技术特征：
技术总结
一种有机薄膜晶体管的制备方法，包括：在基底上制备有机半导体层、叉指电极层、栅极及绝缘层的步骤，该制备有机半导体层的步骤包括：提供一蒸发源，该蒸发源包括碳纳米管膜结构及有机半导体层源材料，该碳纳米管膜结构为一载体，该有机半导体层源材料设置在该碳纳米管膜结构表面，通过该碳纳米管膜结构承载，该有机半导体层源材料为有机半导体层的材料或者用于形成该有机半导体层的前驱体，该前驱体在蒸镀的过程中反应生成该有机半导体层；将该蒸发源与待镀表面相对且间隔设置，并向该碳纳米管膜结构输入电磁波信号或电信号，使该有机半导体层源材料蒸发，在该待镀表面上蒸镀形成该有机半导体层。
技术研发人员：魏浩明;魏洋;姜开利;范守善
受保护的技术使用者：清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司
技术研发日：2017.04.28
技术公布日：2018.11.13