专利名称：机械手的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种机械手，尤其涉及一种用于抓取单晶硅的机械手。
背景技术：
在生产制造硅片时，需要将用来固定单晶硅的晶硅夹具、树酯以及单晶硅通过胶水按序粘接起来。目前，在国内，将所述晶硅夹具、树酯以及单晶硅粘接起来是通过手工来实现的。这样使得硅片的生产效率比较低下、生产成本较高，不利于实现硅片的大规模生产。而要实现硅片的大规模自动化生产，则必须解决单晶硅的取放问题。又由于单晶硅上具有灰尘，从而使得单晶硅与树酯粘接时不牢固。鉴于上述问题，有必要提供一种机械手，以解决上述问题。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明解决的技术问题是提供一种机械手，该机械手能够对单晶硅进行清洗。为解决上述技术问题，本发明的技术方案是这样实现的:
一种机械手，包括主机械手、安装在所述主机械手上的副机械手以及安装在所述主机械手上的清洗装置，所述主机械手包括主气缸、安装在所述主气缸上的主连接件以及安装在所述主连接件上的主吸盘；所述副机械手包括副气缸、安装在所述副气缸上的副连接件以及安装在所述副连接件上的副吸盘；所述清洗装在安装在所述主连接件上。进一步地,所述副气缸在安装在所述主连接件的一侧。
进一步地，所述主吸盘的数量为三。进一步地，所述副吸盘的数量为二。本发明的有益效果是:相较于现有技术，本发明所述机械手不仅能够抓取单晶硅，还能对单晶硅进行清洗。
图1为本发明机械手的立体示意图。
具体实施例方式为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述。请参阅图1所示，本发明机械手100包括主机械手10、安装在所述主机械手10上的副机械手20以及安装在所述主机械手10上的清洗装置30。所述主机械手10包括主气缸11、安装在所述主气缸11上的主连接件12以及安装在所述主连接件12上的主吸盘13，所述主连接件12可以在所述主气缸11的作用下进行上下运动，所述主吸盘13用来吸住单晶硅40。所述副机械手20包括副气缸21、安装在所述副气缸21上的副连接件22以及安装在所述副连接件22上的副吸盘23，所述副连接件22可以在所述副气缸21的作用下进行上下运动。所述副气缸21安装在所述主连接件12的一侧。在本实施例中，所述主吸盘13的数量为三，所述副吸盘23的数量为二。所述清洗装置30安装在所述主连接12上，其所使用清洗液为酒精。当使用本发明机械手100时，如果要吸取较大的单晶硅时，则使用主机械手10 ;当要吸取较小的单晶硅时，则使用副机械手20。当需要清洗单晶硅时，则打开所述清洗装置30对单晶硅进行清洗。相较于现有技术，本发明所述机械手100不仅能够抓取单晶硅，还能对单晶硅进行清洗。特别需要指出，对于本领域的普通技术人员来说，在本发明的教导下所作的针对本发明的等效变化， 仍应包含在本发明申请专利范围所主张的范围中。
权利要求
1.一种机械手，其特征在于:所述机械手包括主机械手、安装在所述主机械手上的副机械手以及安装在所述主机械手上的清洗装置，所述主机械手包括主气缸、安装在所述主气缸上的主连接件以及安装在所述主连接件上的主吸盘；所述副机械手包括副气缸、安装在所述副气缸上的副连接件以及安装在所述副连接件上的副吸盘；所述清洗装在安装在所述主连接件上。
2.如权利要求1所述的机械手，其特征在于:所述副气缸在安装在所述主连接件的一侧。
3.如权利要求2所述的机械手，其特征在于:所述主吸盘的数量为三。
4.如权利要求3所 述的机械手，其特征在于:所述副吸盘的数量为二。
全文摘要
本发明揭示了一种机械手，包括主机械手、安装在所述主机械手上的副机械手以及安装在所述主机械手上的清洗装置，所述主机械手包括主气缸、安装在所述主气缸上的主连接件以及安装在所述主连接件上的主吸盘；所述副机械手包括副气缸、安装在所述副气缸上的副连接件以及安装在所述副连接件上的副吸盘；所述清洗装在安装在所述主连接件上。与现有技术相比，本发明所述机械手不仅能够抓取单晶硅，还能对单晶硅进行清洗。
文档编号H01L21/683GK103227139SQ20131015499
公开日2013年7月31日 申请日期2013年4月28日 优先权日2013年4月28日
发明者李佳 申请人:苏州工业园区高登威科技有限公司