一种可拆卸晶圆直线滑轨的制作方法

本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种可拆卸晶圆直线滑轨。

背景技术：

晶圆作为制造半导体芯片的基本材料，广泛应用于半导体行业中；其中晶圆直线滑轨的作用尤为突出，但现有的滑轨均为一体的，滑块轴承在滑轨上滑动时，滑块轴承内部滚珠会摩擦滑轨，使滑轨与滑块轴承连接处磨损，从而影响使用的技术效果，更换滑轨与滑块轴承连接部位的同时需要更换整个滑轨，这样浪费材料、增加了制作成本并影响直线滑轨使用的技术效果；现有的直线滑轨均会额外安置限位块，浪费材料的同时增加了制造的成本；并且现有的滑块和滑轨之间用滚动轴承相连，滚动轴承的造价高，制造工艺和结构复杂。该类设备结构复杂、成本高、不适合中低端半导体设备。故如何在更换时降低晶圆直线滑轨的制作成本，避免材料的浪费是目前亟需解决的技术问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种结构简单、使用方便、制造成本低、易于操作的可拆卸晶圆直线滑轨。为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种可拆卸晶圆直线滑轨，包括滑块和滑轨，所述滑块呈长方体形，滑块下部的两侧分别开设有半圆弧形通孔，滑块通过半圆弧形通孔与滑轨连接，所述滑轨包括牙型凸块和滑轨底座，所述牙型凸块上部呈半圆弧形、下部呈矩形，牙型凸块的下部开设有第一圆形通孔，牙型凸块的底部开设有倒“V”字形的凹槽，所述第一圆形通孔位于倒“V”字形的凹槽的上部，所述滑轨底座呈“凹”字形，滑轨底座上部的两端分别开设有矩形凹槽，所述矩形凹槽的底部设有与倒“V”字形的凹槽相对应的“V”字形凸块，牙型凸块位于矩形凹槽内，滑轨底座的两侧端面分别开设有两个圆形螺孔，所述圆形螺孔位于矩形凹槽的下部；滑块和滑轨的一侧面固定连接有上盖，滑块和滑轨的另一侧面固定连接有固定板，所述上盖的两侧分别开设有盲孔和第一螺纹孔，所述固定板的下部两侧分别开设有第二螺纹孔。

进一步地，所述半圆弧形通孔与牙型凸块之间进行滑动连接，半圆弧形通孔与牙型凸块之间为过渡配合。

进一步地，所述固定板的上部两侧分别布设有圆柱管形的导管，所述导管穿过第一圆形通孔连接至盲孔内。

进一步地，所述第一螺纹孔和第二螺纹孔分别对应滑轨底座两侧端面上的圆形螺孔，第一螺纹孔和滑轨底座一侧端面上的圆形螺孔之间，第二螺纹孔和滑轨底座另一侧端面上的圆形螺孔之间分别通过螺钉连接。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过滑轨底座和牙型凸块的连接实现了一种可拆卸式的滑轨，当牙型凸块上部与滑块滑动连接时造成的磨损或损坏可直接更换牙型凸块，无需更换整个滑轨，从而节省了材料并减少了工作成本；且滑轨底座与牙型凸块连接处分别设有“V”字形的凸块和倒“V”字形的凹槽，将牙型凸块放置到滑轨底座时可避免左右的晃动，减轻两者之间的磨损；滑块下部的半圆弧形通孔直接接触牙型凸块，无需套合轴承，滑轨底座、牙型凸块与滑块用固定板和上盖进行固定，拆卸方便，提高了使用性能，简化了晶圆直线滑轨的结构，适用于各种半导体设备。

附图说明

图1是本实用新型一种可拆卸晶圆直线滑轨的结构示意图。

图2是本实用新型一种可拆卸晶圆直线滑轨的剖切的结构示意图。

图3是本实用新型一种可拆卸晶圆直线滑轨的滑轨底座的结构示意图。

图4是本实用新型一种可拆卸晶圆直线滑轨的牙型凸块的结构示意图。

图5是本实用新型一种可拆卸晶圆直线滑轨的滑块的结构示意图。

图6是本实用新型一种可拆卸晶圆直线滑轨的上盖的结构示意图。

图7是本实用新型一种可拆卸晶圆直线滑轨的固定板的结构示意图。

图8是本实用新型一种可拆卸晶圆直线滑轨的上盖和固定板对接的结构示意图。

附图中标号为：1为滑块，2为牙型凸块，3为第一圆形通孔，4为滑轨底座，5为矩形凹槽，6为圆形螺孔，7为螺钉，9为盲孔，10为上盖，11为固定板,12为导管,13为第一螺纹孔，14为半圆弧形通孔，15为第二螺纹孔。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明：

如图1～图8所示，一种可拆卸晶圆直线滑轨，包括滑块1和滑轨，所述滑块1呈长方体形，滑块1下部的两侧分别开设有半圆弧形通孔14，滑块通过半圆弧形通孔14与滑轨连接，所述滑轨包括牙型凸块2和滑轨底座4，所述牙型凸块2上部呈半圆弧形、下部呈矩形，牙型凸块2的下部开设有第一圆形通孔3，牙型凸块2的底部开设有倒“V”字形的凹槽，所述第一圆形通孔3位于倒“V”字形的凹槽的上部，牙型凸块2与滑块1滑动连接，牙型凸块2与滑块1过渡配合，所述滑轨底座4呈“凹”字形，滑轨底座4上部的两端分别开设有矩形凹槽5，所述矩形凹槽5的底部设有与倒“V”字形的凹槽相对应的“V”字形凸块，牙型凸块2位于矩形凹槽5内，滑轨底座4的两侧端面分别开设有两个圆形螺孔6，所述圆形螺孔6位于矩形凹槽5的下部；滑块1和滑轨的一侧面固定连接有上盖10，滑块1和滑轨的另一侧面固定连接有固定板11，所述上盖10的两侧分别开设有盲孔9和第一螺纹孔13，所述固定板11的上部两侧分别布设有圆柱管形的导管12，所述导管12穿过第一圆形通孔3连接至盲孔9，固定板11的下部两侧分别开设有第二螺纹孔15，所述第一螺纹孔13和第二螺纹孔15分别对应滑轨底座4两侧端面上的圆形螺孔6，第一螺纹孔13和滑轨底座4一侧端面上的圆形螺孔6之间，第二螺纹孔15和滑轨底座4另一侧端面上的圆形螺孔6之间分别通过螺钉7连接。

使用时，将两个牙型凸块2分别安装至滑轨底座4两端上部的矩形凹槽5内，手动将滑块1滑入到牙型凸块2上部，螺钉7穿过第一螺纹孔13至滑轨底座4上的圆形螺孔6内，将上盖10固定在滑块1和滑轨的一侧面上；将固定板11上的导管12穿过第一圆形通孔3连接至上盖10的盲孔9内，再将螺钉7穿过第二螺纹孔15至滑轨底座4上的圆形螺孔6内，使固定板11固定在滑块1和滑轨的另一侧面上，从而将牙型凸块2和滑轨底座4夹紧固定，滑块1可在牙型凸块2上自由滑动。

以上所述之实施例，只是本实用新型的较佳实施例而已，并非限制本实用新型的实施范围，故凡依本实用新型专利范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均应包括于本实用新型申请专利范围内。