一种掺杂的氧化锆薄膜、QLED及制备方法与流程

文档序号:12370546阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种掺杂的氧化锆薄膜的制备方法,其特征在于,包括步骤:

在锆的醇盐中加入铌的醇盐、钛的醇盐、乙醇胺、二乙醇胺或者乙二醇胺,然后将混合液沉积到含有底电极的衬底上,再退火处理,以在含有底电极的衬底上生成掺杂的氧化锆薄膜。

2.根据权利要求1所述的掺杂的氧化锆薄膜的制备方法,其特征在于,退火温度为250~350℃,退火时间为20~40min。

3.根据权利要求1所述的掺杂的氧化锆薄膜的制备方法,其特征在于,掺杂元素占掺杂元素与锆元素之和的摩尔百分比为0.5-10%,其中掺杂元素为铌、钛或氮。

4.一种掺杂的氧化锆薄膜,其特征在于,采用如权利要求1所述的制备方法制成。

5.根据权利要求4所述的掺杂的氧化锆薄膜,其特征在于,所述氧化锆薄膜厚度为30~40nm。

6.一种QLED的制备方法,其特征在于,包括:

A、在锆的醇盐中加入铌的醇盐、钛的醇盐、乙醇胺、二乙醇胺或者乙二醇胺,然后将混合液沉积到含有底电极的衬底上,再退火处理,以在含有底电极的衬底上生成掺杂的氧化锆薄膜;

B、在氧化锆薄膜表面沉积量子点发光层;

C、在量子点发光层表面沉积空穴传输层;

D、在空穴传输层上制作顶电极。

7.一种QLED,其特征在于,从下至上依次包括:衬底、底电极、氧化锆薄膜、量子点发光层、空穴传输层和顶电极,其中所述的氧化锆薄膜为如权利要求4或5所述的氧化锆薄膜。

8.根据权利要求7所述的QLED,其特征在于,所述量子点发光层的材料为红色量子点、绿色量子点、蓝色量子点、黄色量子点、红外光量子点和紫外光量子点中的一种或多种。

9.根据权利要求7所述的QLED,其特征在于,所述空穴传输层的材料为TFB、PVK、Poly-TPD、TCTA、CBP、PEODT:PSS、MoO3、WoO3、NiO、CuO、V2O5、CuS中的一种或多种。

10.根据权利要求7所述的QLED,其特征在于,所述顶电极为Ag、Al、Cu、Au或合金电极。

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