一种新型的氮化镓紫外探测器的制作方法

文档序号:12653342阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型的氮化镓紫外探测器,其特征在于:它包括管帽和底座,管帽和底座配合形成密闭空间;管帽一端嵌设有窗口材料,所述密闭空间内设置有PCB板,PCB上设置有光电二极管和前置放大电路;光电二极管检测管帽外部空气中的光信号并将其转换为电流信号传递至前置放大电路;前置放大电路将接收到的电流信号转换为电压信号输出;底座上设置有连接前置放大电路输出端的输出引脚、连接前置放大电路电源输入端的电源引脚、连接前置放大电路接地端的接地引脚、用于与外部接地端连接的接地管脚。

2.根据权利要求1所述的新型的氮化镓紫外探测器,其特征在于所述密闭空间填充氮气或者真空。

3.根据权利要求1所述的新型的氮化镓紫外探测器,其特征在于所述窗口材料为石英玻璃或者滤光片。

4.根据权利要求1所述的新型的氮化镓紫外探测器,其特征在于所述光电二极管采用GaN半导体材料制成。

5.根据权利要求4所述的新型的氮化镓紫外探测器,其特征在于所述前置放大电路包括放大器;放大器的正极输入端接地;放大器的负极输入端连接光电二极管的阴极,光电二极管的阳极的接地;放大器的负极输入端和输出端之间连接有反馈电阻;反馈电阻两端并联有补偿电容;放大器的负极输入端经PD内阻接地;放大器的负极输入端经PD结电容接地。

6.根据权利要求1所述的新型的氮化镓紫外探测器,其特征在于所述光电二极管波段为200~280nm,峰值波长254nm。

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