技术总结
本发明提供一种有机薄膜晶体管的制作方法，其包括：提供一衬底基板，并在衬底基板上制作有机薄膜晶体管的源极以及漏极；在衬底基板的非沟道区域涂布光阻；在衬底基板的所有区域上沉积沟道薄膜；对光阻进行剥离操作，以将非沟道区域上的沟道薄膜剥离，从而形成有机薄膜晶体管的沟道；在衬底基板的所有区域上制作绝缘层；以及在绝缘层上制作有机薄膜晶体管的栅极。本发明的有机薄膜晶体管的制作方法避免了源漏极的金属材料被氧化，提高了有机薄膜晶体管的源漏极的电子空穴传导能力。
技术研发人员：徐洪远
受保护的技术使用者：深圳市华星光电技术有限公司
文档号码：201610979784
技术研发日：2016.11.08
技术公布日：2017.02.15