一种高压超结VDMOS的制作方法

文档序号:12680964阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高压超结VDMOS,其特征在于,包括:

N+衬底;

第一超结,位于所述N+衬底上面;

第二超结,位于所述第一超结上面。

2.如权利要求1所述的高压超结VDMOS,其特征在于,所述第一超结,包括:

第一外延区;

第一P柱,位于所述第一外延区外侧。

3.如权利要求2所述的高压超结VDMOS,其特征在于,所述第二超结,包括:

第二外延区;

第二P柱,位于所述第二外延区外侧。

4.如权利要求3所述的高压超结VDMOS,其特征在于,所述高压超结VDMOS,还包括:

P阱,位于所述第二超结上面,且与所述第二外延区、以及所述第二P柱相连。

5.如权利要求4所述的高压超结VDMOS,其特征在于,所述高压超结VDMOS,还包括:

N+源区,设置在所述P阱上面。

6.如权利要求5所述的高压超结VDMOS,其特征在于,所述高压超结VDMOS,还包括:

源极,与所述P阱、以及所述N+源区相连;

漏极,与所述N+衬底相连。

7.如权利要求6所述的高压超结VDMOS,其特征在于,所述高压超结VDMOS,还包括:

栅氧化层,位于所述P阱、以及所述第二外延上面,且与所述P阱、以及所述第二外延区相连;

栅极,与所述栅氧化层相连。

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