硅片分选机自动上料系统的制作方法

文档序号:12833409阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片分选机自动上料系统(100),其特征在于:包括至少一个硅片分选机自动上料装置,每个硅片分选机自动上料装置包括

支撑柱(110);

两条滑轨(130),分别纵向安装在支撑柱(110)的顶端,两条滑轨(130)在横向方向上平行;

横梁(150),横向放置并且横梁(150)的两端分别安装在两条滑轨(130)上,并且可沿着滑轨(130)在纵向方向上移动;

机械手(140),包括夹爪(142)和机械手安装座(144),所述夹爪(142)安装在机械手安装座(144)上,机械手安装座(144)安装在横梁(150)上,所述夹爪(142)能够夹取或释放插片盒(C)。

2.根据权利要求1所述的硅片分选机自动上料系统,其特征在于:所述硅片分选机自动上料系统还包括位于机械手(140)下方的、沿着纵向方向布置的输送带(120)。

3.根据权利要求1所述的硅片分选机自动上料系统,其特征在于:所述夹爪(142)能够相对于机械手安装座(144)转动。

4.根据权利要求3所述的硅片分选机自动上料系统,其特征在于:机械手安装座(144)能够相对于横梁(150)上下移动。

5.根据权利要求4所述的硅片分选机自动上料系统,其特征在于:机械手安装座(144)能够相对于横梁(150)在横向方向上移动。

6.根据权利要求1所述的硅片分选机自动上料系统,其特征在于:所述硅片分选机自动上料装置还包括用于控制夹爪(142)动作的控制系统。

7.根据权利要求2所述的硅片分选机自动上料系统,其特征在于:所述硅片分选机自动上料系统(100)包括沿着纵向方向间隔布置的两个硅片分选机自动上料装置。

8.根据权利要求7所述的硅片分选机自动上料系统,其特征在于:两个硅片分选机自动上料装置分别位于输送带(120)的两端。

9.根据权利要求1所述的硅片分选机自动上料系统,其特征在于:所述夹爪(142)安装在机械手安装座(144)的底端。

10.根据权利要求5所述的硅片分选机自动上料系统,其特征在于:机械手安装座(144)中开设有截面形状为矩形的安装孔,横梁(150)穿过该安装孔;该安装孔的内表面和横梁(150)的外表面上分别设置有滑块和滑道,使得机械手安装座(144)能够相对于横梁(150)上下移动或者在横向方向上移动。

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