技术总结
本发明公开一种硅片快速交接装置，在预对准单元，片库单元，下片缓存台和工件台之间传送硅片，包括硅片传输机械手以及硅片交接机构，其特征在于，所述硅片交接机构包括多个旋转套筒和多个片叉，所述多个旋转套筒的旋转中心相同，相互嵌套设置；每个所述旋转套筒顶端连接有一个所述片叉，用于吸附所述硅片；所述多个套筒可围绕所述旋转中心单独旋转；所述片叉呈U字型，两边的间距大于所述预对准单元、下片缓存台以及工件台上的硅片吸附顶针之间的最大距离。与现有技术相比较，本发明硅片快速交接装置在硅片交接过程中只存在旋转运动，片叉多点吸附，保证了硅片传输的高精度、重复性。硅片交接机构的单个交接片叉可以单独运动，通过流程控制，在交接过程中可实现并行动作，减小交接时间，提高产能。
技术研发人员：徐伟
受保护的技术使用者：上海微电子装备有限公司
文档号码：201510134145
技术研发日：2015.03.26
技术公布日：2016.11.23