一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置的制作方法

文档序号:12129228阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置,其特征在于:包括有铯注入器、RF驱动器、放电室、探针板、电极系统、锥形支撑座、金属法兰、支撑环氧、磁滤器和四层永久磁铁,在放电室的顶端固定有放电室盖板,在放电室盖板的上方依次安装有所述的RF驱动器和铯注入器,所述的放电室固定安装在探针板上,在所述的探针板上安装有多个朗缪尔探针,所述的磁滤器安装在探针板的下面,所述的锥形支撑座位于探针板的下方,电极系统安装在锥形支撑座上,在锥形支撑座上设有两层金属法兰,所述的支撑环氧位于两层金属法兰之间,在锥形支撑座上还设有冷却水管一,所述的冷却水管一的两端分别位于金属法兰上,冷却水管一的中间部分穿过所述的电极系统,所述的四层永久磁铁环绕安装在放电室的外围。

2.根据权利要求1所述的一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置,其特征在于:所述的电极系统是由等离子体电极、引出电极、电子抑制电极和地电极四层电极组成,每层电极由四块电极板组成,每块电极板有30个圆孔,等离子体电极和引出电极之间有12kV电压,引出电极和电子抑制电极等电位与地电极之间有50kV电压。

3.根据权利要求2所述的一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置,其特征在于:所述的四层电极内部均含有12个长3mm宽2.5mm的冷却水路,在冷却水路下面开有永久磁体安装槽,在永久磁体安装槽内安装有永久磁体,在电极上方固定有磁体盖板。

4.根据权利要求1所述的一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置,其特征在于:所述的放电室上焊接有内径是4mm厚度为1mm冷却水管二给整个放电室冷却,所述的四层永久磁铁为长50mm、宽10mm、高度15mm、磁感应强度为3600高斯永久磁铁。

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