专利名称：用于装运硅片的夹具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳电池的制作工具，尤其涉及一种用于装运硅片的夹具。
背景技术：
太阳电池作为新兴的清洁可再生能源，因具能直接将太阳能转换为电能，且具有 寿命长、维护简单、可实现无人值守等优点而备受瞩目。太阳能电源系统取得了越来越广泛 的应用。 扩散工艺是晶体硅太阳能电池生产过程中的关键工序，需要使用一种夹具用于装 运硅片，避免人手直接接触硅片，从而保证工艺的洁净度。 现晶体硅太阳电池领域所使用的扩散炉多为水平式扩散炉，使用水平式石英舟装 载硅片。工艺时一个石英舟槽内插入两片硅片，以便在硅片的一面形成PN结。因此，夹具 的设计要满足便于并片操作及保证工艺洁净度的双重要求。
实用新型内容本实用新型的目的，就是为了解决上述问题，提供一种用于装运硅片的夹具。
为了达到上述目的，本实用新型采用了以下技术方案一种用于装运硅片的夹具， 其特征在于包括 波纹管，其上设有抽真空接管； 两中空石英吸笔，其一端分别与波纹管连接连通； 两石英吸盘，分别连接在两中空石英吸笔的另一端。 所述的石英吸盘为圆盘。 所述的石英吸笔为便于用手握持的扁平结构。 本实用新型的用于装运硅片的夹具满足便于并片操作及保证工艺洁净度的双重 要求。
图1是本实用新型用于装运硅片的夹具的结构示意图。
具体实施方式
参见图1，本实用新型用于装运硅片的夹具，包括波纹管1、两中空石英吸笔2和两 石英吸盘3。在波纹管1上设有抽真空接管4。两中空石英吸笔2为便于用手握持的扁平 结构，其一端分别与波纹管1连接连通。两石英吸盘3为圆盘形结构，其分别连接在两中空 石英吸笔2的另一端。 本实用新型用于装运硅片的夹具的使用方法是，将抽真空接管4与抽真空机构 连接，启动抽真空。首先用夹具中的一个吸盘吸住一片硅片，将之与另一片硅片并入同一 槽内，然后用另一个吸盘吸住另一片硅片，同时用手握紧石英吸笔以夹紧两片硅片，将之提起，放入石英舟的槽内。再断开气路，两片硅片即落入石英舟的槽内，然后将夹具移出，完成 一次硅片的装运。
权利要求一种用于装运硅片的夹具，其特征在于包括波纹管，其上设有抽真空接管；两中空石英吸笔，其一端分别与波纹管连接连通；两石英吸盘，分别连接在两中空石英吸笔的另一端。
2. 如权利要求1所述的用于装运硅片的夹具，其特征在于所述的石英吸盘为圆盘。
3. 如权利要求1所述的用于装运硅片的夹具，其特征在于所述的石英吸笔为便于用手握持的扁平结构。
专利摘要本实用新型提供了一种用于装运硅片的夹具，它包括波纹管、两中空石英吸笔和两石英吸盘。在波纹管上设有抽真空接管。两中空石英吸笔为便于用手握持的扁平结构，其一端分别与波纹管连接连通。两石英吸盘为圆盘形结构，其分别连接在两中空石英吸笔的另一端。本实用新型的用于装运硅片的夹具满足便于并片操作及保证工艺洁净度的双重要求。
文档编号H01L31/18GK201540900SQ20092021381
公开日2010年8月4日 申请日期2009年11月18日 优先权日2009年11月18日
发明者许卓, 许瑞峰, 邓超, 顾涵奥 申请人:上海太阳能科技有限公司