1.一种硅片快速交接装置，在预对准单元，片库单元，下片缓存台和工件台之间传送硅片，包括硅片传输机械手以及硅片交接机构，其特征在于，所述硅片交接机构包括多个旋转套筒和多个片叉，所述多个旋转套筒的旋转中心相同，相互嵌套设置；每个所述旋转套筒顶端连接有一个所述片叉，用于吸附所述硅片；所述多个套筒可围绕所述旋转中心单独旋转；所述片叉呈U字型，两边的间距大于所述预对准单元、下片缓存台以及工件台上的硅片吸附顶针之间的最大距离。
2.如权利要求1所述的硅片快速交接装置，其特征在于，所述套筒的驱动方式为电机加齿轮传动，圆编码尺全闭环反馈控制。
3.如权利要求1所述的硅片快速交接装置，其特征在于，所述驱动电机位于旋转套筒外部。
4.如权利要求1所述的硅片快速交接装置，其特征在于，所述片叉内分布真空槽。
5.如权利要求1所述的硅片快速交接装置，其特征在于，所述片叉至少包括两个上片片叉，一个下片片叉。
6. 如权利要求1所述的硅片快速交接装置，其特征在于，每个所述片叉包括片叉真空吸盘和片叉固定机构，且所述叉真空吸盘和片叉固定机构在垂向上存在空隙。