分布反馈型半导体激光器的制作方法

文档序号:15741681发布日期:2018-10-23 22:24阅读:来源:国知局
技术总结
分布反馈型半导体激光器具有半导体层叠体和第一电极。上述半导体层叠体包括第一层、设置在上述第一层之上且能够通过子带间光跃迁射出激光的有源层、和设置在上述有源层之上的第二层。上述半导体层叠体具有包括平坦部和槽部的第一面,该平坦部包括上述第二层的表面,该槽部从上述表面到达上述第一层,上述平坦部具有沿着第一直线延伸的第一区域和以与上述第一直线正交的方式延伸的第二区域,上述槽部和上述第二区域在上述第一区域的外侧构成沿着上述第一直线具有规定间距的衍射光栅。上述第一电极设于上述第一区域。

技术研发人员:斋藤真司;角野努;山根统;津村明
受保护的技术使用者:株式会社东芝
技术研发日:2016.09.01
技术公布日:2018.10.23

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