化层29。
[0104]钝化层29不覆盖整个漏极28而形成为露出预定区域，并形成第一电极30，且使该第一电极30与露出的漏极28连接。
[0105]利用绝缘物在第一电极30上形成像素定义膜31。像素定义膜31形成为露出第一电极30的预定区域。
[0106]中间层32R形成为与露出的第一电极30相接。中间层32R具备有机发光层，具体来讲具备发出红色可视光线的有机发光层，因中间层32R的具体结构与前述实施例相同，因此省略具体的说明。
[0107]而且，形成第二电极33，且使该第二电极33与中间层32R连接。第二电极33上可布置密封部件(未图示)。
[0108]前述图1的有机发光显示装置1000、示出图1的变形示例的图3的结构以及图4的有机发光显示装置1100可利用多种有机层蒸镀装置形成，对于这种有机层蒸镀装置及利用此的蒸镀方法进行说明。为了便于说明，仅以图1的有机发光显示装置1000为例进行说明。
[0109]图5为概略地示出用于制造图1的有机发光显示装置的有机层蒸镀装置的系统构成的平面图，图6为概略地示出图5的有机层蒸镀装置的蒸镀部的系统构成的侧视图，图7为概略地示出图5的蒸镀部的立体图，图8为图7的概略的剖视图。
[0110]参照图5和图6，根据本实施例的有机层蒸镀装置I包括蒸镀部100、装载部200、卸载部300、移送部400。
[0111]装载部200可包括第一机架212、导入室214、第一反转室218、缓冲室219。
[0112]第一机架121上载置有多个进行蒸镀之前的基板2，导入室214上配备的导入机械手从第一机架212抓持基板2而放置在从第二移送部420移送过来的移动部430之后，将贴附有基板2的移动部430转移到第一反转室218。
[0113]第一反转室218与导入室214相邻地布置，位于第一反转室218的第一反转机械手将移动部430反转之后将移动部430安装到蒸镀部100的第一移送部410。
[0114]从图5中观看，导入室214的导入机械手将基板2放置到移动部430的上面，在此状态下，移动部430被移动至第一反转室218，随着第一反转室218的第一反转机械手反转第一反转室218，基板2在蒸镀部100变成朝下。
[0115]卸载部300的结构与上面说明的装载部200的结构相反。即，对于经过蒸镀部100的基板2和移动部430，在第二反转室328由第二反转机械手反转并移送至输出室324，由输出机械手在输出室324取出基板2和移动部430之后，将基板2从移动部430分离出来，并装载到第二机架322。与基板2分离的移动部430通过第二移送部420被送回至装载部200。
[0116]但是，本发明并不局限于此，还可以在基板2最初被固定到移动部430时开始就将基板2固定到移动部430的下面，并直接移送到蒸镀部100。此时，无需例如第一反转室218的第一反转机械手和第二反转室328的第二反转机械手。
[0117]蒸镀部100具备至少一个蒸镀用腔体101。根据本实施例，所述蒸镀部100具备腔体101，在该腔体101内布置有多个有机层蒸镀组件100-1、100-2、...、100-11。
[0118]具体来讲，在腔体内101布置有第一有机层蒸镀组件100-1、第二有机层蒸镀组件100-2?第十一有机层蒸镀组件100-11这十一个有机层蒸镀组件，但其数量可根据蒸镀物质和蒸镀条件进行变化。所述腔体101在进行蒸镀的期间内维持真空。
[0119]在此，十一个有机层蒸镀组件中，一部分有机层蒸镀组件使用于蒸镀共同层，剩余的一部分有机层蒸镀组件可使用于蒸镀图案层。此时，使用于蒸镀共同层的有机层蒸镀组件可不配备专门的图案化狭缝板(参照图7的130)。作为十一个有机层蒸镀组件的排列方式的一个示例，可布置成第一有机层蒸镀组件100-1蒸镀作为共同层的空穴注入层HIL，第二有机层蒸镀组件100-2蒸镀作为共同层的插入层IL，第三有机层蒸镀组件100-3至第五有机层蒸镀组件100-5蒸镀作为共同层的空穴输送层HTL，第六有机层蒸镀组件100-6蒸镀作为蓝色中间层32B的图案的有机发光层，第七有机层蒸镀组件100-7蒸镀作为绿色中间层32G的图案的有机发光层，第八有机层蒸镀组件100-8蒸镀作为红色中间层32R的图案的有机发光层EML (R)，第九有机层蒸镀组件100-9蒸镀作为共同层的电子输送层ETL，第十有机层蒸镀组件100-10蒸镀作为共同层的电子注入层EIL。当然，这种有机层蒸镀组件的排列可以进行多种变更。
[0120]另外，根据基于图5的本发明一实施例，固定有所述基板2的移动部430通过第一移送部410至少向蒸镀部100移动，优选为顺序地向所述装载部200、蒸镀部100以及卸载部300移动，在所述卸载部300上与基板2分离的移动部430根据第二移送部420而送还至装载部200。
[0121 ] 所述第一移送部410配置成在通过所述蒸镀部100时贯通所述腔体101，所述第二移送部420配置成移送分离出基板2的移送部430。
[0122]在此，根据本实施例的有机层蒸镀装置I中，第一移送部410和第二移送部420沿上下形成，且形成为通过第一移送部410完成蒸镀的移动部430在卸载部300上与基板2分离之后，通过形成于其下部的第二移送部420被送回至装载部200，从而可以得到提高空间使用效率的效果。
[0123]另外，图5的蒸镀部100可以在各个有机层蒸镀组件100-1、100-2.....100-11的
一侧进一步设置蒸镀源更换部190。虽然图中没有详细示出，但蒸镀源更换部190形成为片
匣状，可形成为从各个有机层蒸镀组件100-1、100-2.....100-11向外部引出。据此，有机
层蒸镀组件100-1、100-2.....100-11的蒸镀源(参照图7的110)的更换将变得容易。
[0124]另外，图5中，用于构成由装载部200、蒸镀部100、卸载部300、移送部400构成的有机层蒸镀装置的一系列的套件(set)并排配置了两套。即，可理解为在图5的上侧和下侧总共配备了两个有机层蒸镀装置I。此时，在两个有机层蒸镀装置I之间还可以设置图案化狭缝板更换部500。即，通过在两个有机层蒸镀装置I之间配备图案化狭缝板更换部500，使得两个有机层蒸镀装置I共同使用图案化狭缝更换部500，从而与每个有机层蒸镀装置I配备图案化狭缝板更换部500相比，可提高空间使用效率。
[0125]参照图7和图8，关于本实施例的有机层蒸镀装置I的蒸镀部100包括一个以上的有机层蒸镀组件100-1和移送部400。
[0126]以下，对于整个蒸镀部100的构成进行说明。
[0127]腔体101形成为中空的箱型结构，其内部容置有一个以上的有机层蒸镀组件100-1和移送部400。对此，从另一侧面说明时，形成支脚(foot) 102，以便能够固定于地面，并在支脚102之上形成壳体103，在壳体103的上部形成上部壳体104。而且，腔体101形成为将下部壳体103和上部壳体104全都收容于内部。此时，可对于下部壳体103和腔体101的连接部实施密封处理，以使腔体101的内部完全与外部隔绝。如此，通过使下部壳体103和上部壳体104形成于固定到地面上的支脚102之上，据此即便腔体101反复地收缩/膨胀，下部壳体103和上部壳体104可维持固定的位置，从而下部壳体103和上部壳体104在蒸镀部100之内起到一种基准框架(reference frame)的作用。
[0128]另外，可以记述为，所述壳体104的内部形成有有机层蒸镀组件100-1和移送部400的第一移送部410，下部壳体103的内部形成有移送部400的第二移送部420。而且，移动部430在第一移送部410和第二移送部420之间循环移动而连续地执行蒸镀。
[0129]以下，对于有机层蒸镀组件100-1的具体结构进行说明。
[0130]各个有机层蒸镀组件100-1包括蒸镀源110、蒸镀源喷嘴部120、图案化狭缝板130、阻断部件140、第一平台(stage) 150、第二平台160、照相机170、传感器180等。在此，图7和图8的所有结构优选为布置在能够维持适当的真空的腔体101之内。这是为了确保蒸镀物质的直进性。
[0131]具体来讲，若要使从蒸镀源110释放的蒸镀物质115通过蒸镀源喷嘴部120和图案化狭缝板130而在基板2上被蒸镀为所期望的图案，基本上腔体101内部需要维持与FMM(高精度金属掩模板)蒸镀方法相同的高真空状态。而且，图案化狭缝板130的温度应要比蒸镀源110的温度足够低(约100°C以下)。这是因为，只有图案化狭缝板130的温度足够低，才能使温度引起的图案化狭缝板130的热膨胀问题最小化。
[0132]在这种腔体101内布置作为被蒸镀体的基板2。所述基板2可以是平板显示装置用基板，可使用能够形成多个平板显示装置的诸如母玻璃(mother glass)的大面积基板。
[0133]在此，本实施例中，一特征在于，使基板2对于有机层蒸镀组件100-1相对移动而执行蒸镀。
[0134]具体来讲，在以往的FMM蒸镀方法中，FMM的大小需要与基板的大小相同。据此，基板的尺寸越增加，FMM越要趋于大型化，据此具有如下问题，S卩，FMM的制造变得困难，而且拉长FMM而以精密的图案对齐(align)也不容易。
[0135]为了解决这种问题，关于本发明一实施例的有机层蒸镀组件100-1，一特征在于，有机层蒸镀组件100-1和基板2彼此相对移动而执行蒸镀。换句话说，被布置成与有机层蒸镀组件100-1面对的基板2沿Y轴方向移动并执行连续的蒸镀。即，基板2沿图7的箭头A方向移动并以扫描(scanning)的方式执行蒸镀。在此，虽然图中示出为基板2在腔体101内沿Y轴方向移动并执行蒸镀，但本发明的思想并不局限于此，也可以是基板2被固定，有机层蒸镀组件100-1本身沿Y轴方向移动并执行蒸镀。
[0136]因此，本发明的有机层蒸镀组件100-1与以往的FMM相比可将图案化狭缝板130制造为更小。即，对于本发明的有机层蒸镀组件100-1来讲，由于基板2沿Y轴方向移动并连续地以扫描(scanning)方式进行蒸镀，因此图案化狭缝板130的X轴方向和Y轴方向长度中的至少一个方向的长度可远小于基板2的长度。如此，由于相比以往的FMM可使图案化狭缝板130制造为更小，因此本发明的图案化狭缝板130其制造容易。即，在图案化狭缝板130的蚀刻作业或在这之后的精密拉伸和焊接作业、移动和清洗作业等所有工艺中，小尺寸的图案化狭缝板130相比FMM蒸镀方法更加有优势。而且，这对于大型化的显示装置更加有利。[0137]如此，优选地，为了使有机层蒸镀组件100-1和基板2彼此相对移动并实施蒸镀，有机层蒸镀组件100-1和基板2分隔一定的程度。对此，将在后面详细说明。
[0138]另外，腔体内与所述基板2面对的一侧布置有收容和加热蒸镀物质115的蒸镀源110。随着收容于所述蒸镀源110内的蒸镀物质115被汽化，可在基板2实现蒸镀。
[0139]具体来讲，蒸镀源110包括在内部装填蒸镀物质115的坩埚111、加热坩埚111而使装填于坩埚111内部的蒸镀物质115朝坩埚111的一侧，具体来讲，朝蒸镀源喷嘴部120侧蒸发的加热器112。
[0140]在蒸镀源110的一侧，具体来讲，在从蒸镀源110朝向基板2的一侧布置有蒸镀源喷嘴部120。
[0141]在此，根据本发明的有机层蒸镀组件在蒸镀共同层和图案层时，蒸镀源喷嘴可以形成为彼此不同。即，用于形成图案层的蒸镀源喷嘴部中可以沿Y轴方向，即基板2的扫描方向形成有多个蒸镀源喷嘴121。据此，将蒸镀源喷嘴121形成为在X轴方向上仅存在一个蒸镀源喷嘴121，可以极大地减少阴影(shadow)的产生。与此相反，虽然未图示，但为了形成共同层，蒸镀源的喷嘴部中，可以沿X轴方向形成多个蒸镀源喷嘴121。据此，还可提高共同层的厚度均匀度。
[0142]蒸镀源110和基板2之间布置有图案化狭缝板130。图案化狭缝板130可以粘贴在大致形成为窗框形的框架(未图示)。
[0143]狭缝板130上沿着X轴方向形成有多个图案化狭缝131。在蒸镀源110内被汽化的蒸镀物质115通过蒸镀源喷嘴部120和图案化狭缝板130朝向作为被蒸镀体的基板2侦U。此时，所述图案化狭缝板130可通过与以往的精密金属掩模(FMM)，尤其条纹状(stripetype)的掩模的制造方法相同的方法的蚀刻来制造。此时，图案化狭缝131的总数量可多于蒸镀源喷嘴121的总数量。
[0144]然后，上部壳体104内的各个构成要素的具体布置如下。
[0145]首先，在上部壳体104的底面部分布置上述的蒸镀源110和蒸镀源喷嘴部120。而且，蒸镀源110和蒸镀源喷嘴部120的两侧突出形成有安置部104-1，在安置部104-1上依次形成第一平台150、第二平台160以及上述的图案化狭缝板130。
[0146]在此，所述第一平台150形成为能够沿X轴方向和Y轴方向移动，由此执行将图案化狭缝板130沿X轴方向和Y轴方向对齐的作用。即，第一平台150具备多个致动器(actuator),从而形成为第一平台150相对于上部壳体104朝X轴方向和Y轴方向移动。
[0147]另外，第二平台160形成为能够沿Z轴方向移动，由此执行将图案化狭缝板130沿Z轴对齐的作用。即，第二平台160具备多个致动器，由此形成为第二平台160相对于第一平台150沿Z轴方向移动。
[0148]另外，第二平台160上布置有图案化狭缝板130。如此，图案化狭缝板130布置在第一平台150和第二平台160之上，且图案化狭缝板130形成为可以沿X轴方向、Y轴方向、Z轴方向移动，可以执行基板2和图案化狭缝板130之间的对齐，尤其可以执行实时对齐(real-time align)。
[0149]进而，上部壳体104、第一平台150、第二平台160可同时起到引导蒸镀物质的移动路径的作用，以避免通过蒸镀源喷嘴121排出的蒸镀物质被分散。即，通过上部壳体104、第一平台150、第二平台160，蒸镀物质的路径被封闭，因此可同时引导蒸镀物质的沿X轴方向和Y轴方向的移动。
[0150]另外，在图案化狭缝板130和蒸镀源110之间还可以进一步设置有阻断部件140。具体来讲，在基板2的外围部分存在形成阳极图案或阴极图案，由此之后应用为产品检测用或制造产品时的端子的区域。如果有机物在该区域中成膜，则阳极或阴极将难以起到原本的作用，因此这种基板2的外围部分应形成为防止有机物等成膜的非成膜区域。但是，如上所述，由于在本发明的蒸镀装置中，基板2相对于薄膜蒸镀装置移动并以扫描的方式执行蒸镀，因此难以防止有机物被蒸镀到基板2的非成膜区域中。
[0151]如此，为了防止有机物被蒸镀到基板2的非成膜区域中，关于本发明一实施例的薄膜蒸镀装置中，可以在基板2的外围部分进一步设置专门的阻断部件140。虽然图中没有详细示出，但阻断部件140可以由相邻的两个板构成。
[0152]当基板2不通过有机层蒸镀组件100-1时，阻断部件140遮挡蒸镀源110，由此从蒸镀源110发散的蒸镀物质115不会粘到图案化狭缝板130。在此状态下，当基板2开始进入有机层蒸镀组件100-1时，原本遮挡蒸镀源110的前方的阻断部件140与基板2的移动一起移动并开放蒸镀物质的移动路径，由此从蒸镀物质110发散的蒸镀物质115通过图案化狭缝板130被蒸镀到基板2。另外，当整个基板2通过了有机层蒸镀组件100-1时，后方的阻断部件140与基板2的移动一起移动并重新封闭蒸镀物质的移动路径以遮挡蒸镀源110，据此防止从蒸镀源110发散的蒸镀物质115粘到图案化狭缝板130。
[0153]通过由这种阻断部件140遮挡基板2的非成膜区域，由此无需专门的结构物就可以简单地得到防止有机物被蒸镀到基板2的非成膜区域的效果。
[0154]以下，详细说明移送作为被蒸镀体的基板2的移送部400。
[0155]移送部400包括第一移送部410、第二移送部420、移动部430。
[0156]第一移送部410起到同轴(in-line)移动移动部430和基板2的作用，以通过有机层蒸镀组件100-1在基板2上蒸镀有机层。移动部430包括载体431和与之结合的静电吸盘432，基板2被贴附到移动部430的状态下移动。而且，第一移送部410包括线圈411、引导部412、上面磁浮轴承、侧面磁浮轴承、间隙传感器。
[0157]第二移送部420起到将通过蒸镀部100完成一次蒸镀之后在卸载部300分离出基板2的移动部430回送到装载部200的作用。如此的第二移动部420包括线圈421、滚式引导件 422、充电轨道(charging track) 423。
[0158]移动部430包括沿着第一移送部410和第二移送部420移动的载体431、结合于载体431的一面上而贴附基板2的静电吸盘432。
[0159]对于移送部400的各个构成要素进一步详细地说明。
[0160]首先，对于移动部430的载体431进行详细的说明。
[0161]载体431包括主体部431a、磁轨431b、CPS模块(无接触输电模块)431c、电源部431d、引导槽。另外，载体431还可以包括凸轮从动件431f。
[0162]主体部431a构成载体431的基底部，可以由诸如铁的磁性体形成。根据这种载体431的主体部431a和磁浮轴承(未图示)的斥力，载体431可对于引导部412维持相隔预定程度的状态。
[0163]沿着主体部431a的行进方向的中心线可形成有磁轨431b。主体部431a的磁轨431b和线圈411结合而可以构成直线电机，通过这种直线电机，载体431可以沿A方向移送。
[0164]在主体部431a中，磁轨431b的一侧可分别形成CPS模块431c和电源部431d。电源部431d是为了使静电吸盘432吸附基板2并维持而提供电源的一种充电电池，CPS模块431c是为了给电源部431d充电的无线充电模块。具体来讲，形成于第二移送部420的充电轨道423与逆变器(inverter)(未图示)连接，由此在载体431在第二移送部420内被移送时，充电轨道423和CPS模块431c之间产生磁场，从而向CPS模块431c提供电力。然后，被提供到CPS模块431c的电力对电源部431d进行充电。
[0165]另外，静电吸盘432在由陶瓷构成的主体的内部埋设被施加电源的电极，由此通过向该电极施加高电压而在主体的表面贴附基板2。
[0166]以下，对于第一移送部410和移动部430进行详细的说明。
[0167]第一移送部410起到移动固定基板2的静电吸盘432和移送静电吸盘432的载体431的作用。在此，第一移送部410包括线圈411、引导部412、上面磁浮轴承(未图示)、侧面磁浮轴承(未图示)、间隙传感器(未图示)。
[0168]线圈411和引导部412分别形成于上部壳体104的内表面,其中，线圈411形成于上部壳体104的上侧内表面，引导部412形成于上部壳体104的两侧内表面。
[0169]引导部412起到引导载体431沿一侧方向移动的作用。此时,引导部412形成为贯通蒸镀部100。
[0170]具体来讲，引导部412收容载体431的两侧而起到引导载体431能够沿图7的A方向移动的作用。
[0171]侧面磁浮轴承(未图示)形成于引导部412的侧面，以与载体431的两侧面对应，并使载体431和引导部412之间产生间距，从而起到使载体431在移动时不与引导部412接触而以非接触的方式沿着引导部412移动的作用。
[0172]另外，上部磁浮轴承(未图示)布置在引导部412的侧面，以与载体431的上部对应，并起到使载体431不与引导部412接触而维持预定的间隔并沿着引导部412移动的作用。
[0173]引导部412还可以具备间隙传感器(未图示)，以用于测量载体431和引导部412之间的间距。
[0174]其次，对于移动部430的驱动进行详细的说明。
[0175]主体部431a的磁轨431b和线圈411结合而能够构成驱动部。在此，驱动部可以是直线电机(Linear Motor)。直线电机与以往的滑动引导系统相比，摩擦系数小，几乎不会发生位置误差，因此是位置确定能力非常高的装置。如上所述，直线电机可以由线圈411和磁轨431b形成，其中，磁轨431b在载体431上排列成一列，线圈411可以在腔体101内的一侧以预定间隔布置多个，且布置成与所述磁轨431b面对。如此，在作为移动物体的载体431上布置磁轨431b而不是布置线圈411，因此即便不给载体431施加电源也能够驱动载体431。
[0176]在此,线圈411可以形成于大气箱(atmosphere box)内。具体来讲,通常直线电机即便相比以往的滑动引导系统具有位置确定能力非常高的优点，但由于线圈(Coil)的脱气(Outgassing)问题，难以在真空环境中使用。但是，应用于本发明的有机层蒸镀装置的移送系统中，由于可以使磁轨431b和线圈411之间保持5_左右而进行驱动，因此线圈411可以形成于大气箱(atmosphere box, ATM箱)之内而设置在大气环境中，磁轨431b贴附在载体431上，由此载体431能够在处于真空的腔体101内移动。
[0177]其次，对于第二移送部420和移动部430进行详细的说明。
[0178]第二移送部420起到将在卸载部300分离出基板之后的静电吸盘432和移送该静电吸盘432的载体431再次移动至装载部200的作用。在此，第二移送部420包括线圈421、滚式引导件422、充电轨道(charging track)423?
[0179]具体来讲，线圈421、滚式引导件422、充电轨道423分别形成于下部壳体103的内表面，其中，线圈421和充电轨道423形成于下部壳体103的上侧内表面，滚式引导件422形成于下部壳体103的两侧内表面。在此，虽然图中没有示出，但线圈421与第一移送部410的线圈411相同,可形成于大气箱之内。
[0180]另外，与第一移送部410相同，第二移送部420也具备线圈421，且载体431的主体部431a的磁轨431b和线圈421结合可形成驱动部，在此，所述驱动部可以是直线电机。通过这种直线电机，载体431可以沿图7的A方向的相反方向移动。
[0181]另外，滚式引导件422起到引导载体431沿一侧方向移动的作用。此时，滚式引导件422贯通蒸镀部100而形成。具体来讲，滚式引导件422支撑形成于载体431两侧的凸轮从动件431f，起到引导载体431沿图7的A方向的相反方向移动的作用。即，形成于载体431两侧的凸轮从动件431f沿着滚式引导件422旋转，据此载体431进行移动。在此，凸轮从动件431f为轴承的一种，在准确地反复特定的动作时使用。如此的凸轮从动件431f在载体431的侧面形成多个，当载体431在第二移送部420的内部移送时，起到轮子的作用。
[0182]结论上，第二 移送部420应用于将载体431回送的步骤，而不是应用于在基板上蒸镀有机物的步骤之中，因此与第一移送部410相比，并不要求位置的精确度。因此，对于要求高的位置精确度的第一移送部410中应用磁浮而确保位置精确度，而对于要求相对低的精确度的第二移送部420应用以往的滚轮方式，以降低制造成本，并使有机层蒸镀装置的构成更加简单。当然，虽然图中没有示出，但第二移送部420也可以与第一移送部410—样地应用磁浮。
[0183]另外，根据本实施例的有机层蒸镀装置I的有机层蒸镀组件100-1还可以具备用于对齐(align)的照相机170和传感器180。
[0184]具体来讲，照相机170可实时对齐形成于图案化狭缝板130或用于结合图案化狭缝板130的框架(未图示)上形成的第一标记(未图示)和形成于基板2上的第二标记(未图示)。在此，照相机170配置为在进行蒸镀的真空腔体101内能够确保清晰的视野。为此，照相机170可布置于照相机容置部171之内而设置于大气状态之中。即，在腔体101内的对应于照相机170的位置形成通道(hall)并对外部开放，照相机容置部171从该通道延伸而形成。由此，照相机170被收容于照相机容置部171之内而处于大气状态，而腔体101的内部仍可以维持真空状态。根据这种结构，即便腔体101重复收缩/膨胀，照相机收容部171和被收容于其内部的照相机170可以维持固定的位置，据此可以在正执行蒸镀的腔体101内确保清晰的视野。
[0185]另外，在本发明中，基板2和图案化狭缝板130分隔预定的程度，因此需要用一个照相机170同时测量处于互不相同的位置的至基板2的距离和至图案化狭缝板130的距离。为此，根据本发明一实施例的有机层沉积装置I的有机层蒸镀组件100-1可配备传感器180。在此,传感器180可以是共焦传感器(Confocal sensor)。共焦传感器可利用高速旋转的扫描镜借助激光束扫描测量对象，并可利用因激光束产生的荧光或反射光线测量至测量对象的距离。共焦传感器可通过检测互不相同的媒质之间的临界面而测量距离。
[0186]S卩，诸如共焦传感器的传感器180布置在腔体101之内，并位于基板2上。共焦传感器可通过检测基板2的上表面和空间的临界面而获取至基板2的上表面之间的距离，且可通过检测基板2的下表面和空间的临界面而测量至基板2的下表面的距离。而且，传感器180可通过检测空间和图案化狭缝板130上表面的临界面而测量至图案化狭缝板130的上表面的距离。其结果，通过测量至基板2的下表面的距离和至图案化狭缝板130的上表面的距离，传感器180可获取基板2和图案化狭缝板130之间的距离。
[0187]通过配备这种照相机170和传感器180，能够实时测量基板2与图案化狭缝板130之间的间距，据此可实时对齐基板2和图案化狭缝板130，从而可以获得图案的位置精密度进一步提闻的效果。
[0188]图9为示出用于制造图5的有机发光显示装置的有机层蒸镀组件的概略的立体图，图10为图9的概略的侧剖视图，图11为图9的概略的平面剖视图。
[0189]为了便于说明，以与前述实施例不同的点为中心进行说明。
[0190]参照图9至图11，关于本实施例的有机层蒸镀组件700包括蒸镀源710、蒸镀源喷嘴部720、阻断板组件730、图案化狭缝板750。
[0191]本实施例的有机层蒸镀组件700可以应用于前述的有机层蒸镀装置1，但并非一定要如此。
[0192]蒸镀源710和基板2之间布置有图案化狭缝板750。图案化狭缝板750结合于大致形成为窗框状的框架755上，且在图案化狭缝板750上沿X轴方向形成有多个图案化狭缝751。相邻的图案化狭缝751之间形成有中间区域752。
[0193]由于图案化狭缝板750与前述的图案化狭缝板130相同，因此省略具体的说明。
[0194]在蒸镀源710内被汽化的蒸镀物质715通过蒸镀源喷嘴部720和图案化狭缝板750朝向作为被蒸镀体的基板2侦U。
[0195]蒸镀源710包括在其内部装填蒸镀物质715的坩埚711和加热坩埚711以使装填于坩埚711内部的蒸镀物质715朝蒸镀源喷嘴部720侧蒸发的加热器712。另外，在蒸镀源710的一侧布置有蒸镀源喷嘴部720，而在蒸镀源喷嘴部720沿X方向形成有多个蒸镀源喷嘴 721。
[0196]另外，蒸镀源喷嘴部720的一侧配备有阻断板组件730。所述阻断板组件730包括多个阻断板731和配备于阻断板731的外侧的阻断板框架732。所述多个阻断板731可沿X轴方向相互并排地布置。在此，所述多个阻断板731可以等间距布置。而且，各个阻断板731在图中沿YZ平面延伸，优选为形成四方形。如此布置的多个阻断板731将蒸镀源喷嘴部720和图案化狭缝板750之间的空间划分为多个蒸镀空间S。S卩，如图10所示，关于本实施例一实施例的有机层蒸镀组件700通过所述阻断板731按照喷射蒸镀物质的各个蒸镀源喷嘴721划分蒸镀空间S。如此，通过由阻断板731将蒸镀源喷嘴部720和图案化狭缝板750之间的空间划分为多个蒸镀空间S，由此从一个蒸镀源喷嘴721排出的蒸镀物质不会与从其他蒸镀源喷嘴721排出的蒸镀物质混合而通过图案化狭缝751被蒸镀到基板2。即，所述阻断板731起到避免通过各个蒸镀源喷嘴721排出的蒸镀物质分散，并引导蒸镀物质的移动路径，以使蒸镀物质沿Z轴方向直进的作用。
[0197]如此，通过配备阻断板731而确保蒸镀物质的直进性，可大幅度减小形成于基板上的阴影(shadow)的大小，据此可以使有机层蒸镀组件700和基板2相隔预定程度。
[0198]而且，基板2在被移动部430的静电吸盘固定的状态下移动，且可以相对于有机层蒸镀组件700移动的同时执行蒸镀工艺。
[0199]另外，虽然未图示，但本发明显然还可以包括如下的有机层蒸镀装置，S卩，配备多个本实施例的有机层蒸镀组件700，由此基板2顺序地通过各个有机层蒸镀组件700的同时执行蒸镀工艺。
[0200]图12为示出用于制造图5的有机发光显示装置的有机层蒸镀组件的另一示例的概略的立体图。为了便于说明，以与前述实施例不同的点为中心进行说明。
[0201]参照图12，有机层蒸镀组件800包括蒸镀源810、蒸镀源喷嘴部820、第一阻断板组件830、第二阻断板组件840、图案化狭缝板850。
[0202]蒸镀源810和基板2之间布置有图案化狭缝板850。图案化狭缝板850结合于大致形成为窗框状的框架855上，且在图案化狭缝板850上沿X轴方向形成有多个图案化狭缝851。相邻的图案化狭缝851之间形成有中间区域852。
[0203]由于图案化狭缝板850与前述相同，因此省略具体的说明。
[0204]而且，蒸镀源810和第一阻断板组件830的具体构成与根据前述图7的实施例相同，因此省略详细的说明。本实施例与前述实施例的区别在于，在第一阻断板830的一侧配备有第二阻断板组件840。
[0205]具体来讲，所述第二阻断板组件840包括多个第二阻断板841和配备于第二阻断板841外侧的第二阻断板框架842。所述多个第二阻断板841可以沿X轴方向相互并排布置。而且，所述各个第二阻断板841可以等间距布置。而且，从图中观看，各个第二阻断板841形成为与YZ平面并排，换言之，形成为垂直于X轴方向。
[0206]如此布置的多个第一阻断板831和第二阻断板841起到划分蒸镀源喷嘴部820和图案化狭缝板850之间的空间的作用。即，一特征在于，通过所述第一阻断板831和第二阻断板841，蒸镀空间按照喷射蒸镀物质的各个蒸镀源喷嘴821而被分离。
[0207]在此，各个第二阻断板841可以布置为与各个第一阻断板831—对一对应。换言之，各个第二阻断板841可与各个第一阻断板831对齐而并排地布置。S卩，相互对应的第一阻断板831和第二阻断板841位于相同的平面上。图中，虽然示出为第一阻断板831的长度和第二阻断板841的X轴方向的宽度相同，但本发明的思想并不局限于此。即，要求与图案化狭缝851精确地对齐的第二阻断板841形成为相对薄，与此相反，不要求精确的对齐的第一阻断板831形成为相对厚，据此使得其制造变得容易。
[0208]而且，基板2在被移动部430的静电吸盘固定的状态下移动，且可以相对于有机层蒸镀组件800移动的同时执行蒸镀工艺。
[0209]另外，虽然未图示，但本发明显然还可以包括如下的有机层蒸镀装置，S卩，配备多个本实施例的有机层蒸镀组件800，由此基板2顺序地通过各个有机层蒸镀组件800的同时执行蒸镀工艺。
[0210]图13为示出根据本发明又一实施例的有机层蒸镀组件的概略的立体图。为了便于说明，以与前述实施例不同的点为中心进行说明。[0211]参照图13，有机层蒸镀组件900包括蒸镀源910、蒸镀源喷嘴部920、图案化狭缝板950。
[0212]蒸镀源910和基板2之间布置有图案化狭缝板950。图案化狭缝板950结合于大致形成为窗框状的框架955上，且在图案化狭缝板950上沿X轴方向形成有多个图案化狭缝951。相邻的图案化狭缝951之间形成有中间区域952。
[0213]由于图案化狭缝板950与前述相同，因此省略具体的说明。
[0214]蒸镀源910包括在其内部装填蒸镀物质915的坩埚911和加热坩埚911以使装填于坩埚911内部的蒸镀物质915朝蒸镀源喷嘴部920侧蒸发的加热器912。另外，在蒸镀源910的一侧布置有蒸镀源喷嘴部920，而在蒸镀源喷嘴部920沿Y方向形成有多个蒸镀源喷嘴 921。
[0215]而且，蒸镀源910和蒸镀源喷嘴部920借助连接部件935与图案化狭缝板950结
入
口 ο
[0216]蒸镀源喷嘴部920中，沿着Y轴方向，即沿着基板2的扫描方向形成有多个蒸镀源喷嘴921。在此，所述多个蒸镀源喷嘴921可等间距布置。在蒸镀源910内被汽化的蒸镀物质915通过这种蒸镀源喷嘴部920朝向作为被蒸镀体的基板2侧。其结果，在一个有机层蒸镀组件900之内沿着基板2的扫描方向形成有多个蒸镀源喷嘴921。通过在X轴方向仅形成一个蒸镀源喷嘴921，由此可以极大地减少阴影(shadow)的产生。而且，由于多个蒸镀源喷嘴921沿扫描方向设置，因此即便个别蒸镀源喷嘴之间发生流量的差异，但其差异可被抵消，由此可以得到蒸镀均匀度维持恒定的效果。
[0217]而且，基板2在被移动部430的静电吸盘432固定的状态下移动，且可相对于有机层蒸镀组件900移动的同时执行蒸镀工艺。
[0218]另外，虽然未图示，但本发明显然还可以包括如下的有机层蒸镀装置，S卩，配备多个本实施例的有机层蒸镀组件900，由此基板2顺序地通过各个有机层蒸镀组件900的同时执行蒸镀工艺。
[0219]图14为示出图案化狭缝以等间距形成在图5的有机层蒸镀装置的图案化狭缝板上的形态的图，图15为示出利用图14的图案化狭缝板形成于基板上的有机层的图。
[0220]图14和图15中示出了图案化狭缝131等间距布置的图案化狭缝板130。S卩，在图15中，I1 = I2 = = I4的关系可以成立。
[0221]图案化狭缝板130结合于框架135。
[0222]此时，经过蒸镀空间S的中心线C的蒸镀物质的入射角度几乎与基板2垂直。据此，由通过图案化狭缝131a的蒸镀物质形成的有机层P1其阴影的大小变为最小，且形成为右侧阴影SR1和左侧阴影SL1相互对称。在此，蒸镀空间S是利用图案化狭缝131在基板2上实际形成蒸镀图案的空间。
[0223]经过远离蒸镀空间S的中心线C而布置的图案化狭缝的蒸镀物质的临界入射角度Θ逐渐变大，经过最为末端的图案化狭缝131e的蒸镀物质的临界入射角Θ度约为55°C。因此，蒸镀物质相对于图案化狭缝131e倾斜地入射，而由通过了图案化狭缝131e的蒸镀物质所形成的有机层P5其阴影的大小变得最大，尤其左侧阴影SL5相比右侧阴影SR5形成的更长。
[0224]即，随着蒸镀物质的临界入射角度Θ变大，阴影的大小也变大，尤其远离蒸镀空间S的中心线C 一侧的阴影(shadow)变大。而且，对于蒸镀物质的临界入射角度Θ来说，从蒸镀空间S的中心部至图案化狭缝的距离越远，则越变大。因此，越是从蒸镀空间S的中心线C至图案化狭缝的距离大的有机层，其阴影的大小越大，尤其有机层的两端部的阴影中，从蒸镀空间S的中心线C更远的一侧的阴影的大小更加变大。
[0225]S卩，观看图15时，以蒸镀空间S的中心线C为基准，形成于左侧的有机层中，左侧斜边大于右侧斜边，以蒸镀空间S的中心线C为基准，形成于右侧的有机层中，右侧斜边大于左侧斜边。
[0226]而且，以蒸镀空间S的中心线C为基准，形成于左侧的有机层中，越是远离中心线C而布置的有机层，左侧斜边的长度越大，以蒸镀空间S的中心线C为基准，形成于右侧的有机层中，越是远离中心线C而布置的有机层，右侧斜边的长度越大。其结果，形成于蒸镀空间S内的有机层可以形成为以蒸镀空间S的中心线为基准相互对称。
[0227]换言之，对于入射角而言，0b< 0。< 0d< Θ e的关系成立，因此通过各个图案化狭缝的有机层的阴影的大小之间成立SL1 < SL2 < SL3 < SL4 < SL5的关系。
[0228]前述的阴影发光层SEML主要因如上的蒸镀工艺中的阴影而产生。S卩，例如，在形成红色中间层32R的发出红色可视光的有机发光层EML(R)之前，与红色中间层32R相邻的蓝色中间层32B或绿色中间层32G的各个有机发光层的阴影残存于红色中间层32R中，由此产生阴影发光层SEML，而在阴影发光层SEML之上形成有机发光层EML(R)。
[0229]这种阴影发光层SEML会降低有机发光层EML(R)的发光特性。即，有机发光层EML(R)的发光区域的相当多的部分位于有机发光层EML(R)和空穴输送层HTL与有机发光层EML(R)之间的界面，但由于本实施例中，空穴输送层HTL与阴影发光层SEML相接，因此在阴影发光层SEML中产生非正常的发光。
[0230]但是，由于本实施例的有机发光层EML(R)形成为包含空穴输送物质，作为具体示例，使主要物质包含空穴输送物质，由此尽可能使发光区域从阴影发光区域SEML移动至有机发光层EML(R)侧。据此，提高红色子像素的中间层32R中体现的红色可视光线的特性。而且，提高红色子像素的中间层32R中体现的光的效率，并减少驱动电压。
[0231]图16至图18为顺序地示出用于制造图1的有机发光显示装置的方法的图。虽然为了便于说明，省略图3和图4的有机发光显示装置，但后述的方法显然可以直接应用或变形之后应用于图3和图4的有机发光显示装置。
[0232]参照图16，在基板2上形成第一电极30和像素定义膜31。
[0233]然后参照图17，按照各个像素分别形成中间层32R、32G、32B。
[0234]这种中间层32R、32G、32B可利用前述的有机层蒸镀装置I或有机层蒸镀组件700、800、900进行移动并连续地形成。而且，虽然产生如上所述的阴影发光层SEML将降低发光特性，但本实施例中，使得有机发光层包含空穴输送物质，据此提高发光特性。
[0235]然后，参照图18，在中间层32R、32G、32B上形成第二电极33而最终完成有机发光显示装置1000。
[0236]虽然本发明参照图示的实施例进行了说明，但这仅仅是举例性的，本领域具有一般的知识的技术人员应可以理解，本发明可进行各种变更并存在多种等同的其他实施例。因此，本发明的真正的技术保护范围应根据权利要求书的技术思想来制定。
【权利要求】
1.一种有机发光显示装置，该有机发光显示装置中在基板上布置有多个子像素，所述子像素包括: 形成于基板上的第一电极； 形成于所述第一电极之上，并具备有机发光层的中间层； 形成于所述中间层之上的第二电极， 所述子像素中的发出至少一种颜色的光的任意一个子像素在所述有机发光层和所述第一电极之间具备发出与所述一种颜色不同的颜色的光的阴影发光层，且发出所述一种颜色的光的任意一个子像素的有机发光层包含空穴输送物质。
2.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中，所述子像素包括红色子像素、绿色子像素、蓝色子像素。
3.根据权利要求2所述的有机发光显示装置，其中，发出所述一种颜色的光的任意一个子像素为红色子像素， 所述阴影发光层包括配备于所述绿色子像素的有机发光层或配备于所述蓝色子像素的有机发光层中的至少一个有机发光层的物质。
4.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中，所述阴影发光层由发出互不相同的颜色的光的多个层形成。
5.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中，还包括布置在所述第一电极和所述阴影发光层之间的空穴输送层。
6.根据权利要求5所述的有机发光显示装置，其中，所述空穴输送层形成为多个层。
7.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中，还包括与所述第一电极电连接，且配备活性层、栅极、源极、漏极的薄膜晶体管。
8.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中，所述中间层利用有机层蒸镀装置形成， 所述中间层的蒸镀区域形成为，远离蒸镀区域的中心的斜边的长度大于靠近蒸镀区域的中心的斜边的长度。
9.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中，所述中间层利用有机层蒸镀装置形成， 所述中间层的蒸镀区域中，越是远离所述蒸镀区域的中心的区域，远离所述蒸镀区域的中心的斜边的长度越长。
10.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中，所述中间层利用有机层蒸镀装置形成， 所述中间层的蒸镀区域中，布置在所述蒸镀区域的中心的区域形成为两侧斜边的长度相同。
11.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中，所述中间层利用有机层蒸镀装置形成， 布置在所述中间层的蒸镀区域的区域布置为以所述蒸镀区域的中心为基准对称。
12.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中，所述基板具有40英寸以上的大小。
13.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中，所述中间层利用有机层蒸镀装置形成， 所述中间层的蒸镀区域具有不均匀的厚度。
14.一种有机发光显示装置的制造方法，涉及制造基板上布置有多个子像素的有机发光显示装置，包括如下步骤: 形成所述子像素； 在基板上形成第一电极； 在所述第一电极上形成配备有机发光层的中间层； 在所述中间层上形成第二电极， 所述子像素中，发出至少一种颜色的光的任意一种子像素在所述有机发光层和所述第一电极之间具备发出不同于所述一种颜色的其他颜色的光的阴影发光层，发出所述一种颜色的光的任意一种子像素的有机发光层包含空穴输送物质。
15.根据权利要求14所述的有机发光显示装置的制造方法，其中，所述阴影发光层在形成所述子像素中的任意一种颜色的子像素的有机发光层之前，在形成与所述一种颜色不同的其他颜色的子像素的有机发光层的过程中形成。
16.根据权利要求14所述的有机发光显示装置的制造方法，其中，所述中间层利用包括多个有机层蒸镀组件的有机层蒸镀装置形成， 所述有机层蒸镀组件包括:放射蒸镀物质的蒸镀源；布置在所述蒸镀源的一侧，具备多个蒸镀源喷嘴的蒸镀源喷嘴部；布置成与所述蒸镀源喷嘴部面对，并具备多个图案化狭缝的图案化狭缝板， 由此蒸镀工艺执行为由所述蒸镀源放射的所述蒸镀物质通过所述图案化狭缝板形成于所述基板上。
17.根据权利要求16所述的有机发光显示装置的制造方法，其中，所述子像素具备红色子像素、绿色子像素、蓝色子像素， 所述红色子像素的有机发光层，所述绿色子像素的有机发光层，所述蓝色子像素的有机发光层利用所述多个有机层蒸镀组件中的彼此不同的有机层蒸镀组件形成。
18.根据权利要求16所述的有机发光显示装置的制造方法，其中，所述多个有机层蒸镀组件中，用于形成所述一种颜色的子像素的有机发光层的有机层蒸镀组件和用于形成所述阴影发光层的有机层蒸镀组件相邻地布置。
19.根据权利要求16所述的有机发光显示装置的制造方法，其中，利用所述有机层蒸镀装置形成所述中间层的步骤包括如下步骤: 在装载部将所述基板固定到移动部； 将固定有所述基板的移动部利用设置成贯通腔体的第一移送部移送至所述腔体内； 在所述有机层蒸镀组件布置在所述腔体内，且布置于所述腔体内的所述有机层蒸镀组件和所述基板分隔预定程度的状态下，所述基板相对所述有机层蒸镀组件移动的同时，从所述有机层蒸镀组件发散的蒸镀物质被蒸镀到所述基板上，形成所述中间层； 由卸载部将完成蒸镀的所述基板从所述移动部分离出来； 将与所述基板分离的所述移动部利用设置成贯通所述腔体的第二移送部移送至所述装载部。
20.根据权利要求19所述的有机发光显示装置的制造方法，其中，所述基板通过所述多个有机层蒸镀组件的同时对所述基板连续地进行蒸镀。
21.根据权利要求19所述的有机发光显示装置的制造方法，其中，所述移动部在所述第一移送部和所述第二移送部之间循环。
22.根据权利要求19所述的有机发光显示装置的制造方法，其中，所述第一移送部和所述第二移送部沿上下并排布置。
23.根据权利要求19所述的有机发光显示装置的制造方法，其中，所述移动部以与所述第一移送部非接触的方式在所述腔体内被移送。
24.根据权利要求19所述的有机发光显示装置的制造方法，其中，所述有机层蒸镀组件的所述图案化狭缝板形成为在第一方向或与所述第一方向交叉的第二方向中的至少一个方向上小于所述 基板。
【文档编号】H01L51/56GK103811520SQ201310077516
【公开日】2014年5月21日 申请日期:2013年3月12日 优先权日:2012年11月8日
【发明者】吴彦锡, 崔宝美, 姜炫声, 金相烈 申请人:三星显示有限公司