湿蚀刻机台的制作方法
【专利摘要】一种湿蚀刻机台，包含一外壳、一处理槽体以及一废水槽体。处理槽体设置于外壳内。处理槽体具有一组装口。废水槽体以可拆卸的方式结合于处理槽体。废水槽体具有一结合口，且结合口与组装口相连通。藉此，本实用新型的湿蚀刻机台通过上下模块接合的方式，而可在正常的维修时间内更换废水槽体，而使得湿蚀刻机台可在较短的时间内复机。同时，本实用新型通过模块化、自动化的生产作业，还可确保湿蚀刻机台的产品品质并且降低生产成本。也就是说，本实用新型通过创新的专利工法而大幅改善了现有的湿蚀刻机台。
【专利说明】湿蚀刻机台
【技术领域】
[0001]本新型涉及一种湿蚀刻机台，特别涉及一种具有可拆卸的废水槽体的湿蚀刻机
台O
【背景技术】
[0002]在目前的蚀刻工艺中，半导体元件是放置于石英槽内并通过酸液来进行蚀刻。为了调整蚀刻工艺的反应温度，石英槽是设置于湿蚀刻机台内的容置槽，并且容置槽内会注入大量的水，再通过加热程序调整水温以控制石英槽内的温度。
[0003]在多次的操作过程中，容置槽会历经多次的升温、降温过程，这容易造成容置槽的结构劣化。举例来说，容置槽内的焊点会因此老化而破裂，甚至产生漏液的现象。再者，石英槽内的酸液若是溅出，也会破坏焊点的结构强度。
[0004]当容置槽发生漏液现象时，一般会先移除容置槽内的焊点，再以人工方式重新进行焊接。然而，以人工方式重新焊接除了在品质上较为不稳定，焊点的寿命较短，而在短时间内又容易再度发生漏液的问题现象。另一方面，在完成焊接后，相关的漏液测试也需要较长的时间(数日)，而使得整个工序需要耗费数日的施工时间。也就是说，当湿蚀刻机台内的容置槽发生漏液现象时，所需要的处理程序较为复杂且效果较差。
实用新型内容
[0005]鉴于以上的问题，本实用新型的目的在于提供一种湿蚀刻机台，藉以解决现有技术中，当湿蚀刻机台内的容置槽，发生漏液现象时，所需要的处理程序较为复杂且施工时间较长而效果较差的问题。
[0006]为达上述目的，本实用新型提供一种湿蚀刻机台，其包含:
[0007]—外壳；
[0008]一处理槽体，设置于该外壳内，该处理槽体具有一组装口 ；以及
[0009]一废水槽体，以能够拆卸的方式结合于该处理槽体，该废水槽体具有一结合口，且该结合口与该组装口相连通。
[0010]上述的湿蚀刻机台，其中该处理槽体具有相连的一底板以及一侧板，该组装口贯穿该底板，且该组装口对应该废水槽体的一槽口。
[0011 ] 上述的湿蚀刻机台，其中另包含一组装架，位于该组装口，该废水槽体通过该组装架而结合于该处理槽体。
[0012]上述的湿蚀刻机台，其中该组装架相反于该废水槽体的一侧延伸有一导引板，该导引板连接该侧板。
[0013]上述的湿蚀刻机台，其中该导引板的延伸方向与该底板的延伸方向夹一锐角。
[0014]上述的湿蚀刻机台，其中另包含一挡水板，分别连接该侧板以及该组装架。
[0015]上述的湿蚀刻机台，其中该挡水板的延伸方向与该底板的延伸方向夹一锐角。
[0016]上述的湿蚀刻机台，其中该组装架相反于该废水槽体的一侧延伸有一导引板，该挡水板连接该导引板以及该侧板。
[0017]上述的湿蚀刻机台，其中该导引板的延伸方向与该底板的延伸方向夹一锐角。
[0018]上述的湿蚀刻机台，其中该组装架朝该废水槽体延伸有一遮挡块。
[0019]上述的湿蚀刻机台，其中该侧板具有至少一连通孔，贯穿该侧板。
[0020]上述的湿蚀刻机台，其中另包含至少一支撑架，该支撑架的一侧连接于该废水槽体，该支撑架的另一侧连接于该湿蚀刻机台的一承载面。
[0021]上述的湿蚀刻机台，其中一防水垫圈通过至少一螺丝而锁固于该支撑架与该废水槽体之间。
[0022]上述的湿蚀刻机台，其中另包含至少二支撑杆，该二支撑杆的相对两端分别连接该湿蚀刻机台的相对二内侧壁。
[0023]上述的湿蚀刻机台，其中该处理槽体的材质为高聚合度聚氯乙烯。
[0024]上述的湿蚀刻机台，其特征在于，所述另包含一蚀刻槽，该蚀刻槽容置于该废水槽体内。
[0025]根据上述本实用新型实施例所揭露的湿蚀刻机台，由于废水槽体是可拆卸地结合于处理槽体，所以当湿蚀刻机台内的容置槽发生漏液现象时，只需要更换废水槽体，因而在程序上较为简单。同时，更换废水槽体的工序可采用工具施工以确保品质的稳定。再者，更换废水槽体后的湿蚀刻 机台也具有较长的使用寿命。另一方面，由于可预先对废水槽体进行水压测试，因而在将废水槽体组合于处理槽体之后不须重新进行漏液测试。所以，更换废水槽体的工序所需的时间也较短。如此一来，即解决了现有技术中当湿蚀刻机台内的容置槽发生漏液现象时，所需要的处理程序较为复杂且效果较差的问题。
[0026]以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。
【专利附图】
【附图说明】
[0027]图1A为本实用新型一实施例所揭露的湿蚀刻机台的示意图；
[0028]图1B为图1A的湿蚀刻机台的部分结构示意图；
[0029]图1C为本实用新型另一实施例所揭露的湿蚀刻机台的部分结构示意图；
[0030]图1D为图1C的湿蚀刻机台的另一部分结构示意图；
[0031]图2为本实用新型又一实施例所揭露的湿蚀刻机台的部分结构示意图；
[0032]图3为本实用新型再一实施例所揭露的湿蚀刻机台的部分结构示意图；
[0033]图4A至图4C分别为本实用新型的湿蚀刻机台更换废水槽体的部分结构示意图。
[0034]其中，附图标记
[0035]10湿蚀刻机台
[0036]11外壳
[0037]100处理槽体
[0038]101组装口
[0039]110底板
[0040]120侧板
[0041]121连通孔[0042]200、200’废水槽体
[0043]201槽口
[0044]210结合口
[0045]300、300x、300y组装架
[0046]310导引板
[0047]320遮挡块
[0048]500、500’螺丝
[0049]600支撑杆
[0050]700蚀刻槽
[0051]800支撑架
[0052]900、900a挡水板
[0053]Fl承载面
[0054]F2内侧壁
【具体实施方式】
[0055]以下在实施方式中详细叙述本实用新型的详细特征以及优点，其内容足以使任何熟习相关技术者了解本实用新型的技术内容并据以实施，且根据本说明书所揭露的内容、权利要求范围及附图，任何熟习相关技术者可轻易地理解本实用新型相关的目的及优点。以下的实施例是进一步详细说明本实用新型的观点，但非以任何观点限制本实用新型的范畴。
[0056]首先，请参阅图1A及图1B，图1A为本实用新型一实施例所揭露的湿蚀刻机台的示意图，图1B为图1A的湿蚀刻机台的部分结构示意图。湿蚀刻机台10包含一外壳11、一处理槽体100以及一废水槽体200。在本实施例中，湿蚀刻机台10还包含一组装架300，但并不以此为限。
[0057]处理槽体100设置于外壳11内。处理槽体100具有一组装口 101。废水槽体200以可拆卸的方式结合处理槽体100。也就是说，废水槽体200是湿蚀刻机台10中可替换的组件。废水槽体200具有一结合口 210，且结合口 210与组装口 101相连通。其中，废水槽体200的材质为高聚合度聚氯乙烯(HPVC)，并且所承载的重量是以50公斤作为举例说明，但并不以此为限。
[0058]处理槽体100具有相连的一底板110以及一侧板120。组装口 101贯穿底板110。侧板120具有至少一连通孔121，连通孔121贯穿侧板120，以平衡连通孔121两侧的气压。组装口 101对应废水槽体200的一槽口 201。组装架300位于组装口 101。详细来说，废水槽体200是通过组装架300而结合于处理槽体100。
[0059]在本实施例中，组 装架300与废水槽体200之间还夹设有一防水垫圈，并且防水垫圈是通过例如至少一螺丝500的锁固件而被锁固在组装架300与废水槽体200之间。藉此，以提升组装架300与废水槽体200之间的密封效果，而可避免废水槽体200内的液体(例如:水、酸液…)自组装架300与废水槽体200之间的结合处溢出废水槽体200外。
[0060]在本实施例中，组装架300相反于废水槽体200的一侧延伸有一导引板310。导引板310连接处理槽体100的侧板120。其中，组装架300及其导引板310可以是一体成型的结构。然而，组装架300及其导引板310是一体成型的结构并非用以限定本实用新型。
[0061]在本实施例中，使用者可预先依据组装架300与侧板120之间的距离以设计导引板310的长度，以使导引板310的长度匹配于组装架300与侧板120之间的距离。
[0062]导引板310的延伸方向Dl与底板110的延伸方向D2夹一锐角Al。藉此，导引板310可防止液体渗入处理槽体100内，而具有挡水的效果。也就是说，导引板310的延伸方向Dl与底板110的延伸方向D2夹一锐角Al的设计可避免液体流入处理槽体100内，而造成处理槽体100内的焊点因为液体而老化，进而造成漏液的现象。
[0063]另一方面，组装架300朝废水槽体200延伸有一遮挡块320。藉此，以避免液体溅出废水槽体200外。
[0064]如上所述，由于在本实用新型实施例的湿蚀刻机台中，废水槽体是可拆卸地结合于处理槽体，所以当湿蚀刻机台内的容置槽发生漏液现象时，只需要更换废水槽体，因而在程序上较为简单。同时，更换废水槽体的工序可采用工具施工以确保品质的稳定。再者，更换废水槽体后的湿蚀刻机台也具有较长的使用寿命。另一方面，由于可预先对废水槽体进行气密测试，因而在将废水槽体组合于处理槽体之后不须重新进行气密测试。所以，更换废水槽体的工序所需的时间也较短(仅需2-4小时)。因此，本实用新型实施例的湿蚀刻机台以及工法解决了现有技术中当湿蚀刻机台内的容置槽发生漏液现象时，所需要的处理程序较为复杂且效果较差的问题。
[0065]请参阅图1C，图1C为本实用新型另一实施例所揭露的湿蚀刻机台的部分结构示意图。相较于图1B的实施例，本实施例的湿蚀刻机台进一步还包含至少一支撑架800。支撑架800的一侧连接于废水槽体200，支撑架800的另一侧连接于湿蚀刻机台的一承载面Fl0支撑架800例如可区分为三段，且三段相互卡合，但本实用新型并不以此为限。
[0066]如此一来，废水槽体200 (及容置于废水槽体200内的液体或其他装置)的重量可通过支撑架800而由湿蚀刻机台支撑，而使湿蚀刻机台的结构更为稳固。
[0067]请一并参阅图1D，图1D为图1C的湿蚀刻机台的另一部分结构示意图。在本实施例中，湿蚀刻机台还包含至少二支撑杆600。支撑杆600的相对两端分别连接湿蚀刻机台的相对二内侧壁F2 (如图1D所示)。藉此，支撑杆600可用来支撑容置于废水槽体200内的一蚀刻槽700。因此，废水槽体200只需承载蚀刻程序中所使用的液体的重量，而不须承载蚀刻槽700的重量，而可避免废水槽体200因承载过重而加速老化等现象。
[0068]接着，请参阅图2，图2为本实用新型又一实施例所揭露的湿蚀刻机台的部分结构示意图。本实施例与图1的实施例相似，其中相同的符号代表相同或相似的元件，故仅针对差异之处进行说明。
[0069]在本实施例中，湿蚀刻机台包含一外壳11、一处理槽体100、一废水槽体200、一组装架300x以及一挡水板900。组装架300x相反于废水槽体200的一侧延伸有一导引板310。挡水板900分别连接侧板120以及组装架300的导引板310。本实施例与图1的实施例相似，本实施例的导引板310的延伸方向与底板110的延伸方向D2夹一锐角，而挡水板900的延伸方向D3与底板110的延伸方向D2夹一锐角A2。藉此，导引板310与挡水板900可共同防止液体渗入处理槽体100内，而具有挡水的效果。因此，导引板310与挡水板900可避免液体流入处理槽体100内，而造成处理槽体100内的焊点因为液体而老化，进而造成漏液的现象。[0070]在本实施例中，使用者可先将组装架300x装设于组装口 1100，再依据导引板310与侧板120之间的距离以设计挡水板900的长度，以使挡水板900的长度匹配于导引板310与侧板120之间的距离。
[0071]接着，请参阅图3，图3为本实用新型再一实施例所揭露的湿蚀刻机台的部分结构示意图。本实施例与图1的实施例相似，其中相同的符号代表相同或相似的元件，故仅针对差异之处进行说明。
[0072]在本实施例中，湿蚀刻机台包含一外壳11、一处理槽体100、一废水槽体200、一组装架300y以及一挡水板900a。本实施例与上述实施例的差异在于，本实施例的组装架300y并不具有导引板。挡水板900a分别连接侧板120以及组装架300。藉此，挡水板900a可防止液体渗入处理槽体100内，而具有挡水的效果。也就是说，本实施例是通过挡水板900a而可避免液体流入处理槽体100内，而造成处理槽体100内的焊点因为液体而老化，进而造成漏液的现象。
[0073]在本实施例中，使用者可先将组装架300y装设于组装口 1100，再依据组装架300y与侧板120之间的距离以设计挡水板900a的长度，以使挡水板900a的长度匹配于组装架300y与侧板120之间的距离。
[0074]以下介绍当本实用新型的废水槽体发生漏液的情形时的处置流程。在以下流程中，是以图1C的湿蚀刻机台进行举例说明。请一并参阅图1C、图4A至图4C，图4A至图4C分别为本实用新型的湿蚀刻机台更换废水槽体的部分结构示意图。
[0075]当本实用新型的废水槽体200发生漏液的情形时，首先，移除支撑架800，并且移除防水垫圈(如图4A所示)。
[0076]接着，将废水槽体200与处理槽体100分离(如图4B所示)。
[0077]最后，将另一废水槽体200’与处理槽体100结合，并且通过全新的螺丝500’以重新组装防水垫圈以及支撑架800 (如图4C所示)，即完成了废水槽体的更换。
[0078]当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。
【权利要求】
1.一种湿蚀刻机台，其特征在于，包含: 一夕卜壳; 一处理槽体，设置于该外壳内，该处理槽体具有一组装口 ；以及 一废水槽体，以能够拆卸的方式结合于该处理槽体，该废水槽体具有一结合口，且该结合口与该组装口相连通。
2.根据权利要求1所述的湿蚀刻机台，其特征在于，该处理槽体具有相连的一底板以及一侧板，该组装口贯穿该底板，且该组装口对应该废水槽体的一槽口。
3.根据权利要求2所述的湿蚀刻机台，其特征在于，另包含一组装架，位于该组装口，该废水槽体通过该组装架而结合于该处理槽体。
4.根据权利要求3所述的湿蚀刻机台，其特征在于，该组装架相反于该废水槽体的一侧延伸有一导引板，该导引板连接该侧板。
5.根据权利要求4所述的湿蚀刻机台，其特征在于，该导引板的延伸方向与该底板的延伸方向夹一锐角。
6.根据权利要求3所述的湿蚀刻机台，其特征在于，另包含一挡水板，分别连接该侧板以及该组装架。
7.根据权利要求6所述的湿蚀刻机台，其特征在于，该挡水板的延伸方向与该底板的延伸方向夹一锐角。
8.根据权利要求6所述的湿蚀刻机台，其特征在于，该组装架相反于该废水槽体的一侧延伸有一导引板，该挡水板连接该导引板以及该侧板。
9.根据权利要求8所述的湿蚀刻机台，其特征在于，该导引板的延伸方向与该底板的延伸方向夹一锐角。
10.根据权利要求3所述的湿蚀刻机台，其特征在于，该组装架朝该废水槽体延伸有一遮挡块。
11.根据权利要求2所述的湿蚀刻机台，其特征在于，该侧板具有至少一连通孔，贯穿该侧板。
12.根据权利要求1所述的湿蚀刻机台，其特征在于，另包含至少一支撑架，该支撑架的一侧连接于该废水槽体，该支撑架的另一侧连接于该湿蚀刻机台的一承载面。
13.根据权利要求12所述的湿蚀刻机台，其特征在于，一防水垫圈通过至少一螺丝而锁固于该支撑架与该废水槽体之间。
14.根据权利要求1所述的湿蚀刻机台，其特征在于，另包含至少二支撑杆，该二支撑杆的相对两端分别连接该湿蚀刻机台的相对二内侧壁。
15.根据权利要求1所述的湿蚀刻机台，其特征在于，该处理槽体的材质为高聚合度聚氯乙烯。
16.根据权利要求1至15任意一项所述的湿蚀刻机台，其特征在于，另包含一蚀刻槽，该蚀刻槽容置于该废水槽体内。
【文档编号】H01L21/67GK203607372SQ201320825561
【公开日】2014年5月21日 申请日期:2013年12月13日 优先权日:2013年12月13日
【发明者】解瑞松 申请人:解瑞松