一种太阳能电池制绒工艺的制作方法
【专利摘要】本发明涉及太阳能电池制绒领域，特别是涉及一种单晶硅制绒工艺。一种太阳能电池制绒工艺，在现有的太阳能电池制绒工艺前增加预清洗和喷淋水洗步骤。本发明在初始对脏污单晶片进行有效清洗，从源头上制止不合格片的产生，降低脏污不合格片比例，提高产品品质，降低生产成本；本发明预清洗过程中采用清洗槽中的清洗液对硅片更加彻底清洗，阻止了污垢对主要工艺槽（刻蚀槽）的影响，增加了工艺稳定性；本发明预清洗过程中在硅片表面形成新的制绒结构，提高了电池片光电转换效率。
【专利说明】-种太阳能电池制绒工艺
【技术领域】
[0001] 本发明涉及太阳能电池制绒领域，特别是涉及一种单晶硅制绒工艺。
【背景技术】
[0002] 目前太阳能电池所米用的单晶制绒工艺流程为：碱制绒一喷淋水洗一流动水洗一 酸洗一喷淋水洗一流动水洗一热水洗一热风干。本工艺流程将未经过预清洗的单晶硅片通 过机械手直接放入碱洗工艺槽，而碱洗工艺只针对硅片表面进行刻蚀和简单清洗，不能清 洗手指印、油脂等大分子有机物，达不到清洗的目的。产生的不合格片较多，并影响电池片 的转换效率。
【发明内容】
[0003] 本发明所要解决的技术问题是：如何解决当前碱洗工艺只针对硅片表面进行刻蚀 和简单清洗，不能清洗手指印、油脂等大分子有机物，达不到清洗的目的的问题。
[0004] 本发明所采用的技术方案是：一种太阳能电池制绒工艺，其特征在于：在现有的 太阳能电池制绒工艺前增加预清洗和喷淋水洗步骤。也就是按照预清洗一喷淋水洗一碱制 绒一喷淋水洗一流动水洗一酸洗一喷淋水洗一流动水洗一热水洗一热风干的步骤进行，其 中喷淋水洗与现有的喷淋水洗过程完全相同。
[0005] 作为一种优选方式：预清洗在预清洗槽中进行，清洗槽中的清洗液初始按照体积 t匕，去离子水：25%浓度双氧水：45%浓度氢氧化钾=200:25:2配置。
[0006] 作为一种优选方式：硅片在清洗槽中清洗时，保持清洗槽中的清洗液温度为60摄 氏度，清洗时间为6分钟。
[0007] 作为一种优选方式：清洗槽中的清洗液需要补充，补液时每400片硅片补充0. 6升 25%浓度双氧水。
[0008] 本发明的有益效果是：本发明在初始对脏污单晶片进行有效清洗，从源头上制止 不合格片的产生，降低脏污不合格片比例，提高产品品质，降低生产成本；本发明预清洗过 程中采用清洗槽中的清洗液对硅片更加彻底清洗，阻止了污垢对主要工艺槽(刻蚀槽）的影 响，增加了工艺稳定性；本发明预清洗过程中在硅片表面形成新的制绒结构，提高了电池片 光电转换效率。
【具体实施方式】
[0009] 本发明是在现有太阳能单晶硅片制绒工艺流程上的改进，具体实施过程如下： 在现有清洗制绒步骤前添加一步双氧水预清洗工艺，使用槽式设备(与现有的碱制绒 槽类似)，预清洗槽槽体容量为279L (长宽高参数为10〇CmX62CmX45cm)。槽体下铺设去 离子热水自动补给管、自动排水管、自动控制电动加热棒(恒温60度)、25%双氧水自动补给 管、45%K0H溶液自动补给管。该槽体内管道液体供应量与供应时机均由设备内PLC控制系 统控制，设定首次补液量与批次补液量，设定槽内液体清洗批次为20批，达到使用次数后 自动更换液体。自动控制系统控制设备自动运行，遇突发状况切换手动模式进行人为操作。 [0010] 在预清洗槽中初始加入200L去离子水(热水)，25%浓度双氧水25L，45%浓度氢氧 化钾2L，工艺温度保持在60摄氏底，清洗时间为6分钟，补液为每400片补充0. 6L双氧水。 [0011] 实验参考数据：（以1000片为单位进行多次对比试验） 为改进前：
【权利要求】
1. 一种太阳能电池制绒工艺，其特征在于：在现有的太阳能电池制绒工艺前增加预清 洗和喷淋水洗步骤。
2. 根据权利要求1所述的一种太阳能电池制绒工艺，其特征在于：预清洗在预清洗槽 中进行，清洗槽中的清洗液初始按照体积比，去离子水：25%浓度双氧水：45%浓度氢氧化钾 =200:25:2 配置。
3. 根据权利要求2所述的一种太阳能电池制绒工艺，其特征在于：娃片在清洗槽中清 洗时，保持清洗槽中的清洗液温度为60摄氏度，清洗时间为6分钟。
4. 根据权利要求3所述的一种太阳能电池制绒工艺，其特征在于：清洗槽中的清洗液 需要补充，补液时每400片硅片补充0. 6升25%浓度双氧水。
【文档编号】H01L31/18GK104157735SQ201410399144
【公开日】2014年11月19日 申请日期:2014年8月14日 优先权日:2014年8月14日
【发明者】刘进, 周水生, 董建明, 贾彦科, 苑虎, 赵科巍, 申开瑜, 张之栋 申请人:山西潞安太阳能科技有限责任公司