一种具有渐变增透部件的IBC太阳能电池的制作方法

文档序号:11921925阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有渐变增透部件的IBC太阳能电池,其特征在于:包括IBC太阳能电池硅基体和渐变折射率增透部件,所述的渐变折射率增透部件设置在IBC太阳能电池硅基体的上表面,所述的渐变折射率增透部件自下而上依次设置第三折射率部、第二折射率部和第一折射率部,所述的第三折射率部的折射率为2.45至2.55,厚度为65nm至70nm;所述的第二折射率部的折射率为1.45至1.46,厚度为125nm至135nm;所述的第一折射率部的折射率为1.055至1.065,厚度为250nm至300nm。

2.根据权利要求1所述的一种具有渐变增透部件的IBC太阳能电池,其特征在于:所述第三折射率部的材料为二氧化钛。

3.根据权利要求2所述的一种具有渐变增透部件的IBC太阳能电池,其特征在于:在IBC太阳能电池硅基体的上表面采用反应溅射工艺沉积二氧化钛层,形成第三折射率部。

4.根据权利要求1所述的一种具有渐变增透部件的IBC太阳能电池,其特征在于:所述第二折射率部的材料为二氧化硅。

5.根据权利要求4所述的一种具有渐变增透部件的IBC太阳能电池,其特征在于:在第三折射率部的上表面采用反应溅射工艺沉积所述的二氧化硅层,形成第二折射率部。

6.根据权利要求1所述的一种具有渐变增透部件的IBC太阳能电池,其特征在于:所述第一折射率部的材料为多孔二氧化硅。

7.根据权利要求6所述的一种具有渐变增透部件的IBC太阳能电池,其特征在于:在第二折射率部的上表面采用斜角电子束蒸发工艺沉积所述的多孔二氧化硅层,形成第一折射率部。

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