技术总结
一种鳍式场效应管的形成方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底上具有若干分立的鳍部,相邻鳍部之间具有隔离结构,所述隔离结构的表面低于鳍部的顶部表面;形成覆盖所述鳍部以及隔离结构的牺牲层;对所述牺牲层进行离子注入,在所述牺牲层中形成离子掺杂层;采用化学机械研磨工艺平坦化所述牺牲层,以离子掺杂层作为停止层;刻蚀剩余的牺牲层,形成横跨所述鳍部顶部和侧壁表面的伪栅。采用离子掺杂层作为停止层,能较准确的控制剩余的牺牲层的厚度。
技术研发人员:三重野文健
受保护的技术使用者:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
文档号码:201310105896
技术研发日:2013.03.28
技术公布日:2017.08.25