碳化硅MOS结构栅氧制备方法及碳化硅MOS结构制备方法与流程

本发明实施例涉及半导体技术领域，尤其涉及一种碳化硅mos结构栅氧制备方法及碳化硅mos结构制备方法。

背景技术：

碳化硅是目前发展最成熟的宽禁带半导体材料，与其他半导体材料相比，碳化硅具有高禁带宽度、高饱和电子漂移速度、高击穿强度、低介电常数和高热导率等优点。因此，碳化硅在高温、高频率、高功率的应用场合是极为理想的材料。在同样的耐压和电流条件下，碳化硅器件的漂移区电阻要比硅低200倍，即使高耐压的碳化硅mosfet的导通压降，也比单极型、双极型硅器件低得多。而且，碳化硅器件的开关时间可达10ns级。

然而，碳化硅器件一直存在沟道迁移率低的问题，这一问题主要是由于碳化硅mos结构中氧栅的晶格结构与高界面态密度引起的，所以，碳化硅mos结构中栅氧制备方式及相应的氧化后处理工艺是限制碳化硅基mosfet器件性能的关键步骤。

目前，还没有一种方法可以有效改善碳化硅mos结构中氧栅的晶格结构与界面态密度，提高碳化硅器件的沟道迁移率。

技术实现要素：

为了解决现有技术中存在的问题，本发明实施例提供一种碳化硅mos结构栅氧制备方法及碳化硅mos结构制备方法。

一方面，本发明实施例提供一种碳化硅mos结构栅氧制备方法，包括：

s10、在第一腔室中将碳化硅外延片通入温度为t1的硅烷气氛中t1分钟，使所述碳化硅表面形成硅膜层；

s20、在第二腔室中，将所述硅膜层在温度为t2的氧气氛中进行热氧化，氧化时长为t2分钟，使硅膜层氧化成二氧化硅层；

s30、重复s10和s20，直到所述二氧化硅层的厚度达到预设阈值。

另一方面，本发明实施例提供一种碳化硅mos结构制备方法，包括：

制备碳化硅外延片；

利用上述碳化硅mos结构栅氧制备方法，在所述碳化硅外延片表面制作二氧化硅层；

在所述二氧化硅层表面用低压力化学气相沉积法淀积一层多晶硅或栅金属。

本发明实施例提供的碳化硅mos结构栅氧制备方法及碳化硅mos结构制备方法，通过重复形成硅膜和将硅膜氧化成二氧化硅的过程，直到二氧化硅的厚度达到预设阈值，提高了碳化硅mos结构栅氧的氧化程度，改善了sic/sio2界面态密度，从而提高了碳化硅器件mos结构的沟道迁移率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的碳化硅mos结构栅氧制备方法流程示意图；

图2为本发明实施例提供的另一碳化硅mos结构栅氧制备方法流程示意图

图3为本发明实施例提供的碳化硅mos结构制备方法流程示意图；

图4为本发明实施例提供的沟槽型碳化硅mos结构示意图；

图5为本发明实施例提供的平面型碳化硅mos结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图1为本发明实施例提供的碳化硅mos结构栅氧制备方法流程示意图，如图1所示，包括：

s10、在第一腔室中将碳化硅外延片通入温度为t1的硅烷气氛中t1分钟，使所述碳化硅表面形成硅膜层；

s20、在第二腔室中，将所述硅膜层在温度为t2的氧气氛中进行热氧化，氧化时长为t2分钟，使硅膜层氧化成二氧化硅层；

s30、重复s10和s20，直到所述二氧化硅层的厚度达到预设阈值。

具体地，在制备碳化硅mosfet栅氧时，首先将碳化硅外延片置于第一腔室中，通入一定温度的硅烷气氛中，使硅烷气氛中的硅元素在碳化硅表面形成硅膜层，通过控制时间和硅烷气氛的温度等条件可以调节硅膜层的厚度；

将带有硅膜层的碳化硅外延片置于第二腔室中，并在腔室中通入氧气氛，通过控制氧气氛的温度和时间等条件，使硅膜层氧化成二氧化硅层；

再将碳化硅外延片置于第一腔室中重复生成硅膜层的步骤，在第二腔室中重复将硅膜层氧化成二氧化硅层的步骤，直到二氧化硅层的厚度达到预设阈值。

本发明实施例提供的方法，通过重复形成硅膜和将硅膜氧化成二氧化硅的过程，直到二氧化硅的厚度达到预设阈值，提高了碳化硅mos结构中栅氧的氧化程度，改善了sic/sio2界面态密度，从而提高了碳化硅器件mos结构的沟道迁移率和可靠性。

在上述实施例的基础上，进一步地，所述第一腔室和第二腔室位于同一炉体中，且互相导通。

第一腔室和第二腔室位于同一炉体中并且互相导通，则碳化硅外延片表面形成硅膜层转移到第二腔室的过程中避免了硅膜层与外部空气的接触，避免硅膜层被外部污染源破坏，进一步提高了碳化硅mos结构栅氧的氧化程度，改善了sic/sio2界面态密度，从而提高了碳化硅器件mos结构的沟道迁移率和可靠性。

在上述实施例的基础上，优选的，所述t1的范围为：500℃≤t1≤900℃；所述t1的范围为：20≤t1≤40。

在上述实施例的基础上，优选的，所述t2的范围为：750℃≤t2≤1100℃；所述t2的范围为：30≤t2≤50。

图2为本发明实施例提供的另一碳化硅mos结构栅氧制备方法流程示意图，如图2所示，方法包括：

s00、将碳化硅外延片的碳化硅表面进行标准rca清洗并在温度为t3的干氧环境中氧化t3分钟，保持t3温度在氮气环境中退火t4分钟，自然冷却至室温。

s10、在第一腔室中将碳化硅外延片通入温度为t1的硅烷气氛中t1分钟，使所述碳化硅表面形成硅膜层；

s20、在第二腔室中，将所述硅膜层在温度为t2的氧气氛中进行热氧化，氧化时长为t2分钟，使硅膜层氧化成二氧化硅层；

s30、重复s10和s20，直到所述二氧化硅层的厚度达到预设阈值。

将碳化硅外延片的碳化硅表面进行标准rca清洗，并在一定温度的干氧环境中进行氧化，通过控制氧气的温度和氧化时长控制氧化程度；再在与氧化温度相同的温度的氮气环境中退火一定时长，然后使碳化硅外延片自然冷却至室温。通过高度清洁碳化硅表面并低温退火，消除了碳化硅表面的污染物并在其表面生成一层几纳米厚的硅，提高了碳化硅和硅之间的界面态效果。

在上述实施例的基础上，优选的，所述t3的范围为：1000℃≤t3≤1200℃；所述t3的范围为：100≤t3≤120；所述t4的范围为：30≤t4≤50。

在上述各实施例的基础上，优选的，所述硅烷气氛中硅烷的体积分数为10～30％。

图3为本发明实施例提供的碳化硅mos结构制备方法流程示意图，如图3所示，方法包括：

步骤100、制备碳化硅外延片；

步骤200、利用上述各实施例提供的碳化硅mos结构栅氧制备方法，在所述碳化硅外延片表面制作二氧化硅层；

步骤300、在所述二氧化硅层表面用低压力化学气相沉积法淀积一层多晶硅或栅金属。

本发明实施例提供的碳化硅mos结构制备方法，首先制备碳化硅外延片，制备碳化硅外延片的方法为现有技术，此处不再赘述；

然后利用上述各实施例中提供的方法在所述碳化硅外延片表面制作二氧化硅层；

在二氧化硅层的厚度达到预设阈值时，在所述二氧化硅层表面用低压力化学气相沉积法淀积一层多晶硅或栅金属；用低压力化学气相沉积法淀积一层多晶硅或栅金属的方法为现有技术，此处不再赘述。

本发明实施例提供的方法，通过重复形成硅膜和将硅膜氧化成二氧化硅的过程，直到二氧化硅的厚度达到预设阈值，提高了碳化硅mos结构中栅氧的氧化程度，改善了sic/sio2界面态密度，从而提高了碳化硅器件的沟道迁移率和可靠性。

图4为本发明实施例提供的沟槽型碳化硅mos结构示意图，图5为本发明实施例提供的平面型碳化硅mos结构示意图，如图4和图5所示，碳化硅mos结构包括：衬底1、碳化硅外延层2、二氧化硅层3以及多晶硅或栅金属层4；所述衬底1、碳化硅外延层2、二氧化硅层3以及多晶硅或栅金属层4采用上述实施例中碳化硅mos结构制备方法所述的方法加工制成。

具体地，本发明实施例提供一种碳化硅mos结构制备方法如下：

步骤1：定义碳化硅外延晶圆底材的制程，并加工止于待栅氧化的步骤，具体操作属于现有技术，在此不再赘述，得到衬底1和碳化硅外延层2；

步骤2：首先对碳化硅表面进行标准rca清洗，然后在1000℃干氧环境中氧化120min，保持氧化温度在氮气环境中退火30min，自然冷却至室温。

步骤3：将经过步骤2处理的碳化硅外延片于0.5～1乇的真空度、500℃的硅烷气氛中处理40min，得到几个或十几个纳米的薄层硅，优选地，硅烷的体积分数为30％；所述乇为压强单元，1乇约等于133.3224pa；所述薄层硅为硅膜层。

步骤4：将经过步骤3处理的碳化硅外延片直接转入同一炉体的另一腔室中对碳化硅表面的硅进行热氧化，在850℃的氧气氛中处理50min，得到一层薄的二氧化硅。

步骤5：再重复步骤3和步骤4，直到二氧化硅的厚度达到预设阈值，得到二氧化硅层3。

步骤6：在步骤5完成之后在其表面用低压力化学气相沉积法淀积一层多晶硅或栅金属，得到多晶硅或栅金属层4。

本发明实施例还提供一种碳化硅mos结构制备方法如下：

步骤1：定义碳化硅外延晶圆底材mosfet的制程，并加工止于待栅氧化的步骤，具体操作属于现有技术，在此不再赘述，得到衬底1和碳化硅外延层2。

步骤2：首先对碳化硅表面进行标准rca清洗，然后在1100℃干氧环境中氧化110min，保持氧化温度在氮气环境中退火40min，自然冷却至室温。

步骤3：将经过步骤2处理的碳化硅外延片于0.5～1乇的真空度、700℃的硅烷气氛中处理30min，得到几个或十几个纳米的薄层硅，优选地，硅烷的体积分数为40％；所述乇为压强单元，1乇约等于133.3224pa。

步骤4：将经过步骤3处理的碳化硅外延片直接转入同一炉体的另一腔室中对碳化硅表面的硅进行热氧化，在950℃的氧气氛中处理40min，得到一层薄的二氧化硅。

步骤5：再重复步骤3和步骤4，直到二氧化硅的厚度达到预设阈值，得到二氧化硅层3。

步骤6：在步骤5完成之后在其表面用低压力化学气相沉积法淀积一层多晶硅或栅金属，得到多晶硅或栅金属层4。

本发明实施例还提供一种碳化硅mos结构制备方法如下：

步骤1：定义碳化硅外延晶圆底材mosfet的制程，并加工止于待栅氧化的步骤，具体操作属于现有技术，在此不再赘述，得到衬底1和碳化硅外延层2。

步骤2：首先对碳化硅表面进行标准rca清洗，然后在1200℃干氧环境中氧化100min，保持氧化温度在氮气环境中退火50min，自然冷却至室温。

步骤3：将经过步骤2处理的碳化硅外延片于0.5～1乇的真空度、900℃的硅烷气氛中处理20min，得到几个或十几个纳米的薄层硅，优选地，硅烷的体积分数为50％；所述乇为压强单元，1乇约等于133.3224pa。

步骤4：将经过步骤3处理的碳化硅外延片直接转入同一炉体另一腔室中对碳化硅表面的硅进行热氧化，在1100℃的氧气氛中处理30min，得到一层薄的二氧化硅。

步骤5：再重复步骤3和步骤4，直到二氧化硅的厚度达到预设阈值，得到二氧化硅层3。

步骤6：在步骤5完成之后在其表面用低压力化学气相沉积法淀积一层多晶硅或栅金属，得到多晶硅或栅金属层4。

本发明实施例还提供一种碳化硅mos结构制备方法如下：

步骤1：定义碳化硅外延晶圆底材mosfet的制程，并加工止于待栅氧化的步骤，具体操作属于现有技术，在此不再赘述，得到衬底1和碳化硅外延层2。

步骤2：首先对碳化硅表面进行标准rca清洗，然后在1000℃干氧环境中氧化120min，保持氧化温度在氮气环境中退火30min，自然冷却至室温。

步骤3：将经过步骤2处理的碳化硅外延片于0.5～1乇的真空度、500℃的硅烷气氛中处理40min，得到几个或十几个纳米的薄层硅，优选地，硅烷的体积分数为30％；所述乇为压强单元，1乇约等于133.3224pa。

步骤4：将经过步骤3处理的碳化硅外延片直接转入同一炉体的另一腔室中对碳化硅表面的硅进行热氧化，在750℃的氧气氛中处理50min，得到一层薄的二氧化硅。

步骤5：再重复步骤3和步骤4，直到二氧化硅的厚度达到预设阈值，得到二氧化硅层3。

步骤6：在步骤5完成之后在其表面用低压力化学气相沉积法淀积一层多晶硅或栅金属，得到多晶硅或栅金属层4。

本发明实施例提供的的碳化硅mos结构制备方法，改善了sic/sio2界面态，得到了高质量的mos结构；通过高度清洁碳化硅表面并低温退火，使碳化硅的表面生长几纳米左右厚的硅，且碳化硅与硅的界面态可以达到较理想的效果；利用炉体的多腔室设计，避免碳化硅表面上的硅被其他污染源破坏，在生长薄层硅完成之后直接转入同一炉体的另一腔室在低温条件下对硅进行热氧化，得到高质量的mos结构；通过重复步骤2和步骤3，得到合适厚度的栅氧(二氧化硅)，经过本发明实施例提供的方法处理的得到的sic/sio2界面态密度的到改善，从而提高碳化硅器件的沟道迁移率和可靠性。

以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性的劳动的情况下，即可以理解并实施。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到各实施方式可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件处理器实现某些功能模块。基于这样的理解，上述技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品可以存储在计算机可读存储介质中，如rom/ram、磁碟、光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行各个实施例或者实施例的某些部分所述的方法。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。