高压BCD器件的制作方法

文档序号:11101879阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高压BCD器件,在衬底中具有N型深阱,N型深阱中具有P阱,源区位于P阱中,源区及漏区之间的衬底表面具有场氧,靠P阱的一侧场氧上及靠P阱的衬底上具有多晶硅栅极,所述场氧下的衬底中,还具有P型注入层,其特征在于:所述P型注入层为多个平行的条状,且平行于沟道方向,所述各平行条状的P型注入层之间通过与之垂直的P型连接区域相连接,且连接区域互相错开,相邻的连接区域不在同一直线上,P型连接区域将各条状P型注入层电性连接在一起,通过接触孔接地。

2.如权利要求1所述的高压BCD器件,其特征在于:所述的P型注入层的P型连接区域,与P型注入层采用同一掩膜版同时注入形成。

3.如权利要求1所述的高压BCD器件,其特征在于:所述的P型连接区域的位置为规律性分布,或者随机分布。

4.如权利要求1或3所述的高压BCD器件,其特征在于:所述的P型连接区域,相邻的P型连接区域之间的错开距离大于5微米,P型连接区域的宽度为5~20微米。

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