技术总结
本发明涉及抛光技术领域，具体而言，涉及气压监控方法、装置及电子设备，气压监控方法通过第一压力传感器检测压力平衡部件内的第一压力信息，通过第二压力传感器检测抛光气管内的第二压力信息，信息汇总板将第一压力信息和第二压力信息按照设定的数据格式进行汇总，得到汇总压力信号，并将汇总压力信号通过通讯单元发送至总控中心，通讯单元接收由总控中心发送的气压调节信息，信息汇总板根据气压调节信息控制压力平衡部件和供气部件分别调节压力平衡部件内的第一压力和抛光气管内的第二压力。该方法能够对晶圆的抛光气压进行精准监控。 1
技术研发人员：刘一鸣;佀海燕;刘福强;侯为萍;
受保护的技术使用者：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）;
技术研发日：2017.12.26
技术公布日：2018.06.15