技术总结
本发明提供一种TFT背板及其制作方法。本发明的TFT背板的制作方法，利用具有三种光线穿透率的半色调掩膜板对有机光阻层进行黄光制程，通过一道黄光工序即可实现三种曝光效果，从而同时形成像素定义层、像素定义层上的开口、及支撑层，与现有技术相比，本发明节约了一道掩膜板与一道黄光工序，可有效节省治具成本和生产成本；同时，在结构上所述支撑层与像素定义层为一个整体，可避免支撑层脱落，有效提高显示器的显示品质。本发明的TFT背板，像素定义层与支撑层在同一个制程中制得，制程简单，生产成本低，且由于像素定义层与支撑层为一个整体，可避免出现支撑层脱落的问题，从而有效提高显示器的显示品质。
技术研发人员：陈哲
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
文档号码：201611147758
技术研发日：2016.12.13
技术公布日：2017.05.10