技术总结
本发明提供了一种生成图像轮廓的方法和装置，其中的方法包括：基于设计目标信息生成一个掩模图，在所述掩模图上基于光刻效果仿真生成一个基准图像，基于在所述基准图像中的边缘探测生成一个基准图像轮廓图，从存储器中取出一个集成电路的扫描图像，生成一个扫描图像轮廓图，该扫描图像轮廓图是所述基准图像轮廓图和集成电路的扫描图像的函数。
技术研发人员：马卫民;俞宗强
受保护的技术使用者：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
文档号码：201610687770
技术研发日：2016.08.18
技术公布日：2016.12.21