基板分等级存放方法与流程

文档序号:12274866阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种基板分等级存放方法,在手动指定存放模式的基础上增加了随机存放模式、及混合存放模式。当对基板进行分等级存放时,将多个基板中数量较多的数个等级的基板放入对应的手动指定存放模式载具中,能够保证载具的满载率,提高相应等级的基板去下个站点的效率;将部分等级的基板随机放入随机存放模式载具中,能够防止操作人员忘记设定等级而造成载具空置浪费,也给了存放位置较少的机台有收存多种等级基板的弹性空间;将数量较少的数个等级的基板混放入混合存放模式载具中,能够使每个载具都尽量装满,提升了载具的利用率,减少了运送时间,提高了之后继续分等的效率,大大提高了产线产能。

技术研发人员:罗俊
受保护的技术使用者:武汉华星光电技术有限公司
文档号码:201610902638
技术研发日:2016.10.17
技术公布日:2017.02.22

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