技术特征：
1.一种处理装置，具备：处理容器，其形成处理被处理体的处理室；抑制散热组合体，其是将对上述处理容器的外壁面从外侧覆盖的多个板材组合而成的，其中上述多个板材分别具有面积比所述处理容器的一个侧壁的面积小的平面，通过将上述板材相对于上述处理容器的外壁面隔开间隔地分离，部分地或全体地多重配置，由此在上述处理容器与上述抑制散热组合体之间具有部分或全体设置为多层的空气隔热部。2.根据权利要求1所述的处理装置，其中，在上述处理容器的外壁面上设置隔离部件，在该隔离部件上固定有上述板材。3.根据权利要求2所述的处理装置，其中，上述板材的上端折弯成L字形，被挂在上述隔离部件中的配置于最上部的隔离部件上。4.根据权利要求3所述的处理装置，其中，利用上述隔离部件密封上述空气隔热部。5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的处理装置，其中，多个上述板材在相邻的接合部相互重叠，其中一个板材的端部向外侧弯曲而从外侧覆盖另一个板材的端部，从而密封上述空气隔热部。