一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置的制作方法

文档序号:12129228阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置,在放电室的顶端固定有放电室盖板,在放电室盖板的上方依次安装有所述的RF驱动器和铯注入器,所述的放电室固定安装在探针板上,在所述的探针板上安装有多个朗缪尔探针,所述的磁滤器安装在探针板的下面,所述的锥形支撑座位于探针板的下方,电极系统安装在锥形支撑座上,在锥形支撑座上设有两层金属法兰,所述的支撑环氧位于两层金属法兰之间,在锥形支撑座上还设有冷却水管一,所述的冷却水管一的两端分别位于金属法兰上。本发明通过RF驱动器产生稳定的长脉冲等离子体,在铯注入器的帮助下提高负氢离子的产出,通过引出系统引出束流,束流密度达到350A/m2。

技术研发人员:韦江龙;顾玉明;李军;谢亚红;谢远来;胡纯栋;梁立振;邑伟;陶玲;杨思皓
受保护的技术使用者:中国科学院合肥物质科学研究院
文档号码:201610888553
技术研发日:2016.10.11
技术公布日:2017.03.22

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