保护膜形成用复合片的制作方法

文档序号:12288720阅读:来源:国知局
技术总结
本发明的保护膜形成用复合片是具备支撑片(4)和叠层于支撑片(4)的第1面侧的保护膜形成膜(1)的保护膜形成用复合片(3),其中,支撑片(4)的第2面的算术平均粗糙度(Ra1)为0.2μm以上,将支撑片(4)在130℃下加热2小时后,支撑片(4)的第2面的算术平均粗糙度(Ra2)为0.25μm以下。

技术研发人员:佐伯尚哉;山本大辅;米山裕之;稻男洋一
受保护的技术使用者:琳得科株式会社
文档号码:201580025643
技术研发日:2015.05.18
技术公布日:2017.02.22

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