结型场效应晶体管及其制作方法与流程

文档序号:14476168阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种结型场效应晶体管包括N型衬底、N型外延层、在N型外延层中形成的埋层式的P型栅极区域、介质层、栅极金属、源极金属、及漏极金属,P型栅极区域包括第一部分、第二部分及第三部分,第一部分的平面形状为矩形环图案,第一部分还贯穿N型外延层并延伸至P型外延层表面,第二部分的平面形状为位于第一部分的环形之中且沿矩形环的长度方向延伸的多个条状图案,第二部分还贯穿N型外延层并延伸至P型外延层表面,第三部分的平面形状为矩形图案,第三部分位于N型外延层表面及第二部分表面,矩形图案连接于第一部分的矩形环的两个长边之间且覆盖第二部分的中央区域及其第二部分的多个条形图案之间的N型外延层。

技术研发人员:不公告发明人
受保护的技术使用者:深圳市晶特智造科技有限公司
技术研发日:2017.12.21
技术公布日:2018.05.18
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