专利名称：全自动硅片上下料机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及用于生产电子产品的工艺设备，具体涉及一种全自动硅片上下料 机。
技术背景目前，太阳能电池作为可再生的环保能源已经越来越受到人们的关注，世界太阳 能电池近几年的年销售增长率已经超过40%与其相关的设备也得到了迅猛的发展。目前， 在国家倡导节能的宏观政策的推动下，北京、上海、广东、江苏等都在积极开发太阳能电池 产品。太阳能电池制造厂家在生产过程中一般都是采用手工将硅片装入篮具或将篮具中的 硅片取出，引起硅片碎片率高，生产效率低，成本高，从而无法满足市场的需求。综上所述，目前硅片到篮具上料和下料存在一些需要改进的地方。实用新型内容本实用新型的目在于，提供一种全自动硅片上下料机，可解决手工将硅片装入篮 具或将篮具中的硅片取出，引起的引起硅片碎片率高，生产效率低，浪费严重的技术问题。为解决上述技术问题，本实用新型采用了如下的技术方案提供一种全自动硅片 上下料机，包括电动执行器、上料位、缓冲区、上料位升降机构、吸盘操作机构、传送带、篮具 托盘操作机构、工作台面、控制面板、篮具上升机构，所述篮具托盘操作机构固定于工作台 面上的左右两侧前方处，篮具托盘操作机构的操作台与工作台面下固定固定于篮具上升机 构的第一线性模组固定连接，第一线线性模组与第一伺服电机的联轴器固定连接，实现篮 具托盘操作机构上的篮具托盘的升降；所述传送带设置于篮具托盘操作机构的正后方，传 送带一端与篮具托盘对正，实现传送带上的硅片送到每一层篮具中，传送带另一端的下方 位于缓冲区上方；所述吸盘操作机构设置于电动执行器上，吸盘操作机构沿导轨水平左右 移动；所述电动执行器设置于传送带的上方；所述上料位设置于电动执行器前方及传送带 的中间位置的工作台面上，上料位与工作台面下固定设置的上料位升降机构上的第二线性 模组固定连接，上料位升降机构中的第二伺服电机通过操作第二线性模组实现上料位上的 硅片的升降；还包括可将上料位的硅片分开的分片机构、对每片硅片的方向矫正和定位的定位 机构，其中分片机构安装于工作台面上位于上料位的两侧，定位机构安装于工作台面上位 于传送带的两侧；在缓冲区设有吹气孔，且缓冲区下方还安装有传感器。工作时，上料位升降机构上下垂直运动，带动上料位上下垂直运动，同时电动执行 器左右水平运行，带动吸盘左右水平运动，实现硅片的吸取，然后电动执行器左右水平运 动，将硅片放到传送带上，定位机构对硅片进行矫正，同时篮具上升机构带动篮具托盘操作 机构上下垂直运动，传送带运行将硅片送入篮具实现上料。篮具上升机构带动篮具托盘操 作机构上下垂直运动，传送带运行将硅片送到缓冲区实现下料。本实用新型具有结构简单、易于安装、方便操作、自动化程度高，可以提高生产效 率，降低碎片率，满足各种硅片工艺对上下料的要求。
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图1是本实用新型的结构示意图；图2是图1的俯视图；具体实施方式
见图1 2所示，本实用新型包括设备本体26、电动执行器31、上料位17、缓冲 区6、上料位升降机构37、吸盘操作机构16、传送带11、第一伺服电机、第二伺服电机、篮具 托盘12、篮具托盘操作机构23、工作台面7、控制面板15、篮具上升机构、分片机构、定位机 构19、第一线性模组、第二线性模组、篮具、吸盘21。上料位升降机构37和篮具上升机构的精密定位运动由第一伺服电机、第二伺服 电机完成，其中第一伺服电机、第二伺服电机为高精度、高速、低惯量交流伺服电机。第一伺 服电机控制第一线性模组精确移动，同时由编码器提供反馈信息，形成闭环控制，实现既高 速又精确的移动。为了把上料位的硅片轻易的分开，分片机构安装于工作台面7上位于上料位的两 侧，其中分片机构为吹气分离装置。洁净压缩空气经过调压、节流进入一个末端做成扁平的 只留一条微小细缝的铜管，并且铜管的细缝是垂直的，这样从铜管细缝里产生的气流就是 垂直的、有层次的，就能把上料位的硅片有层次的、轻易的吹开，吸盘就能轻易的把最上端 的硅片吸走，既提高了设备的工作效率又降低了硅片的碎片率。控制面板15，用于设置或修改各种工艺及各项工艺参数，控制面板还具有程序过 程控制、故障报警等功能。吸盘操作机构16由气缸和四个小吸盘组成，真空吸附可靠，稳定性好。定位机构19采用气缸运动限位，自动矫正硅片方向，保证硅片安全可靠的上料。传送带11采用柔软的远皮带，减少与硅片的接触面积，避免损伤和污染硅片。篮具托盘操作机构23固定篮具采用斜面定位，加装可调限位块稳定可靠。对不同 的尺寸硅片只需要简单的调整限位块即可。电动执行器31采用速度和加速度可调的元件，可以满足不同工艺的需要。传输速 度快，运行稳定可靠。缓冲区6设有吹气孔，可以将硅片吹起处于悬浮状态，防止硅片划伤，便于人工通 过吸盘把硅片从缓冲区上取走。缓冲区6下方还安装有传感器，当缓冲区上的硅片被取走后，下一片才篮具中退 出，防止硅片重叠。工作时，上料位升降机构17上下垂直运动，带动上料位上下垂直运动，同时电动 执行器31左右水平运行，带动吸盘左右水平运动，实现硅片的吸取，然后电动执行器31左 右水平运动，将硅片放到传送带11上，定位机构19对硅片进行矫正，同时篮具上升机构带 动篮具托盘操作机构23上下垂直运动，传送带11运行将硅片送入篮具实现上料。篮具上 升机构带动篮具托盘操作机构23上下垂直运动，传送带11运行将硅片送到缓冲区实现下 料。
权利要求一种全自动硅片上下料机，包括电动执行器、上料位、缓冲区、上料位升降机构、吸盘操作机构、传送带、篮具托盘操作机构、工作台面、控制面板、篮具上升机构，所述篮具托盘操作机构固定于工作台面上的左右两侧前方处，篮具托盘操作机构的操作台与工作台面下固定固定于篮具上升机构的第一线性模组固定连接，第一线线性模组与第一伺服电机的联轴器固定连接，实现篮具托盘操作机构上的篮具托盘的升降；所述传送带设置于篮具托盘操作机构的正后方，传送带一端与篮具托盘对正，实现传送带上的硅片送到每一层篮具中，传送带另一端的下方位于缓冲区上方；所述吸盘操作机构设置于电动执行器上，吸盘操作机构沿导轨水平左右移动；所述电动执行器设置于传送带的上方；所述上料位设置于电动执行器前方及传送带的中间位置的工作台面上，上料位与工作台面下固定设置的上料位升降机构上的第二线性模组固定连接，上料位升降机构中的第二伺服电机通过操作第二线性模组实现上料位上的硅片的升降；其特征在于还包括可将上料位的硅片分开的分片机构、对每片硅片的方向矫正和定位的定位机构，其中分片机构安装于工作台面上位于上料位的两侧，定位机构安装于工作台面上位于传送带的两侧；在缓冲区设有吹气孔，且缓冲区下方还安装有传感器。
2.根据权利要求1所述的全自动硅片上下料机，其特征在于所述分片机构是一种吹 气分罔装直。
3.根据权利要求1所述的全自动硅片上下料机，其特征在于所述第一伺服电机、第二 伺服电机为交流伺服电机。
专利摘要本实用新型涉及一种全自动硅片上下料机，包括设备本体、电动执行器、上料位、缓冲区、上料位升降机构、吸盘操作机构、传送带、篮具托盘操作机构、工作台面、控制面板、篮具上升机构，其还包括将上料位的硅片分开的分片机构、对每片硅片的方向矫正和定位的定位机构，其中分片机构安装于工作台面上位于上料位的两侧，定位机构安装于工作台面上位于每条传送带的两侧；于缓冲区下方安装有传感器。本实用新型具有结构简单、易于安装、方便操作、自动化程度高，可以提高生产效率，降低碎片率，满足各种硅片工艺对上下料的要求。
文档编号H01L21/677GK201663151SQ20092005211
公开日2010年12月1日 申请日期2009年3月6日 优先权日2009年3月6日
发明者梁明刚 申请人:东莞市启天自动化设备有限公司