石英管保持构造和使用了石英管保持构造的热处理装置的制作方法

本发明涉及石英管保持构造和使用了石英管保持构造的热处理装置。

背景技术：

以往以来，公知有一种气体供给部，其包括：直管部，其具有至少1个气体供给孔；下端部，其形成于直管部的下端，具有比直管部的直径大的宽度；载置部，其用于载置下端部；盖部，其将下端部固定于载置部，具有在下端部倾斜了时支承下端部的上表面的支承面，在盖部的上表面以与所述直管部之间具有预定间隔的方式形成有缺口，在所述载置部的与下端部接触的接触面形成有导入气体的导入孔(参照例如专利文献1)。

在该专利文献1所记载的气体供给部中，通过利用载置部和盖部夹持下端部，将下端部固定并使该下端部自立，容易地进行气体喷嘴设置等维护作业。

另外，公知有一种基板处理装置，其具备：反应管，其形成对基板进行处理的反应室，并且，将多张基板以沿着纵向装载的状态收容于在反应室内确保的反应空间；气体供给喷嘴，其沿着纵向设置于反应空间；倾斜抑制部件，其对设置于反应空间的气体供给喷嘴的倾斜进行抑制，倾斜抑制部件具备喷嘴固定构件，该喷嘴固定构件形成有：喷嘴支承部，其利用支承面支承气体供给喷嘴的下端部；固定部，其在利用支承面支承着气体供给喷嘴的下端部的状态下可将气体供给喷嘴固定于喷嘴支承部(参照例如专利文献2)。

在该专利文献2所记载的基板处理装置中，在气体供给喷嘴设置于反应室内的情况下，以降低气体供给喷嘴的倾斜为目的。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-185578号公报

专利文献2：日本特开2013-187459号公报

技术实现要素：

发明要解决的问题

不过，近年来，基于半导体制造工艺的多样化和面内均匀性的确保的较高的要求，存在使供给气体的种类增加、或利用不同的喷嘴将相同的气体向每个区域供给的要求，存在气体供给喷嘴的设置根数增加的倾向。

然而，在专利文献1中，存在如下问题：是通过载置部和盖部对下端部的夹持、使直管部的下端部固定并使其自立的构造，因此，不得不设为载置部、盖部和下端部一定程度较大的构造，若气体供给喷嘴增加，则空间不足，难以较多地设置气体供给喷嘴。

另外，在专利文献2中，存在如下问题：由于是将气体供给喷嘴的下端部固定于喷嘴固定构件的喷嘴支承部而使倾斜降低的构造，因此，喷嘴固定构件不得不构成为具有一定程度的大小，还是难以较多地设置气体供给喷嘴。

因此，本发明的目的在于提供一种石英管保持构造和使用了石英管保持构造的热处理装置，该石英管保持构造能够以简单的构造来可靠地固定石英管而没有摇晃、倾斜、脱离等，还可设置许多石英管。

用于解决问题的方案

为了达成上述目的，本发明的一技术方案的石英管保持构造具有：

纵长的处理容器；

石英管，其沿着该处理容器的内壁面的长度方向，至少在该处理容器的下部与所述内壁面之间具有间隔地设置；

支承构件，其从下方支承该石英管；

按压力产生器具，其在所述处理容器的下部对所述石英管施加从所述处理容器的内侧朝向所述内壁面的按压力来固定所述石英管。

本发明的另一技术方案的热处理装置具有所述石英管保持构造和从外侧对该石英管保持构造的所述处理容器进行加热的加热部件。

发明的效果

根据本发明，虽然是简单的构造，但能够可靠地保持石英管而没有摇晃、倾斜、脱离、破损等。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方式的石英管保持构造和热处理装置的一个例子的图。

图2是表示本发明的第1实施方式的热处理装置的歧管的截面结构的一个例子的截面立体图。

图3是表示本发明的第1实施方式的石英管保持构造的保持件和内引导件的一个例子的结构的立体图。

图4是表示本发明的第1实施方式的石英管保持构造的保持件的一个例子的结构的图。图4的(a)是保持件的俯视图。图4的(b)是保持件的主视图。图4的(c)是保持件的侧剖视图。图4的(d)是将保持件的侧剖视图和侧视图组合而成的图。

图5是表示本发明的第1实施方式的石英管保持构造的保持件的一个例子的结构的侧视图。图5的(a)是表示保持件的固定前的状态的侧视图。图5的(b)是表示保持件的固定后的状态的侧视图。

图6是表示本发明的第1实施方式的石英管保持构造的喷射器和下部固定构件的防脱构造的一个例子的剖视图。

图7是表示本发明的第1实施方式的石英管保持构造中的喷射器的设置方法的一个例子的图。图7的(a)是表示喷射器插入工序的一个例子的图。图7的(b)是表示保持件设置工序的一个例子的图。图7的(c)是表示喷射器设置工序的一个例子的图。

图8是表示所设置的喷射器和保持件的一个例子的侧剖视图。

图9是用于说明本发明的第1实施方式的石英管保持构造和热处理装置的支承点的图。

图10是表示本发明的第1实施方式的石英管保持构造和热处理装置的喷射器设置状态的一个例子的图。

图11是表示在本发明的第1实施方式的石英管保持构造中固定有3个喷射器的状态的图。

图12是表示与图11对应的3个喷射器的上部的支承构造的图。

图13是表示本发明的第2实施方式的石英管保持构造和热处理装置的一个例子的图。

图14是表示第2实施方式的石英管保持构造和热处理装置的喷射器设置状态的一个例子的图。

图15是表示本发明的第3实施方式的石英管保持构造和热处理装置的一个例子的侧剖视图。

图16是表示第3实施方式的石英管保持构造的保持件的设置方法的一个例子的图。图16的(a)是表示设置保持件前的喷射器的状态的图。图16的(b)是表示设置保持件后的喷射器的状态的图。

图17是在第3实施方式的石英管保持构造中从外侧表示喷射器和保持件的立体图。

附图标记说明

10、处理容器；12、内壁面；40、加热部件；91、97、喷射器支承部；92、插入孔；102、插塞；110、115、喷射器；111、平坦面；140、保持件；141、下部固定构件；141a、142a、凹陷形状部分；141b、直线部；142、上部按压构件；143、连结构件；144、螺纹孔；145、螺钉；150、内引导件；151、插入孔。

具体实施方式

以下，参照附图进行用于实施本发明的形态的说明。

〔第1实施方式〕

图1是表示本发明的第1实施方式的石英管保持构造和热处理装置的一个例子的图。本发明的第1实施方式的石英管保持构造的处理对象、处理内容没有特别限定，可适用于将气体向处理容器内供给而进行处理的各种处理装置，在本实施方式中，列举适用于对基板进行热处理的热处理装置为例来进行说明。因而，图1表示立式热处理装置的结构。

在图1中，热处理装置具有收容半导体晶圆w的处理容器10。处理容器10由耐热性较高的石英成形为大致圆筒体状，在顶部具有排气口11。处理容器10构成为沿着铅垂方向延伸的立式的形状。在例如要处理的晶圆w的直径为300mm的情况下，处理容器10的直径设定于350mm～450mm左右的范围内。

处理容器10的顶部的排气口11与气体排气部20连接。气体排气部20由例如从排气口11延伸而呈直角向横向弯曲成l字状的石英管构成。

气体排气部20与对处理容器10内的气氛进行排气的真空排气系统30连接。具体而言，真空排气系统30具有与气体排气部20连结的例如由不锈钢形成的金属制的气体排气管31。并且，在该气体排气管31的中途，依次设置有开闭阀32、蝶形阀那样的压力调整阀33和真空泵34，能够对处理容器10内的气氛进行压力调整、且进行抽真空。此外，气体排气部20的内径设定成与气体排气管31的内径相同。

在处理容器10的侧部，以包围处理容器10的方式设置有加热部件40，可对位于内侧的半导体晶圆w进行加热。在加热部件40的外周设置有绝热材料50，确保该热的稳定性。

石英制的处理容器10的下端部开口而能够输入、输出晶圆w。处理容器10的下端部的开口成为可由盖体60进行开闭的结构。

在比盖体60靠上方的位置设置有晶圆舟皿80。晶圆舟皿80是用于保持晶圆w的晶圆保持构件，构成为可沿着铅垂方向以使多张晶圆分开的状态保持多张晶圆。晶圆舟皿80所保持的晶圆的张数并没有特别限定，保持例如50张～100张晶圆w。

晶圆舟皿80隔着石英制的保温筒75载置于台74上，台74支承于贯通对处理容器10的下端开口部进行开闭的盖体60的旋转轴72的上端部。并且，在该旋转轴72的贯通部设置有例如磁性流体密封件73，对该旋转轴72进行气密地密封、同时将该旋转轴72支承成可旋转。另外，在盖体60的周边部与处理容器10的下端部设置有由例如o形密封圈等构成的密封构件61，保持了处理容器10内的密封性。

旋转轴72安装于被支承于例如舟皿升降机等升降机构70的臂71的顶端，能够使晶圆舟皿80和盖体60等一体地升降。此外，也可以将台74固定到盖体60侧地设置，不使晶圆舟皿80旋转就进行晶圆w的处理。

在处理容器10的下端部配置有歧管90，该歧管90具有沿着处理容器10的内周壁延伸的部分，并且，具有朝向半径方向外方延伸的凸缘状的部分。并且，借助歧管90从处理容器10的下端部向处理容器10内导入需要的气体。歧管90由与处理容器10独立的零部件构成，但与处理容器10的侧壁一体地设置，而以构成处理容器10的侧壁的一部分的方式设置。

歧管90支承喷射器110。喷射器110是用于向处理容器10内供给气体的气体供给部件，由石英构成。即、喷射器110由石英管构成。本发明的实施方式的石英管保持构造可适用于各种石英管，但在第1实施方式中，列举适用于构成为喷射器110的石英管为例来进行说明。此外，喷射器110以沿着上下方向延伸的方式设置在处理容器10的内部，直接将气体向晶圆w供给。

喷射器110一般根据气体的种类而设置有多个，但近年来，也存在进一步针对装载到晶圆舟皿80的上下方向的每个区域设置独立的喷射器110的情况，因此，也存在需要设置10根以上喷射器110的情况。本发明的第1实施方式的石英管保持构造和热处理装置具有可设置那样许多根喷射器的结构，但该点的详细内容随后论述。

为了固定喷射器110，设置有保持件140。保持件140是从处理容器10的内侧朝向处理容器10的内壁面12对喷射器110施加按压力的按压力产生器具。另外，沿着处理容器10的内壁面12设置有具有插入孔151的内引导件150，喷射器110的上端部附近的预定部位插入插入孔151。保持件140朝向处理容器10的内壁面12施加按压力，因此，喷射器110的上端部附近的预定部位被向内引导件150的插入孔151的靠内壁面12侧(外侧)按压而与插入孔151的靠内壁面12侧(外侧)接触。此外，在图1中，喷射器110铅垂地描绘，但被保持件140施加朝向外侧的按压力，因此，也存在由于内引导件150的插入孔151的位置的不同而稍微朝向内壁面12侧倾斜的情况。

为了向喷射器110供给气体而设置有气体供给系统120。气体供给系统120具有与喷射器110连通的由金属、例如不锈钢制的气体配管121，在气体配管121的中途依次设置有质量流量控制器那样的流量控制器123和开闭阀122，能够对处理气体进行流量控制、同时进行供给。基板处理所需的其他处理气体也经由同样地构成的气体供给系统120和歧管90供给。

处理容器10的下端部的歧管90的周边部被由例如不锈钢形成的底板130支承，利用该底板130支承处理容器10的载荷。该底板130的下方成为具有未图示的晶圆移载机构的晶圆移载室，成为大致大气压的氮气气氛。另外，底板130的上方成为通常的洁净室的清洁的空气的气氛。

接着，更详细地说明本发明的第1实施方式的热处理装置的歧管90的结构。

图2是表示本发明的第1实施方式的热处理装置的歧管90的截面结构的一个例子的截面立体图。歧管90具有喷射器支承部91和气体导入部95。喷射器支承部91是沿着处理容器10内壁面在铅垂方向上延伸的部分，支承喷射器110。喷射器支承部91具有喷射器110的下端可插入、即可外套支承喷射器110的下端的插入孔92。气体导入部95是从喷射器支承部91向半径方向外侧延伸、并在处理容器10的外侧暴露的部分，具有气体导入路径(气体流路)96。

如图2所示，喷射器支承部91沿着处理容器10的内周壁延伸，以可支承多根喷射器110的方式沿着周向配置有多个插入孔92。各插入孔92构成为具有在插入有1根喷射器110的下端部时能够以使喷射器110沿着铅垂竖立的状态支承该喷射器110的高度。在喷射器110的侧面形成有开口112，构成为可与气体导入部95的气体导入路径96连通。

接着，使用图3～图5更详细地说明保持件140和内引导件150的结构。图3是表示保持件140和内引导件150的一个例子的结构的立体图。

图4是表示保持件140的一个例子的结构的图。图4的(a)是保持件140的俯视图，图4的(b)是保持件140的主视图。另外，图4的(c)是图4的(b)的e-e截面的保持件140的侧剖视图。此外，在图4的(c)中，右侧表示了要螺钉固定的背面侧的位置，左侧表示了与处理容器10的内壁面12面对的前表面侧的位置。图4的(d)是将图4的(b)的a-a剖视图和侧视图组合而成的图。

图5是表示保持件140的一个例子的结构的侧视图。图5的(a)是表示保持件140的固定前的状态的侧视图，图5的(b)是表示保持件140的固定后的状态的侧视图。

如图3和图5所示，保持件140具有下部固定构件141、上部按压构件142、和连结构件143。下部固定构件141被螺钉固定于喷射器支承部91的上表面，是用于将保持件140固定于喷射器支承部91的上表面的构件，是用于防止喷射器110的旋转和脱离的构件。另外，上部按压构件142是用于将喷射器110向处理容器10的内壁面12侧按压的构件，连结构件143是用于将下部固定构件141和上部按压构件142连结的构件。

如图3和图4的(a)所示，上部按压构件142具有可将喷射器110向处理容器10的内壁面12侧按压的形状。在本实施方式中，上部按压构件142构成为u字形状，成为可将喷射器110保持于u字的凹陷内、并向外侧施加按压力的形状。此外，在本实施方式中，上部按压构件142构成为u字形状，但只要是可将喷射器110向一方向按压的形状，就可以构成为各种形状。但是，为了可靠地保持喷射器110，优选是可与喷射器110卡合的形状，优选是具有本实施方式那样的u字形状、v字形状等可保持圆筒形的喷射器110的凹陷的俯视形状。

下部固定构件141与上部按压构件142同样地构成为u字形状，成为可将喷射器110接近地配置于u字的凹陷内的形状。下部固定构件141也可以固定于喷射器支承部91的上表面地设置。如图3和图5所示，下部固定构件141也可以使用例如螺钉145等固定于喷射器支承部91。另外，如图4的(a)、(d)所示，上部按压构件142的u字形状的凹陷的成为与喷射器110之间的接触点的凹陷部分142a构成为位于比下部固定构件141的形成有u字形状的凹陷部分141a的面靠前面的位置。因而，如图5的(a)、(b)所示，若在上部按压构件142的u字形状的凹陷部分142a与喷射器110接触的位置将下部固定构件141螺钉固定于喷射器支承部91的上表面，则上部按压构件142的u字形状的凹陷部分142a必然与喷射器110接触。由此，上部按压构件142将喷射器110向前方挤压，向处理容器10的内壁面12施加按压力。此外，下部固定构件141构成为，以与喷射器110非接触的状态固定于喷射器支承部91的上表面，不对喷射器110施加承载负荷。因而，上部按压构件142的u字形状的凹陷部分142a以保持喷射器110的方式对喷射器110进行按压，但下部固定构件141以从3个方向接近并包围或覆盖喷射器110的外周的至少一半以上、更详细而言2/3～3/4程度的方式配置。不过，下部固定构件141与喷射器110分开地配置，因此，不与喷射器110卡合，但形状自身是u字形状，因此，具有可与喷射器110卡合的形状。

此外，连结构件143是将下部固定构件141和上部按压构件142连结的构件，利用下部固定构件141的固定，对上部按压构件142赋予向前方的按压力。连结构件143只要能够将由于连结构件143变形而产生的弹性力向上部按压构件142传递，就无论其结构、形状如何，如图3～图5所示，例如也可以具有多个棒状的形状地构成。通过具有棒状的形状，能够将由于连结构件143变形而产生的弹性力直接向上部按压构件142传递。

连结构件143优选具有弹性，也可以由例如金属构成。也可以是，下部固定构件141和上部按压构件142都与连结构件143同样地由金属构成。在将石英管保持构造用于热处理装置等高温的装置的情况下，优选使用热膨胀系数较小、且耐热性优异的金属。作为这样的热膨胀系数较小、耐热性优异的金属，可列举出例如哈斯特洛依合金。因而，保持件140也可以由例如哈斯特洛依合金构成。热处理装置以600℃以上进行处理的情况较多，因此，若使用热膨胀系数较高的金属，则无法恰当地固定喷射器110，也成为产生晃动、脱离的原因。因而，优选保持件140由热膨胀系数较小的金属构成。

此外，作为可使用于这样的高温的区域的材料，也存在石英、陶瓷，但弹性不足的情况较多。当然，只要开发出具有一定程度的弹性、热膨胀率较小且耐热性较高的新材料，也能够恰当地利用那样的材料。

另外，下部固定构件141、上部按压构件142和连结构件143彼此的接合也可以利用例如焊接进行。

通过借助该热膨胀系数较小、具有弹性的连结构件143将上部按压构件142和下部固定构件141连结，能够防止喷射器110的摇晃。

内引导件150构成为在圆环状的构件形成有与喷射器110相对应的插入孔151。通过向插入孔151的外侧按压喷射器110，能够防止喷射器110的倾斜和摇晃的产生。此外，内引导件150设于处理容器110的内壁面12，因此，优选与处理容器110同样地由石英构成。此外，被喷射器110按压的插入孔151的外侧的内周面相对于处理容器10的内壁面12向内侧隆起，但其隆起的程度根据喷射器110的配置等适当地确定为佳。在喷射器110与处理容器10的内壁面12接近的情况下，也可以构成为与内壁面12大致相同的面。

如图4的(a)、(b)、(d)所示，下部固定构件141和上部按压构件142都在中心部分具有u字形状的凹陷部分141a、142a，两外侧由连结构件143连结起来。并且，如图4的(a)、(d)所示，可知：上部按压构件142的u字形状的凹陷部分142a比下部固定构件141的u字形状的凹陷部分141a向前方突出。具体而言，优选u字形状的凹陷部分141a、142a的水平方向上的偏移量x设定成数mm左右，在第1实施方式中是1.5mm。另外，优选下部固定构件141与上部按压构件142之间的连结构件143的长度y设定成数十mm，在第1实施方式中是50mm。在保持件140的材质是哈斯特洛依合金的情况下，通过将下部固定构件141固定于喷射器支承部91而获得的上部按压构件142的按压力是约3.0nm。

此外，如图4的(c)所示，在下部固定构件141形成有可与螺钉145螺纹结合的螺纹孔144。

另外，如图4的(a)所示，上部按压构件142的u字形状的内周面整体变圆而曲线地构成，但在下部固定构件141的u字形状的两侧的内周面的一部分形成有具有直线的形状的直线部141b。其原因在于，在喷射器110的下部形成有可与下部固定构件141卡合的平坦面，构成了防脱构造。在此，直线部141b的长度、也就是说直线部141b的进深的长度比喷射器110的直径的大小短。其原因在于，只要直线部141b设置于可与喷射器110的平坦面相对的范围内，就足够。此外，直线部141b具有可与喷射器110的平坦面卡合的形状，但在固定下部固定构件141时，处于不与喷射器110的平坦面接触而相对的状态。随后论述这点的详细情况。

图5的(a)表示使保持件140与喷射器110嵌合、用螺钉145临时固定于喷射器支承部91的上表面的状态。此外，在图5的(a)中，保持件140被螺钉145临时固定，但喷射器110只要不向下方脱落，即使没有螺钉145，在作业方面也没有问题。

图5的(b)表示将螺钉145固定后的状态。若利用螺钉145将保持件140的下部固定构件141固定于喷射器支承部91的上表面，则成为力f1施加于下部固定构件141的状态，下部固定构件141的底面与喷射器支承部91的上表面密合。上部按压构件142与喷射器110接触而无法移动，因此，施加力f2而连结构件143以向背面侧翘曲的方式变形。随着该连结构件143的变形，产生向前方方向(处理容器10的内壁面12方向)的弹性力f3，在上部按压构件142上施加有前方方向的按压力f4。这样一来，能够利用上部按压构件142的按压力f4将喷射器110固定。

图6是表示喷射器110和下部固定构件141的防脱构造的一个例子的剖视图。此外，图6表示了沿着喷射器支承部91的周向的截面。如图6所示，在喷射器110的下部的喷射器支承部91的正上方的位置的预定部位，圆筒形的外周被切削而形成平坦面111。平坦面111沿着处理容器10的半径方向在相反侧彼此形成为两个面，形成了平行面。该平坦面111作为与下部固定构件141的u字形状部分的内周面的直线部141b卡合来防止喷射器110的旋转的止转件发挥功能，并且作为防止脱离的防脱构造发挥功能。此外，在喷射器110的外周面与下部固定构件141的u字形状部分的内周面之间、以及在从喷射器110的平坦面111的下端沿着水平方向延伸的下部水平面(图6的以“d”表示的部分)与下部固定构件141的底面之间设置有间隙，即使将下部固定构件141螺钉固定于喷射器支承部91，也不会接触。由此，即使下部固定构件141是金属的，也能够防止石英管破损。另外，优选喷射器110的比平坦面111靠下的部分具有比喷射器110的直径稍大的大径部。其原因在于，该大径部设定成与喷射器支承部91的插入孔92大致相同的直径，但在喷射器的直径是与大径部相同的尺寸的情况下，安装喷射器110之际就与插入孔92干涉。

接着，使用图7来说明本发明的第1实施方式的石英管保持构造中的喷射器110的设置方法。图7是表示本发明的第1实施方式的石英管保持构造中的喷射器110的设置方法的一个例子的图。

图7的(a)是表示喷射器插入工序的一个例子的图。在喷射器插入工序中，喷射器110插入喷射器支承部91的插入孔92，在上部，喷射器110的上端部插入内引导件150的插入孔151。此时，喷射器110的平坦面111沿着周向配置。

图7的(b)是表示保持件设置工序的一个例子的图。在保持件设置工序中，保持件140以与喷射器110卡合的方式设置。即、在下部固定构件141和上部按压构件142的u字形状部分嵌入喷射器110。此时，下部固定构件141的直线部141b以与喷射器110的平坦面111卡合的方式进行对位。另外，优选的是，螺钉145插入螺纹孔144，以在喷射器110的上端部与内引导件150的插入孔151之间的接触面不施加较大的载荷的程度，将螺钉145临时固定。在该状态下，上部按压构件142的u字形状的凹陷部分142a与喷射器110的外表面接触，但下部固定构件141的u字形状的凹陷部分141a不与喷射器110的外表面接触。从喷射器110的平坦面111的上端沿着水平方向延伸的上部水平面(图6的以"u"所示的部分)由下部固定构件141的上表面支承，因此，喷射器110不会向下方脱落。

图7的(c)是表示喷射器设置工序的一个例子的图。在喷射器设置工序中，插塞(圆形构件)嵌入插入孔92的下端部，插入孔92的下端部被堵塞。由此，喷射器110的下端部成为载置于插塞102上而被支承的状态，形成于喷射器支承部91的气体导入部95的气体导入路径96与形成于喷射器110的下方的开口112连通。之后将螺钉145固定。若利用螺钉固定，则下部固定构件141的底面与喷射器支承部91的上表面密合的同时连结构件143变形，在上部按压构件142产生朝向处理容器10的内壁面12的按压力f4来保持喷射器110。此外，喷射器110的固定的原理如利用图5进行了说明那样。

例如，这样一来，喷射器110设置于处理容器10内。

图8是表示所设置的喷射器110和保持件140的一个例子的侧剖视图。如图8所示，下部固定构件141的前后的长度比上部按压构件142的前后的长度大，起到作为固定构件的功能，上部按压构件142的仅向前方施加按压力的背面位于比喷射器110靠后方的位置，没有按压的作用的前方不到达比喷射器110靠前方的位置，以最小限度的尺寸构成。这样，零部件个数也较少，可简单地构成，因此，即使是相邻的喷射器110彼此的间隔较窄的情况下，也能够不会彼此干涉地设置。

图9是用于说明本发明的第1实施方式的石英管保持构造和热处理装置的支承点的图。在图9中，示出了喷射器110使用保持件140来固定时的喷射器110的支承点s1～s3。支承点s1是喷射器支承部91的插入孔92的外侧的面。并且，支承点s2是保持件140的上部按压构件142的u字形状的凹陷部分142a。支承点s3是内引导件150的插入孔151的外侧的部分。这样，从外侧利用支承点s1、s3支承喷射器110的上端部和下端部，从内侧利用支承点s2支承喷射器110的下部，利用3点支承将载置到插塞102上的喷射器110固定并保持。更详细而言，利用支承点s2从内侧朝向外侧施加按压力，利用上端部和下端部的支承点s1、s3承受该按压力，从喷射器110的两侧夹持并将该喷射器110固定。

另外，在图9中，示出了保持件140的下部固定构件141以在保持件140的下部固定构件141的底面与从喷射器110的平坦面111的下端沿着水平方向延伸的下部水平面(图6的以“d”所示的部分)之间具有间隙g1的方式被固定。由此，能够防止喷射器110与下部固定构件141接触而使喷射器110破损。

图10是表示本发明的第1实施方式的石英管保持构造和热处理装置的喷射器设置状态的一个例子的图。如图10所示，示出了纵长的细的喷射器110被内引导件150、喷射器支承部91的插入孔92和保持件140这样的最小限度的支点固定着的状态，示出了本实施方式的石英保持构造是如何简化而成的构造。另外，不是抓住喷射器110的一部分那样的结构，而是稳定的、在较少的支承点s1～s3进行按压的构造，因此，只要在这些支承点s1～s3不产生变形等，就能够可靠地保持喷射器110而没有摇晃、倾斜和脱离。

图11是表示利用本发明的第1实施方式的石英管保持构造固定有3根喷射器110的状态的图。如图11所示，3根喷射器110以非常窄的间隔配置。这样，根据本实施方式的石英管保持构造，保持件140非常简单地构成，因此，也可适用于喷射器110彼此的间隔较窄的情况，适用范围较大。

图12是表示与图11相对应的3根喷射器110的上部的支承构造的图。在喷射器110的上端部，也成为能够使用内引导件150来紧凑地固定配置喷射器110的结构。

这样，根据本发明的第1实施方式的石英管保持构造和热处理装置，虽然是简单的构造，但即使在高温下使用，也能够不产生摇晃、倾斜、脱离和破损地保持石英管。

〔第2实施方式〕

图13是表示本发明的第2实施方式的石英管保持构造和热处理装置的一个例子的图。第2实施方式的石英管保持构造和热处理装置在处理容器10的上部并没有设置内引导件150、利用处理容器10的内壁面12支承喷射器110这点不同。对于其他结构，与第1实施方式的石英管保持构造和热处理装置相同，因此，对所对应的构成要素标注相同的附图标记而省略其说明。

如图13所示那样，支承点s1、s2与第1实施方式完全相同。另一方面，喷射器110的上端部的支承点s30成为处理容器10的内壁面12。在第2实施方式中，没有设置内引导件150，使喷射器110的上部直接与处理容器10的内壁面12接触。由于没有设置内引导件150，喷射器110稍微向外侧倾斜，但喷射器110与内壁面12之间的间隙是数mm左右，设定于2mm～3mm左右的情况较多，因此，在具有1500mm以上的长度的喷射器110中，成为几乎能够忽视的倾斜，对工艺没有带来任何不良影响。

因而，也可以如第2实施方式那样构成为，不设置内引导件150，将喷射器110的上端部的预定部位直接按压于处理容器10的内壁面12。

此外，保持件140的下部固定构件141的底面与从喷射器110的平坦面111的下端沿着水平方向延伸的下部水平部(图6的以“d”所示的部分)之间形成有间隙g1这点与第1实施方式相同。

其他结构与第1实施方式的石英管保持构造和热处理装置相同，因此，省略其说明。

图14是表示第2实施方式的石英管保持构造和热处理装置的喷射器设置状态的一个例子的图。如图14所示，喷射器110的上端部支承于处理容器10的内壁面12，但内壁面12与喷射器110的间隙非常小，因此，喷射器110的倾斜几乎能够忽视，与沿着铅垂竖立大致等效。因而，对工艺不会带来任何不良影响，可没有任何问题地适用于石英管保持构造和热处理装置。

这样，根据第2实施方式的石英管保持构造和热处理装置，能够以更简单的构造且减少零部件个数来支承喷射器110，能够谋求构造的进一步的简化和成本的降低。

〔第3实施方式〕

图15是表示本发明的第3实施方式的石英管保持构造和热处理装置的一个例子的侧剖视图。如图15所示，在第3实施方式的石英管保持构造中，作为石英管的喷射器115构成为在下端部具有水平部分115b的l字形状。喷射器115具有在下端部水平地贯通喷射器支承部97、在处理容器10的内部铅垂部115a铅垂地向上方延伸的结构。并且，在喷射器支承部97的上表面设置保持件140，能够固定l字形状的喷射器115。这样，保持件140也能够同样地用于l字形的喷射器115。通过设置保持件140，喷射器115受到朝向处理容器10的内壁面12的按压力，能够与第1实施方式和第2实施方式同样地固定喷射器115。

图16是表示第3实施方式的石英管保持构造的保持件140的设置方法的一个例子的图。图16的(a)是表示设置保持件140前的喷射器115的状态的图，图16的(b)是表示设置保持件140后的喷射器115的状态的图。

如图16的(a)、(b)所示，在喷射器支承部97的上表面，从内侧朝向外侧在下部固定构件141和上部按压构件142嵌入喷射器115，对下部固定构件141进行螺钉固定，从而能够将喷射器115向外侧按压而将喷射器115固定。

此外，喷射器115的上端部的固定方法既可以是如第1实施方式那样设置内引导件150而插入插入孔151来固定的结构，也可以是如第2实施方式那样仅按压于处理容器10的内壁面12的结构。

图17是在第3实施方式的石英管保持构造中从外侧表示喷射器115和保持件140的立体图。上部按压构件142从内侧朝向外侧按压喷射器115并将喷射器115固定这点与第1实施方式和第2实施方式相同。

这样，保持件140能够利用于各种石英管。能够构成各种石英管保持构造和热处理装置。

另外，在第1实施方式～第3实施方式中，列举石英管构成为喷射器110、115的例子来进行了说明，但能够将本发明的实施方式的石英管保持构造适用石英管构成为热电偶的情况等各种石英管。

根据本发明的实施方式的石英管保持构造和热处理装置，在高温的条件下，也能够以简单的构造来可靠地保持石英管而没有摇晃、倾斜、脱离和破损。另外，作为按压力产生器具的保持件140能够非常小型地构成，因此，即使是喷射器110、115彼此的间隔较窄的情况下，也能够恰当地适用。

以上，对本发明的优选实施方式进行了详细说明，但本发明并不限制于上述的实施方式，能够在不脱离本发明的范围的情况下对上述的实施方式施加各种变形和置换。