技术总结
本实用新型涉及一种可拆卸晶圆直线滑轨，包括滑块和滑轨，所述滑块下部的两侧分别开设有半圆弧形通孔，滑块通过半圆弧形通孔与滑轨连接，所述滑轨包括牙型凸块和滑轨底座，所述牙型凸块的下部开设有第一圆形通孔，牙型凸块的底部开设有倒“V”字形的凹槽，滑轨底座呈“凹”字形，滑轨底座上部的两端分别开设有矩形凹槽，所述矩形凹槽的底部设有与倒“V”字形的凹槽相对应的“V”字形凸块，牙型凸块位于矩形凹槽内，滑轨底座的两侧端面分别开设有两个圆形螺孔，所述圆形螺孔位于矩形凹槽的下部；滑块和滑轨的一侧面固定连接有上盖，滑块和滑轨的另一侧面固定连接有固定板。本实用新型结构简单、使用方便、制造成本低、易于操作。
技术研发人员：张鹏斌;陈鲁;刘涛;马砚忠;杨乐;黄有为;庞芝亮
受保护的技术使用者：深圳中科飞测科技有限公司
文档号码：201720226780
技术研发日：2017.03.09
技术公布日：2017.09.29