沉积装置以及使用该装置制造有机发光显示器的方法
【专利摘要】一种沉积装置，包括：沉积源用于包含有沉积材料，该沉积源包括沿着第一方向位于两个外侧区域之间的中心区域，以及多个喷嘴沿着第一方向设置在沉积源的中心区域上，该多个喷嘴被配置为向着基板表面喷射沉积材料，其中，该喷嘴包括：第一喷嘴和第二喷嘴，第一喷嘴具有与基板表面平行并相对的末端，第二喷嘴具有相对于基板表面形成倾斜角的末端。
【专利说明】沉积装置以及使用该装置制造有机发光显示器的方法
【技术领域】
[0001]示例性实施方式涉及沉积装置以及使用该装置制造有机发光(OLED)显示器的方法，尤其涉及配置为通过控制沉积材料的喷射角从而防止阴影现象的沉积装置和使用该装置制造有机发光显示器的方法。
【背景技术】
[0002]在显示设备中，有机发光显示器展现出宽视角、优异的对比度和快的响应速度，因此作为下一代显示设备而备受瞩目。通常，有机发光显示器包括设置在阳极与阴极之间的发光层，在发光层重新组合在阳极和阴极生成的空穴和电子以进行发光，进而呈现色彩。然而，在这种结构下，当未在各个电极与发光层之间选择性地增加和插入额外的中间层，例如电子注入层(EIL)、电子传输层(ETL)、空穴传输层(HTL)和空穴注入层(HIL)时，则很难实现高效率的发光。
[0003]在【背景技术】部分公开的上述信息仅用于增进对于本发明的【背景技术】的理解，并且，因此它可能包含本【技术领域】的本国普通技术人员已知的、并不构成现有技术的信息。
【发明内容】
[0004]示例性实施方式提供了一种在基板上增加沉积材料的入射角的沉积装置。
[0005]示例性实施方式还提供了一种增加沉积均匀性和沉积效率的有机发光显示器的制造方法。
[0006]根据示例性实施方式的沉积装置，包括:用于容纳沉积材料并包括沿着第一方向位于两个外侧区域之间的中心区域的沉积源，以及沿着第一方向设置在沉积源的中心区域上的多个喷嘴，该多个喷嘴被配置为向基板表面喷射所述沉积材料，其中，该喷嘴包括第一喷嘴和第二喷嘴，第一喷嘴具有与基板表面平行并面对基板的末端，所述第二喷嘴具有相对于基板表面形成倾斜角的末端。
[0007]可以对齐在第一方向上的基板的中心与在第一方向上的沉积源的中心，并且沉积源的中心区域可以具有长度LI:
【权利要求】
1.一种沉积装置，包括: 沉积源，用于容纳沉积材料，并包括沿着第一方向位于两个外侧区域之间的中心区域；以及 多个喷嘴，沿着所述第一方向设置在所述沉积源的所述中心区域上，所述多个喷嘴被配置为向基板表面喷射所述沉积材料， 其中，所述喷嘴包括第一喷嘴和第二喷嘴，所述第一喷嘴具有与所述基板表面平行并面对所述基板的末端，所述第二喷嘴具有相对于所述基板表面形成倾斜角的末端。
2.根据权利要求1所述的沉积装置，其中， 所述沉积源和所述基板的中心在所述第一方向上是对齐的，并且所述沉积源的所述中心区域具有长度LI:
3.根据权利要求1所述的沉积装置，其中， 所述倾斜角为43度至53度。
4.根据权利要求1所述的沉积装置，其中， 所述倾斜角为25度至35度。
5.根据权利要求1所述的沉积装置，其中，所述喷嘴包括: 沿所述第一方向设置的所述第一喷嘴的列；以及 沿所述第一方向设置的所述第二喷嘴的列， 所述第一喷嘴形成的列与所述第二喷嘴形成的列在与所述第一方向相交的第二方向上平行并相隔。
6.根据权利要求1所述的沉积装置，其中， 在所述第一方向上，所述多个喷嘴相对于所述沉积源的所述中心区域被对称地设置。
7.—种有机发光显不器的制造方法,包括: 提供沉积装置，所述沉积装置包括: 沉积源，被配置为用于容纳沉积材料，并包括沿着第一方向位于两个外侧区域之间的中心区域，以及 多个喷嘴，沿着所述第一方向设置在所述沉积源的所述中心区域上，所述多个喷嘴包括:具有与基板表面平行并面对所述基板的末端的第一喷嘴、以及具有相对于所述基板表面形成倾斜角的末端的第二喷嘴； 将所述基板设置成面对所述喷嘴；以及 通过所述喷嘴向所述基板喷射所述沉积材料，并且在与所述第一方向相交的第二方向上移动所述沉积源。
8.根据权利要求7所述的方法，其中，设置所述基板的步骤包括: 在所述第一方向上对齐所述沉积源和所述基板的中心，并且所述中心区域具有长度LI:
9.根据权利要求7所述的方法，其中， 以43度至53度的角度形成所述倾斜角。
10.根据权利要求7所述的方法，其中， 以25度至35度的角度形成所述倾斜角。
11.根据权利要求7所述的方法，其中，所述喷嘴包括: 沿所述第一方向设置的所述第一喷嘴的列；以及 沿所述第一方向设置的所述第二喷嘴的列， 所述第一喷嘴形成 的列与所述第二喷嘴形成的列在与所述第一方向相交的第二方向上平行并相隔。
12.根据权利要求7所述的方法，其中， 相对于所述沉积源的所述中心区域，在所述第一方向上对称地设置所述多个喷嘴。
【文档编号】H01L51/56GK103726017SQ201310361961
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2013年8月19日 优先权日:2012年10月12日
【发明者】李相信 申请人:三星显示有限公司