一种旋转定位装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种旋转定位装置，包括：底座，所述底座中设置有旋转电机，所述底座上方设置有固定板，所述固定板上方设置有球型连接轴，所述球型连接轴上方设置有平衡板一、平衡板二，所述平衡板二上方设置有安装座，所述安装座两端分别设置有自动锁紧机构，所述自动锁紧机构之间设置有限位环。本实用新型结构简单、制造成本低廉、性能稳定、操作简单，特别适用于半导体制造工艺中的精确定位与旋转。
【专利说明】
一种旋转定位装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种半导体制造装置，尤其涉及一种旋转定位装置。
【背景技术】
[0002]我国信息产业在生产和科研方面都大大加快了发展速度，并已成为国民经济发展的支柱产业之一。作为信息产业核心技术的半导体技术的发展也是日新月异，而半导体技术的飞速发展是与工艺技术及工艺设备的开发息息相关的。与世界发达国家相比，我国在半导体工艺设备的研究和开发方面还处于落后地位，国内半导体生产单位往往不得不高价购买国外被淘汰的二手设备。这样一方面增大了生产成本，另一方面也严重制约了国内半导体技术的发展。因此，积极研究开发可靠实用的半导体工艺技术及工艺设备刻不容缓。
[0003]目前，在半导体制造工艺中，旋转定位装置的使用尤为重要。精确的定位，稳定的旋转，直接决定半导体加工的质量。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单、制造成本低廉、性能稳定、操作简单，特别适用于半导体制造工艺中的精确定位与旋转的自动化装置。
[0005]本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:一种旋转定位装置，包括:底座，所述底座中设置有旋转电机，所述底座上方设置有固定板，所述固定板上方设置有球型连接轴，所述球型连接轴上方设置有平衡板一、平衡板二，所述平衡板二上方设置有安装座，所述安装座两端分别设置有自动锁紧机构，所述自动锁紧机构之间设置有限位环。
[0006]所述球型连接轴在旋转电机的带动下可实现匀速旋转以及任意角度的调整。所述平衡板一在球型连接轴的作用下可实现平衡板一以上器件的旋转与角度调节。所述限位环与自动锁紧机构配合可实现不同尺寸大小的晶圆的固定。
[0007]所述在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。
[0008]进一步，所述球型连接轴内部设置有激光感应器，所述激光感应器用于激光束的接收与感应。
[0009]进一步，所述平衡板一、平衡板二之间设置有减震弹簧，所述减震弹簧用于当旋转定位装置发生旋转及角度调整时，可以降低对半导体晶圆的冲击程度，以防止半导体晶圆损坏。
[0010]进一步，所述安装座与平衡板二之间设置有扣合组件，所述安装座通过扣合组件与平衡板二固定连接，本实用新型采用扣合组件实现安装座与平衡板二的连接固定，有利于装置的安装、拆卸分离。
[0011]进一步，所述安装座中心位置设置有激光发射器，所述激光发生器与球型连接轴内部的激光感应器处于同一轴线上，所述激光发射器与球型连接轴内部的激光感应器配合，用于球型连接轴与安装座之间方位角的检测与确定。
[0012]本实用新型的有益效果是:结构简单、制造成本低廉、性能稳定、操作简单，特别适用于半导体制造工艺中的精确定位与旋转。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型一种旋转定位装置结构示意图。
【具体实施方式】
[0014]以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
[0015]如图1所示，一种旋转定位装置，包括:底座I，所述底座I中设置有旋转电机2，所述底座I上方设置有固定板3，所述固定板3上方设置有球型连接轴4，所述球型连接轴4上方设置有平衡板一 5、平衡板二 6，所述平衡板二 6上方设置有安装座12，所述安装座12两端分别设置有自动锁紧机构9，所述自动锁紧机构9之间设置有限位环10。
[0016]所述球型连接轴4在旋转电机2的带动下可实现匀速旋转以及任意角度的调整。所述平衡板一 5在球型连接轴4的作用下可实现平衡板一 5以上器件的旋转与角度调节。所述限位环10与自动锁紧机构9配合可实现不同尺寸大小的晶圆的固定。
[0017]所述球型连接轴4内部设置有激光感应器11，所述激光感应器11用于激光束的接收与感应。所述平衡板一 5、平衡板二 6之间设置有减震弹簧，所述减震弹簧用于当旋转定位装置发生旋转及角度调整时，可以降低对半导体晶圆的冲击程度，以防止半导体晶圆损坏。所述安装座12与平衡板二 6之间设置有扣合组件8，所述安装座12通过扣合组件8与平衡板二 6固定连接，本实用新型采用扣合组件8实现安装座12与平衡板二 6的连接固定，有利于装置的安装、拆卸分离。所述安装座12中心位置设置有激光发射器7，所述激光发生器7与球型连接轴4内部的激光感应器11处于同一轴线上，所述激光发射器7与球型连接轴4内部的激光感应器11配合，用于球型连接轴4与安装座12之间方位角的检测与确定。
[0018]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种旋转定位装置，其特征在于，包括:底座，所述底座中设置有旋转电机，所述底座上方设置有固定板，所述固定板上方设置有球型连接轴，所述球型连接轴上方设置有平衡板一、平衡板二，所述平衡板二上方设置有安装座，所述安装座两端分别设置有自动锁紧机构，所述自动锁紧机构之间设置有限位环。2.根据权利要求1所述一种旋转定位装置，其特征在于，所述球型连接轴内部设置有激光感应器。3.根据权利要求1所述一种旋转定位装置，其特征在于，所述平衡板一、平衡板二之间设置有减震弹簧。4.根据权利要求1所述一种旋转定位装置，其特征在于，所述安装座与平衡板二之间设置有扣合组件。5.根据权利要求4所述一种旋转定位装置，其特征在于，所述安装座通过扣合组件与平衡板二固定连接。6.根据权利要求1所述一种旋转定位装置，其特征在于，所述安装座中心位置设置有激光发射器。7.根据权利要求6所述一种旋转定位装置，其特征在于，所述激光发生器与球型连接轴内部的激光感应器处于同一轴线上。
【文档编号】H01L21/68GK205723484SQ201620682101
【公开日】2016年11月23日
【申请日】2016年7月1日
【发明人】黄菊英
【申请人】重庆三零三科技有限公司