使用金属箔将太阳能电池金属化的制作方法

本文所述主题的实施例整体涉及太阳能电池。更具体地讲，所述主题的实施例涉及太阳能电池制造工艺和结构。

背景技术：

太阳能电池是为人们所熟知的用于将太阳辐射转换成电能的装置。太阳能电池具有正面和与正面相背对的背面，所述正面在正常操作期间面向太阳以收集太阳辐射。照射在太阳能电池上的太阳辐射产生可用于为外部电路(诸如负载)供电的电荷。外部电路可以通过连接到太阳能电池掺杂区的金属指来从太阳能电池接收电流。

技术实现要素：

在一个实施例中，在太阳能电池结构的表面上形成电介质垫片。在电介质垫片上和太阳能电池结构的被电介质垫片暴露的表面上形成金属层。将金属箔放置在金属层上。使用激光束将金属箔焊接到金属层。还使用激光束来图案化金属箔。激光束烧蚀金属箔和金属层在电介质垫片上方的部分。金属箔的激光烧蚀将金属箔切割成单独的p型金属指和n型金属指。

本领域的技术人员在阅读包括附图和权利要求书的本公开全文之后，本公开的这些和其他特征对于他们而言将是显而易见的。

附图说明

当结合以下附图考虑时，通过参见具体实施方式和权利要求书可以更完全地理解所述主题，其中在所有附图中，类似的附图标记是指类似的元件。附图未按比例绘制。

图1至图7为剖视图，它们示意性地示出根据本公开实施例的制造太阳能电池的方法。

图8是根据本公开实施例的未图案化的金属箔的平面图。

图9是根据本公开实施例的图8的金属箔在图案化之后的平面图。

图10是根据本发明实施例的制造太阳能电池的方法的流程图。

图11和图12为剖视图，它们示意性地示出根据本公开实施例的金属箔模块级图案化。

图13和图14为剖视图，它们示意性地示出根据本公开实施例的金属箔与图案化金属层的一起使用。

具体实施方式

以下具体实施方式本质上只是例证性的，并非意图限制所述主题的实施例或此类实施例的应用和用途。如本文所用，词语“示例性”意指“作为例子、实例或举例说明”。本文描述为示例性的任何实施未必理解为相比其它实施优选的或有利的。此外，并不意图受前述技术领域、背景技术、发明内容或以下具体实施方式中提出的任何明示或暗示的理论的约束。

本说明书包括对“一个实施例”或“实施例”的提及。短语“在一个实施例中”或“在实施例中”的出现不一定是指同一实施例。特定的特征、结构或特性可以任何与本公开一致的合适方式加以组合。

在本发明中，提供了许多具体细节，诸如结构和方法的例子，以提供对实施例的全面理解。然而，本领域的技术人员将会认识到，这些实施例可在没有所述具体细节中的一者或多者的情况下实施。在其他情况下，未示出或描述为人们所熟知的细节，以避免实施例的方面模糊不清。

图1至图7为剖视图，它们示意性地示出根据本公开实施例的制造太阳能电池的方法。所制造的太阳能电池是完全背接触式太阳能电池，即n型掺杂区和p型掺杂区以及连接到n型掺杂区和p型掺杂区的金属指都在太阳能电池的背面上。

首先参见图1，其中示出了根据本公开实施例的太阳能电池结构100。在图1的例子中，太阳能电池结构100包括多个交替的n型掺杂区和p型掺杂区，这些掺杂区可以形成在太阳能电池基板101内或者太阳能电池基板101外部。例如，可以通过使n型掺杂剂和p型掺杂剂分别扩散进入太阳能电池基板101来形成n型掺杂区和p型掺杂区。在另一个例子中，n型掺杂区和p型掺杂区在形成在太阳能电池基板101上的单独材料层(诸如多晶硅)中形成。在该例子中，n型掺杂物和p型掺杂物被扩散到多晶硅(其可以有沟槽或可以没有沟槽)中以形成在多晶硅而不是太阳电池基板101中的n型掺杂区和p型掺杂区。例如，太阳能电池基板101可包括单晶硅片。

在图1的例子中，标记“n”和“p”示意性地表示n型掺杂区和p型掺杂区或到n型掺杂区和p型掺杂区的电连接。更具体地讲，标记“n”示意性地表示暴露的n型掺杂区或者n型掺杂区的暴露的金属连接。类似地，标记“p”示意性地表示暴露的p型掺杂区或者p型掺杂区的暴露的金属连接。太阳能电池结构100可因此表示所制造太阳能电池在到n型掺杂区和p型掺杂区的接触孔已经形成之后，但在将金属触指形成到n型掺杂区和p型掺杂区的金属化过程之前的结构。

在图1的例子中，n型掺杂区和p型掺杂区在太阳能电池结构100的背面上。太阳能电池结构100的背面与正面相背对，其正面在正常工作期间面向太阳以收集太阳辐射。

接着参考图2，多个电介质垫片103形成在太阳能电池结构100的表面上。在图2的例子中，电介质垫片103形成在太阳能电池结构100表面上的区域上，所述区域位于相邻的p型掺杂区和n型掺杂区之间界面上方。如可以理解的，电介质垫片103也可以形成在其他区域上，具体取决于太阳能电池结构100的细节。

在一个实施例中，通过丝网印刷将电介质垫片103印刷在太阳能电池结构100上。也可以使用其他电介质形成工艺形成电介质垫片103，包括通过旋涂和沉积(例如，化学气相沉积)，然后通过图案化(例如，掩膜和蚀刻)。电介质垫片103可包含具有光学吸收剂、可锻电介质等的电介质材料。作为具体例子，电介质垫片103可包含丝网印刷在太阳能电池结构100上达1至10微米厚度的聚酰亚胺(例如，具有二氧化钛过滤器)。一般来讲，电介质垫片103可被构造成具有将阻挡(例如，通过吸收或反射)在金属箔105图案化过程中采用的激光束(参见图5)的厚度和组成，并且与被用来形成上覆金属层的工艺相容(例如，图3，金属层104)。

在图2的例子中，每个电介质垫片103形成在太阳能电池结构100的n型掺杂区和p型掺杂区上方。如在下文将更显而易见的，在随后的金属化工艺中，当金属箔在太阳能电池结构100上时，使用激光来使金属箔图案化。电介质垫片103有利地阻挡激光束，所述激光束可在金属箔105图案化期间透入到太阳能电池结构100。

如图3所示，金属层104形成在太阳能电池结构100上。金属层104为随后形成的金属指提供到n型掺杂区和p型掺杂区的电连接。在一个实施例中，金属层104包括在电介质垫片103上方适形的连续毯覆金属涂层。例如，金属层104可包含通过溅射、沉积或一些其他工艺在电介质垫片103、n型掺杂区、p型掺杂区上形成100埃至5微米(例如，0.3微米至1微米)厚度的铝。一般来讲，金属层104包含可结合到金属箔105的材料。例如，金属层104可以包含铝以促进焊接到铝金属箔105。在图3中，金属层104仍然使n型掺杂区电连接到p型掺杂区。金属层104随后被图案化以在金属箔105图案化期间使n型掺杂区与p型掺杂区分离。

接着参考图4，金属箔105大致位于太阳能电池结构100的上方。金属箔105之所以是“金属箔”，是因为它包括预制金属薄片。图8是金属箔105在制造工艺的该阶段的平面图。如图8所示，金属箔105未被图案化。如在下文将更显而易见的，在金属箔105已被贴合到金属层104之后，金属箔105随后被图案化以形成太阳能电池的金属指。

继续图5，金属箔105被放置在太阳电池结构100上。不同于沉积或涂覆在太阳能电池结构100上的金属，金属箔105是预制片材。在一个实施例中，金属箔105包括铝片。金属箔105被放置在太阳能电池结构100上，因为它没有形成在太阳能电池结构100上。在一个实施例中，金属箔105通过贴合到金属层104被放置在太阳能电池结构100上。贴合工艺可以包括将金属箔105压到金属层104，使得金属箔105与金属层104紧密接触。贴合工艺可能会导致金属箔105在金属层104的特征结构(例如，凸耳)上方适形。可使用真空将金属箔105压贴到金属层104，以在焊接期间获得它们之间小于10微米的间隙。还可以使用压板在焊接期间将金属箔105压贴到金属层104；之后移除压板以便进行激光烧蚀。

图6示出了在金属箔105电结合到金属层104之后的太阳能电池结构100。在图6的例子中，在将金属箔105压贴到金属层104时，通过将激光束指向金属箔105来使金属箔105焊接到金属层104。激光焊接工艺产生使金属箔105电结合到金属层104的焊缝106。因为金属箔105在制造工艺的该阶段未被图案化，所以金属箔105仍然电连接太阳能电池结构100的n型掺杂区和p型掺杂区。

继续图7，金属箔105被图案化以形成金属指108和109。在一个实施例中，通过烧蚀金属箔105和金属层104在电介质垫片103上方的部分，来使金属箔105图案化。可以使用激光束来烧蚀金属箔105和金属层104。激光烧蚀工艺可将金属箔105切割(见107)成至少两个单独的块，其中一块是电连接到n型掺杂区的金属指108，另一块是电连接到p型掺杂区的金属指109。激光烧蚀工艺切断了n型掺杂区和p型掺杂区通过金属层104和金属箔105的电连接。金属箔105与金属层104因此在同一步骤中被图案化，有利地降低了制造成本。

图9是根据本公开实施例的图7的图案化金属箔105的平面图。图9示出切口107使金属指108与金属指109在物理上分离。在图9的例子中，金属箔105被图案化以形成相互交叉的金属指108和109。也可以采用其他金属指设计，具体取决于太阳能电池。

转到图7，激光烧蚀工艺使用将金属箔105和金属层104从头到尾切割的激光束。根据激光烧蚀工艺的加工窗口，激光束也可以切割电介质垫片103的一些部分而不是将其切穿。电介质垫片103有利地阻挡原本可能到达并损坏太阳能电池结构100的激光束。电介质垫片103也有利地保护太阳能电池结构100免受机械损坏，诸如在金属箔105贴合到金属层104期间。电介质垫片103可留在完成的太阳能电池中，所以它们的使用不一定涉及在图案化金属箔105之后附加的去除步骤。

根据上述内容，本领域的普通技术人员将会知道，本公开的实施例提供了迄今未实现的其他优点。比起涉及沉积或电镀金属指的金属化工艺，使用金属箔来形成金属指的成本效益相对较高。电介质垫片103允许激光焊接工艺和激光烧蚀工艺在原位执行，即，在相同加工工位上逐项执行。电介质垫片103也能够使用激光束来在金属箔105在太阳能电池结构100上时图案化金属箔105。如可以理解的，比起以微米级精度放置和对齐独立的金属指条，金属箔片材的放置和对齐要容易得多。不同于蚀刻和其它基于化学的图案化工艺，使用激光来图案化金属箔105使得在所制造的太阳能电池上形成的残余物的量最小化。

但应进一步注意的是，在图9的例子中，金属层104与金属箔105被同时图案化。这有利地消除了在激光焊接和烧蚀之前将金属层104图案化以分离p型掺杂区和n型掺杂区的无关步骤。

图10示出根据本公开实施例的制造太阳能电池的方法的流程图。图10的方法可以在具有n型掺杂区和p型掺杂区的太阳能电池结构上执行。图10的方法可在太阳能电池制造期间以单元级执行，或者在太阳能电池与其他太阳能电池连接或一起封装时以模块级执行。注意，在各种实施例中，图10的方法可包括比图示更多或更少的框。

在图10的方法中，多个电介质垫片形成在太阳能电池结构的表面上(步骤201)。每个电介质垫片可形成在太阳能电池结构的n型掺杂区和p型掺杂区上方。例如，可通过丝网印刷、旋涂或通过沉积与图案化来形成电介质垫片。其后，金属层形成在电介质垫片上和太阳能电池结构的暴露在电介质垫片之间的表面上(步骤202)。在一个实施例中，金属层是通过毯覆式沉积形成的连续适形层。金属箔被贴合到金属层(步骤203)。在一个实施例中，使用激光束将金属箔焊接到金属层(步骤204)。应当注意，也可采用基于非激光的焊接技术来将金属箔焊接到金属层。激光束还可以用于烧蚀金属箔和金属层在电介质垫片上方的部分(步骤205)。激光烧蚀工艺将金属箔图案化成独立的金属指，并且将金属层图案化以分离p型掺杂区和n型掺杂区。

金属箔105的图案化可在所制造的太阳能电池与其他太阳能电池一起封装时以模块级执行。在该例子中，金属箔105可被贴合到多个太阳能电池结构100的金属层104。这在图11中示意性地示出，其中金属箔105a被贴合到两个或更多个太阳能电池结构100的金属层104。金属箔105a与上述金属箔105相同，不同的是金属箔105a跨越不止一个太阳能电池结构100。如图12所示，可在金属箔105a在太阳能电池结构100上时通过激光烧蚀将其图案化。如上所述，激光烧蚀工艺可将金属箔105a图案化成金属指108和109。可在图案化金属箔105a之后将其切割以在物理上分离太阳能电池结构100。在图案化之后，还可将金属箔105a的一些部分保留在适当的位置，以将相邻的太阳能电池结构100串接起来。

在一个实施例中，金属箔105a的激光烧蚀保留了相邻太阳能电池结构100的相反类型金属指之间的连接。这在图12的例子中示意性地示出，其中金属箔105被图案化，使一个太阳能电池结构100的p型金属指109保持连接到相邻太阳能电池结构100的n型金属指108，从而使太阳能电池结构100串联地电连接。这有利地节省了模块级制造步骤，因为金属箔105a的图案化可与太阳能电池结构100的串接相结合。

如所说明的，金属层104可形成为电连接p型掺杂区和n型掺杂区的金属毯覆层，并且随后在金属箔105图案化期间被图案化以使p型掺杂区和n型掺杂区分离。在其他实施例中，根据制造工艺的细节，金属层104可在激光焊接和烧蚀之前被图案化。这在图13中示意性地示出，其中金属层104形成在p型掺杂区和n型掺杂区上，而没有电连接它们。例如，可通过毯覆式沉积在电介质垫片103、n型掺杂区以及p型掺杂区上方沉积金属层104，然后将该层图案化(例如，通过掩膜和蚀刻)来使n型掺杂区与p型掺杂区分离，如图13所示。然后可将金属箔105放置在图案化的金属层104和电介质垫片103上，然后激光焊接到金属层104，再通过激光烧蚀将该金属箔图案化，如上所述。图14示意性地示出在该实施例中激光烧蚀工艺之后的n型金属指108和p型金属指109。该激光烧蚀工艺将金属箔105切穿，但在电介质垫片103处停止。

公开了用于制造太阳能电池的方法和结构。虽然已提供具体实施例，但应理解，这些实施例是为了进行示意性的说明而非限制目的。许多另外的实施例对于阅读本公开的本领域的技术人员而言将是显而易见的。

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