一种用于机台RF电感线圈的防电弧击伤装置的制作方法

本实用新型涉及半导体集成电路制造设备领域，更具体地，涉及一种可防止机台RF电感线圈被电弧击伤的装置。

背景技术：

在很多半导体工艺例如等离子体刻蚀或等离子化学气相沉积中，都需要用到RF(radio frequency，射频)来解离气体或者参与制程。相应地，在这些等离子体刻蚀机台或等离子化学气相沉积机台都安装有RF发生系统。

由于RF产生的能量很大，这就要求其路径处于绝对独立的状态。因此，在RF路径中不能和任何导体(例如金属，水汽等)接触，否则就会改变RF路径的内部电阻，以致无法提供满足工艺所要求的RF能量。严重时甚至会在RF路径与外来导体的接触点部位形成电弧，并由此击伤该接触点部位的RF发生系统零部件。

请参阅图1，图1是现有的一种等离子体刻蚀机台的RF路径局部结构示意图。如图1所示，在等离子体刻蚀机台的RF路径中设有一RF电感线圈10，RF电感线圈10的两端通过接线柱11、12分别连接至机台腔体中的电极和RF发生器(图略)，从而形成RF路径。两个接线柱11、12通过RF电感线圈下方的安装底座13进行固定，从而使RF电感线圈10处于悬空固定状态。

由于图1所示的RF电感线圈10在RF路径中处于裸露状态，使其在工作过程中极易误接触到机台的其他金属部件(通常是金属铝)、掉落的金属线头以及水汽等导体。

在此状况下，如果因不小心有导体搭到RF电感线圈裸露的铜线上，就会改变整个RF路径的内阻，并会造成RF电感线圈被电弧击伤的危害，严重时甚至会造成机台的损坏。

因此，如何能够避免RF路径中裸露的RF电感线圈或者其他部件误接触到外来导体，成为机台设备维护工作的一项重要课题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种用于机台RF电感线圈的防电弧击伤装置。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种用于机台RF电感线圈的防电弧击伤装置，所述RF电感线圈裸露设于机台的RF发生系统中，其两端分别连接至RF发生器和机台腔体中的电极，形成RF路径，所述防电弧击伤装置包括设于RF电感线圈外部的绝缘保护体，所述绝缘保护体至少将所述RF电感线圈与RF路径外部相隔离。

进一步地，所述绝缘保护体为包覆于所述RF电感线圈表面的绝缘保护层。

进一步地，所述绝缘保护层为同心包覆于所述RF电感线圈表面的绝缘单层或复合层结构。

进一步地，所述绝缘保护层为包覆于所述RF电感线圈表面的绝缘涂层结构。

进一步地，所述绝缘保护层为包覆于所述RF电感线圈表面的特氟龙绝缘喷涂层结构。

进一步地，所述绝缘保护层为包覆于所述RF电感线圈表面的绝缘胶带裹绕层结构。

进一步地，所述绝缘保护体为罩于所述RF电感线圈外部的绝缘保护套。

进一步地，所述绝缘保护套固设于所述RF电感线圈外部，并与所述RF电感线圈保持间隙。

进一步地，所述绝缘保护套具有与所述RF电感线圈轮廓相适应的内腔。

进一步地，所述绝缘保护套为刚性特氟龙绝缘保护套。

从上述技术方案可以看出，本实用新型通过在机台RF路径中的RF电感线圈外部设置绝缘保护体，包括利用包覆于RF电感线圈表面的绝缘保护层或罩于RF电感线圈外部的绝缘保护套形式，将RF电感线圈与RF路径外部相隔离，既可以避免RF电感线圈与非RF路径的导体接触，从而可有效防止RF电感线圈被电弧击伤，同时又不会影响RF路径内部的电阻，从而可持续稳定地提供满足工艺所要求的RF能量。

附图说明

图1是现有的一种等离子体刻蚀机台的RF路径局部结构示意图；

图2是本实用新型一较佳实施例的一种用于机台RF电感线圈的防电弧击伤装置结构示意图；

图3是本实用新型另一较佳实施例的一种用于机台RF电感线圈的防电弧击伤装置结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。

需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本实用新型的实施方式时，为了清楚地表示本实用新型的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本实用新型的限定来加以理解。

本实用新型的一种用于机台RF电感线圈的防电弧击伤装置，可提供对半导体制作机台的RF电感线圈进行防电弧击伤保护。其中，适用的机台可包括等离子体刻蚀机台或等离子化学气相沉积机台等，在这些机台中安装有RF发生系统，用于在进行等离子体刻蚀或等离子化学气相沉积时，利用RF(radio frequency，射频)来解离气体或者参与制程。

以等离子体刻蚀机台为例，RF电感线圈通常采用铜线圈，并裸露设于机台的RF发生系统中。RF电感线圈的两端分别连接至RF发生器和机台腔体中的电极，共同形成了RF路径(请参考图1加以理解)。

本实用新型的一种用于机台RF电感线圈的防电弧击伤装置，可包括设置在图1中RF电感线圈10外部的绝缘保护体。所述绝缘保护体的设置状态应至少能够将所述RF电感线圈与RF路径外部相隔离，以避免RF电感线圈与非RF路径的外部导体、例如金属，水汽等接触，从而可有效防止RF电感线圈被由此可能产生的电弧击伤。

在以下本实用新型的具体实施方式中，请参阅图2，图2是本实用新型一较佳实施例的一种用于机台RF电感线圈的防电弧击伤装置结构示意图。如图2所示，其显示出图1中RF电感线圈10的铜线截面10’结构。本实用新型防电弧击伤装置的绝缘保护体结构实际是沿图1中RF电感线圈10的铜线表面包裹设置的，即绝缘保护体可以采用在所述RF电感线圈表面包覆绝缘保护层14的结构形式来实施。体现在图2中，即为包覆在RF电感线圈的铜线截面10’外部的绝缘保护层14。并且，所述绝缘保护层14可以采用图示的同心包覆在所述RF电感线圈表面(即包覆在RF电感线圈的铜线截面10’表面)的绝缘单层结构。或者也可以采用同心包覆在所述RF电感线圈表面的复合层结构(图略)。

作为一优选的实施方式，所述绝缘保护层14可以采用包覆于所述RF电感线圈表面的绝缘涂层结构形式来实施，例如可以是采用油漆或喷涂方式在所述RF电感线圈表面形成的绝缘涂层结构。进一步地，所述绝缘保护层14可以是包覆于所述RF电感线圈表面的特氟龙绝缘喷涂层结构；或者也可以是其他的耐腐蚀绝缘树脂、橡胶类材料等形成的喷涂层结构。

作为另一优选的实施方式，所述绝缘保护层14还可以是包覆于所述RF电感线圈表面(即包覆在RF电感线圈的铜线截面10’表面)的绝缘胶带裹绕层结构。

请参阅图3，图3是本实用新型另一较佳实施例的一种用于机台RF电感线圈的防电弧击伤装置结构示意图。如图3所示，本实用新型的一种用于机台RF电感线圈的防电弧击伤装置，包括设置在RF电感线圈外部的绝缘保护体15，所述绝缘保护体可以采用罩设于所述RF电感线圈(图略)外部的绝缘保护套15结构形式来实施。

请继续参阅图3。作为一优选的实施方式，所述绝缘保护套15可固定安装在图1所示的RF电感线圈10下方的接线柱安装底座13上(此处图略，请参考图1加以理解)，将RF电感线圈10整体罩住，并在RF电感线圈两端头与接线柱的连接部位相应的留出开口16，以便RF电感线圈的两端头穿出。绝缘保护套15可加工出与所述RF电感线圈10外轮廓相适应的内腔，并与所述RF电感线圈保持一定的间隙，该间隙的大小可以RF电感线圈通电受热时产生的最大膨胀体积以及可能的振动摆幅作为设计标准。进一步地，所述绝缘保护套15可以采用图示刚性半圆柱形的特氟龙绝缘保护套来加工制作。

综上所述，本实用新型通过在机台RF路径中的RF电感线圈外部设置绝缘保护体，包括利用包覆于RF电感线圈表面的绝缘保护层或罩于RF电感线圈外部的绝缘保护套形式，将RF电感线圈与RF路径外部相隔离，既可以避免RF电感线圈与非RF路径的导体接触，从而可有效防止RF电感线圈被电弧击伤，同时又不会影响RF路径内部的电阻，从而可持续稳定地提供满足工艺所要求的RF能量。

以上所述的仅为本实用新型的优选实施例，所述实施例并非用以限制本实用新型的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。