1.一种热阴极高密度低能离子束生物改性设备,包括实验腔以及置于实验腔进气端外的离子源和置于实验腔内用于放置样品的载物台,其特征在于,所述离子源包括沿进气方向依次布置在电离室内的加热丝、LaB6块状阴极和阳极,该电离室与实验腔之间通过引出系统连接,所述引出系统包括线圈、电子腔以及置于电子腔内的引出极,该电子腔与实验腔连通,所述线圈置于电离室的外侧,所述LaB6块状阴极激发出弧光放电等离子体,经过引出系统的加速,对载物台上的样品进行生物改性。
2.根据权利要求1所述的热阴极高密度低能离子束生物改性设备,其特征在于,所述加热丝连接有加热电源,所述LaB6块状阴极内置有测量温度的热电偶,该热电偶数据反馈输入加热电源中。
3.根据权利要求1所述的热阴极高密度低能离子束生物改性设备,其特征在于,所述线圈、阳极和引出极分别连接有线圈电源、阳极电源和引出极电源。
4.根据权利要求3所述的热阴极高密度低能离子束生物改性设备,其特征在于,所述引出极还连接有辅助极电源。
5.根据权利要求1所述的热阴极高密度低能离子束生物改性设备,其特征在于,所述载物台为可旋转的基座。