专利名称：硅片料篮传输线的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及硅片生产领域，特别是涉及一种硅片料篮传输线。
背景技术：
在硅片生产过程中，需要对硅片进行清洗，清洗好的硅片才能应用到相应的设备 中。载片盒和花篮等运载硅片物料的器具都可以称之为料篮。其中，载片盒用于承载 待洗硅片的工件，花篮用于承载载片盒进入水槽进行清洗操作的工件。在料篮中装入待洗 的硅片，一起放入全自动槽式硅片清洗机，严格按照设定的清洗工艺将线切割后的硅片彻 底清洗干净。现有的硅片清洗工序里，清洗机之间一般会有狭窄的过道，硅片插片区和硅片包 片区附近总是有很多手推小车，它的作用就是满载包片区腾空的载片盒和空花篮再由人力 推运到插片区再次使用，然后再把空的手推车推到包片区待装。因此，在硅片包片区和硅片 插片区必须同时放置空车和满车频繁的进行装载、推运和腾空的循环操作，以实现空篮再 利用。导致大量空间被小车侵占，现场显得尤为混乱，大量闲置在小车内的空花篮和空载片 盒不能被高效的再利用，物流循环十分缓慢，以及人力资源的浪费和包片区清洁环境的被 破坏。这种手推小车需要人力进行反复推运操作，物流效率低下，大量占用生产空间、恶 化工作环境。如前所述，通常清洗完成后硅片包片环节产生一定量的空载片盒和花篮以后， 插片环节才会派人来将小车推走，再将腾空的小车推回包片环节，物流循环耗时长，浪费生 产空间和人力，降低生产效率。同时，根据统计发现，每台清洗线至少有一半的载片盒闲置在小车里等待运至插 片区循环使用，载片盒的利用率很低。而且需要购置大量的花篮和载片盒，以满足生产需 要。而且载片盒造价高、硬度大，在大量堆放、小车推运的过程中容易造成磕碰变形或破损， 造成经济损失。另外，硅片包片区对环境卫生要求较高，硅片预清洗和插片区的环境较差， 难以达到要求，在两个区域之间的人员流动和手推小区的进出不可避免地会把插片区的污 垢和粉尘带到硅片包片区，从而直接影响硅片清洗的质量。因此，如何提高料篮的利用效率，减小硅片的清洗成本，提高硅片的清洗质量，是 本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种硅片料篮传输线，用于传输硅片料篮，该硅片料篮 传输线能有效提高料篮的利用效率，减小硅片清洗成本，并提高硅片的清洗质量。为实现上述目的，本实用新型提供一种硅片料篮传输线，包括用于承载硅片料篮 的输送带和用于控制所述输送带运行或停止的控制装置，所述输送带前进方向与清洗所述 硅片的清洗机的送料方向相反。[0010]优选地，还包括与所述输送带的表面垂直的护栏。优选地，所述输送带的宽度与所述料篮的宽度相等。优选地，所述输送带的长度略大于所述清洗机的长度。优选地，所述输送带由聚四氟乙烯材料形成的长条输送带。优选地，所述控制装置包括检测所述料篮是否送入或离开所述输送带的检测部 件，和接收所述检测部件的检测信号，并控制所述输送带运行或停止的控制部件。优选地，所述检测部件包括设于所述输送带进料口的第一检测部件。优选地，所述检测部件包括沿所述输送带的前进方向依次设置的第二检测部件和 第三检测部件，所述第三检测部件靠近所述输送带的出料口。优选地，所述检测部件具体为光电传感器。本实用新型所提供的硅片料篮传输线，包括用于承载硅片料篮的输送带，和控制 所述输送带运行或停止的控制装置，其中，输送带的前进方向与清洗硅片的清洗机的送料 方向相反。这样，操作工人可以在插片区在空料篮中装满待洗的硅片，并送入清洗机，经清 洗后进入包片区，负责包片的工人取出硅片，将清空后的料篮放在本实用新型所提供的硅 片料篮传输线上，由于硅片料篮传输线与清洗机的送料方向相反，所以，硅片料篮传输线可 以将空的料篮直接送回插片区，使料篮可以高效的循环使用。硅片料篮传输线代替传统的手推车后，通过控制装置控制空料篮返回插片区，既 可以减少推手推车的人力，节约人力资源；又可以避免手推车占用空间，使硅片清洗车间更 美观，空间利用效率更高；还可以有效避免工人在插片区和包片区之间流动，减少插片区的 污垢和粉尘进入包片区，提高包片区的清洁度和硅片的清洗质量。同时，利用硅片料篮传输 线还可以减小硅片运送过程中受人为因素的影响，减少料篮变形和破损的可能，减少不必 要的经济损失。而且，料篮的循环利用效率提高后，可以减少购买料篮的数量，可以进一步 节省企业开支。在一种优选的实施方式中，本实用新型所提供的硅片料篮传输线还包括与所述输 送带的表面垂直的护栏，以避免料篮在传输过程中从输送带上滑落，提高料篮传输的可靠 性，减小经济损失。在另一种优选的实施方式中，所述控制装置包括检测部件和控制部件，所述检测 部件用于检测所述料篮是否送入或离开所述输送带，所述控制部件用于接收所述检测部件 的检测信号，并控制所述输送带运行或停止。当检测部件检测到料篮送入输送带的信号时， 控制部件控制输送带运行，将料篮送至插片区；当检测部件持续检测不到料篮送入输送带 时，表明输送带上料篮较少，控制部件可以控制输送带停止运行，以免传输线空转，浪费资 源；当检测部件检测到料篮离开输送带时，输送带运行；当检测部件持续检测不到料篮离 开输送带时，表明输送带上料篮较多，控制部件也可以控制输送带停止运行，防止料篮在输 送带上堆积太多，减少输送带的磨损。
图1为本实用新型所提供硅片料篮传输线一种具体实施方式
的结构示意图；图2为图1所示硅片料篮传输线的部分结构示意图；图3为图1所示硅片料篮传输线的局部俯视4[0025]图4为图1所示硅片料篮传输线的左视图。
具体实施方式
本实用新型的核心是提供一种硅片料篮传输线，用于传输硅片料篮，该硅片料篮 传输线能有效提高料篮的利用效率，减小硅片清洗成本，并提高硅片的清洗质量。本文所涉及的上、下、前、后等方位词，是以硅片料篮传输线处于工作状态为基准 来定义的，与传输线的运行方向相同为前，与传输线运行方向相反为后。应当理解，本文中 所采用的方位词不应当限制本专利的保护范围。为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，
以下结合附图和具体实施 方式对本实用新型作进一步的详细说明。请参考图1，图1为本实用新型所提供硅片料篮传输线一种具体实施方式
的结构 示意图；图2为图1所示硅片料篮传输线的部分结构示意图；图3为图1所示硅片料篮传输 线的局部俯视图；图4为图1所示硅片料篮传输线的左视图。图中的箭头方向均表示输送 带的前进方向。本实用新型所提供的硅片料篮传输线，包括用于承载硅片料篮的输送带1，和控制 输送带运行或停止的控制装置，其中，输送带1的前进方向与清洗硅片的清洗机的送料方 向相反。这样，操作工人可以在插片区在空料篮2中装满待洗的硅片，并送入清洗机，经清 洗后进入包片区，负责包片的工人取出硅片，将清空后的料篮2放在本实用新型所提供的 硅片料篮传输线上，由于硅片料篮传输线与清洗机的送料方向相反，所以，硅片料篮传输线 可以将空的料篮2直接送回插片区，使料篮2可以高效的循环使用。硅片料篮传输线代替传统的手推车后，通过控制装置控制空料篮2返回插片区， 既可以减少推手推车的人力，节约人力资源；又可以避免手推车占用空间，使硅片清洗车间 更美观，空间利用效率更高；还可以有效避免工人在插片区和包片区之间流动，减少插片区 的污垢和粉尘进入包片区，提高包片区的清洁度和硅片的清洗质量。同时，利用硅片料篮传 输线还可以减小硅片运送过程中受人为因素的影响，减少料篮2变形和破损的可能，减少 不必要的经济损失。而且，料篮2的循环利用效率提高后，可以减少购买料篮2的数量，可 以进一步节省企业开支。在一种具体的实施方式中，本实用新型所提供的硅片料篮传输线可以具有与输送 带1的表面垂直的护栏3，以避免料篮2在传输过程中从输送带1上滑落，提高料篮2传输 的可靠性，减少经济损失。进一步地，输送带1的宽度可以料篮2的宽度相等，使输送带1恰好可以放置料篮 2，从而有效避免料篮2在输送带1上窜动，减少料篮2与其它部件的碰撞，从而减少料篮2 变形和损坏的可能，延长料篮2的使用寿命。同时，输送带1的长度可以略大于清洗机的长度，使经输送带1传送的料篮2可以 比清洗机输送的距离更远，更方便插片工人和包片工人操作，输送效率更高。具体地，输送带1可以由聚四氟乙烯材料形成，聚四氟乙烯具有摩擦系数小、耐磨 性好的特点，利用聚四氟乙烯制作输送带1可以减少料篮2和输送带1的磨损，使输送带1 的使用寿命更长。显然，输送带1可以利用其它材料制作。在一种优选的实施方式中，控制装置包括检测部件4和控制部件，检测部件4用于检测料篮2是否送入或离开输送带1，控制部件用于接收检测部件4的检测信号，并根据检 测信号控制输送1带运行或停止。当检测部件4检测到料篮2送入输送带1的信号时，控 制部件控制输送带1运行，将料篮2送至插片区；当检测部件4持续检测不到料篮2送入输 送带1时，表明输送带1上料篮2较少，控制部件可以控制输送带1停止运行，以免传输线 空转，浪费资源；当检测部件4检测到料篮2离开输送带1时，输送带1运行；当检测部件4 持续检测不到料篮2离开输送带1时，表明输送带1上料篮2较多，控制部件也可以控制输 送带1停止运行，防止料篮2在输送带1上堆积太多，减少输送带1的磨损。另外，本实用新型中可以采用0. 75KW三相异步电动机为输送带1提供动力，还可 以配合使用机械变速箱来方便调节传输带运转速度。输送带1的动力部分和变速方法在本 领域中有多种实现方式，在此不再赘述。以下以光电传感器为例，对检测部件进行说明。应当理解，本实用新型所提供的硅 片料篮传输线中，其检测部件包括但不限于光电传感器。具体地，检测部件4可以包括设于输送带1进料口的第一检测部件41，该第一检 测部件41持续检测不到信号的时间大于预定时间时，控制部件控制输送带1停止。即第一 检测部件41如果在预定时间内都检测不到有料篮2送上输送带1时，控制部件就可以控制 输送带1停止。例如，第一光电传感器持续5分钟没有感应到料篮2，则表明输送带1上持 续5分钟都没有料篮2送入，此时控制部件可以使输送带1停止运行，以节约电力，同时也 减少设备磨损。这样的状态可以理解为硅片料篮传输线处于省电模式。而当进料口处的第 一光电传感器感应到料篮2时，则控制部件会及时启动输送带1，省电模式结束，进入传输 线的工作模式。进一步地，检测部件4还可以包括沿输送带1的前进方向依次设置的第二检测部 件42和第三检测部件43，第三检测部件43靠近输送带1的出料口 ；第二检测部件42和第 三检测部件43均持续检测到料篮2信号的时间大于预定时间时，控制部件控制输送带1停 止。即可以沿着输送带1的运行方向依次设置三个光电传感器，且第三光电传感器靠近出 料口，第二光电传感器位于第一光电传感器和第三光电传感器中间。当第二光电传感器和 第三光电传感器均持续检测到料篮2信号，且持续预定时间后，例如持续20秒，第二光电传 感器和第三光电传感器都持续检测到料篮2存在，此时料篮2堆积在输送带1上，操作工人 没有及时将其转移，这种模式可以理解为传输线的堆栈模式。控制部件也可以控制输送带 1停止，以减少料篮2与输送带1之间的磨损。更优的，可以设置警铃、灯泡等辅助设备，当硅片料篮传输线处于堆栈模式时，警 铃、灯泡等辅助设备接通，利用声音、灯光提示操作人员及时卸载料篮2。料篮2被取走后， 堆栈模式结束，警铃、灯泡等辅助设备断开，传输线再次回到工作模式。显然，上述的第一检测部件与第二检测部件、第三检测部件可以独立存在，也可以 同时存在，当同时存在时传输线的可靠性更好，工作效率更高。以上对本实用新型所提供的硅片料篮传输线进行了详细介绍。本文中应用了具体 个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本 实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离 本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也 落入本实用新型权利要求的保护范围内。
权利要求一种硅片料篮传输线，其特征在于，包括用于承载硅片料篮(2)的输送带(1)和用于控制所述输送带(1)运行或停止的控制装置，所述输送带(1)前进方向与清洗所述硅片的清洗机的送料方向相反。
2.根据权利要求1所述的硅片料篮传输线，其特征在于，还包括与所述输送带(1)的表 面垂直的护栏(3)。
3.根据权利要求2所述的硅片料篮传输线，其特征在于，所述输送带(1)的宽度与所述 料篮(2)的宽度相等。
4.根据权利要求3所述的硅片料篮传输线，其特征在于，所述输送带(1)的长度略大于 所述清洗机的长度。
5.根据权利要求4所述的硅片料篮传输线，其特征在于，所述输送带(1)由聚四氟乙烯 材料形成的长条输送带。
6.根据权利要求1至5任一项所述的硅片料篮传输线，其特征在于，所述控制装置包 括检测所述料篮(2)是否送入或离开所述输送带(1)的检测部件(4)，和接收所述检测部件 ⑷的检测信号，并控制所述输送带⑴运行或停止的控制部件。
7.根据权利要求6所述的硅片料篮传输线，其特征在于，所述检测部件(4)包括设于所 述输送带(1)进料口的第一检测部件(41)。
8.根据权利要求7所述的硅片料篮传输线，其特征在于，所述检测部件(4)包括沿所述 输送带(1)的前进方向依次设置的第二检测部件(42)和第三检测部件(43)，所述第三检测 部件(43)靠近所述输送带(1)的出料口。
9.根据权利要求8所述的硅片料篮传输线，其特征在于，所述检测部件(4)具体为光电 传感器。
专利摘要本实用新型公开了一种硅片料篮传输线，包括用于承载硅片料篮(2)的输送带(1)和用于控制所述输送带(1)运行或停止的控制装置，所述输送带(1)前进方向与清洗所述硅片的清洗机的送料方向相反。硅片料篮传输线可以将空的料篮直接送回插片区，使料篮可以高效的循环使用。这样既可以减少推手推车的人力，节约人力资源；又可以使硅片清洗车间更美观，空间利用效率更高；还可以减少插片区的污垢和粉尘进入包片区，提高包片区的清洁度和硅片的清洗质量。同时，还可以减少料篮变形和破损的可能，减少购买料篮的数量，减少不必要的经济损失，节省企业开支。
文档编号H01L21/677GK201699001SQ20102024950
公开日2011年1月5日 申请日期2010年6月30日 优先权日2010年6月30日
发明者田欢, 黄永杰 申请人:英利能源(中国)有限公司