专利名称：硅片自动上下片的识别装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及晶体硅太阳能电池生产领域，特别涉及ー种硅片自动上下片的识别装置，用于晶体硅太阳能电池生产的镀膜辅助上下片。
背景技术：
硅片自动上下片设备在太阳能电池行业辅助PECVD进行上下片操作时应用的很广泛。现在的硅片自动上下片的硅片识别装置具有一定的局限性，当上片花篮未满载时，机械手无法识别花篮上是否仍有硅片，仍然进行多余的取片动作，这样就降低了生产的效率。另外，现有的硅片识别传感器是采用光反射率传感器，其缺点在于当不同批次的硅片反射率差别过大时，必须重新设置反射率范围，否则其无法识别硅片，这会导致叠片，进而造成碎片，造成了不必要的成本増加。而且在实际生产过程中，不同批次之间的硅片反射率是不同的，每ー批次的硅片也不会完全装满花篮。因此为了提高生产效率，降低生产成本，改进硅片识别装置是必要的。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供ー种硅片自动上下片的识别装置，以解决现有技术中 的硅片识别装置无法识别花篮上是否仍有硅片的问题。为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下硅片自动上下片的识别装置，包括上位机和用于识别传送轨道上是否有硅片的第ー传感器，其特征在于，还包括用于识别机械手夹持的花篮内是否有硅片的第二传感器，所述第二传感器为遮光传感器，遮光传感器的发光端设置在机械手的ー夹板上，遮光传感器的接收端设置在机械手的另ー夹板上，遮光传感器与上位机连接。在本实用新型的一个优选实施例中，所述第一传感器为光距离传感器，光距离传感器设置在传送轨道的起始端。本实用新型的遮光传感器能够确保当花篮上不是满载硅片时，机械手能够在硅片被取完时不去做多余的取片动作，直接更换新的花篮。本实用新型的光距离传感器能够确保每ー块硅片都能够被识别，不会造成叠片、碎片。本实用新型的特点可參阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。
图I为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例进ー步阐述本实用新型。如图I所示，硅片自动上下片的识别装置，包括上位机(图中未标示)、用于识别传送轨道上是否有硅片的第一传感器200、用于识别机械手夹持的花篮内是否有硅片的第二传感器。第二传感器为遮光传感器，遮光传感器的发光端310设置在机械手的上夹板410上，遮光传感器的接收端320设置在机械手的下夹板420上。遮光传感器与上位机连接。机械手的上夹板、下夹板的作用是夹紧、固定花篮500。当上、下夹板间的花篮500上有硅片时，遮光传感器的发光端310的出射光将不能够被遮光传感器的接收端320接收到，遮光传感器的接收端将此信号传送给上位机，此时认为花篮500上有硅片700，步进梁600进行取 片动作，当花篮500内无硅片时，此时遮光传感器的接收端320将接收到发光端发出的光信号，遮光传感器的接收端将此信号传送给上位机，停止步进梁600的取片动作，机械手直接更换花篮。第一传感器200为光距离传感器，光距离传感器设置在传送轨道800的起始端。当硅片700被步进梁600取下后，放到传送导轨800上，传送导轨的起始端的光距离传感器会实时检测每一次步进梁完成一次取片动作后，是否有取来硅片，如果有，则传送导轨传送一步，没有则不进行任何操作等待下一次步进梁的取片动作，不同反射率的硅片都能够被光距离传感器所识别，不会造成现有设备的不同反射率的硅片叠片问题。确保了不同批次的硅片都能够被识别，而不用毎次去更改传感器，提高了生产效率，降低了碎片率，提高了产值，增加了利润。以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
权利要求1.硅片自动上下片的识别装置，包括上位机和用于识别传送轨道上是否有硅片的第一传感器，其特征在于，还包括用于识别机械手夹持的花篮内是否有硅片的第二传感器，所述第二传感器为遮光传感器，遮光传感器的发光端设置在机械手的ー夹板上，遮光传感器的接收端设置在机械手的另ー夹板上，遮光传感器与上位机连接。
2.根据权利要求I所述的硅片自动上下片的识别装置，其特征在于，所述第一传感器为光距离传感器，光距离传感器设置在传送轨道的起始端。
专利摘要本实用新型的目的在于提供一种硅片自动上下片的识别装置，包括上位机和用于识别传送轨道上是否有硅片的第一传感器，还包括用于识别机械手夹持的花篮内是否有硅片的第二传感器，所述第二传感器为遮光传感器，遮光传感器的发光端设置在机械手的一夹板上，遮光传感器的接收端设置在机械手的另一夹板上，遮光传感器与上位机连接。本实用新型的遮光传感器能够确保当花篮上不是满载硅片时，机械手能够在硅片被取完时不去做多余的取片动作，直接更换新的花篮。
文档编号H01L21/67GK202394849SQ20112055385
公开日2012年8月22日 申请日期2011年12月26日 优先权日2011年12月26日
发明者王利 申请人:上海莹利光电科技有限公司