技术总结
本发明提供了一种承载装置及离子注入设备，所述承载装置包括：用于承托基板的承托台；以及，用于支撑基板的多个支撑部件，各支撑部件以可移动地方式设置在所述承托台上，以使各支撑部件在基板上的支撑位置可调节。本发明提供的承载装置及离子注入设备，能够减少由于支撑部件与基板接触所引起的亮暗点、白Mura等不良产生。
技术研发人员：刘晨亮;蒋冬华;傅永义;谭超;王学伟;李儒健;罗康;令勇洲;谢银;杨剑波;李飞
受保护的技术使用者：成都京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
文档号码：201710137906
技术研发日：2017.03.09
技术公布日：2017.06.20