1.一种晶圆旋转机构，其特征在于：包括安装座与支撑板，所述安装座与支撑板之间呈垂直设置，所述安装座上设有旋转装置，所述支撑板上设有用于驱动旋转装置的驱动装置，所述旋转装置包括两组PEKK传动轴，所述两组PEKK传动轴成平行安装在安装座上。
2.根据权利要求1所述的晶圆旋转机构，其特征在于：所述安装座上设有用于支撑PEKK传动轴的支撑座，所述支撑座上设有与PEKK传动轴的支撑座配合的PEKK轴承，所述支撑板上设有用于固定PEKK轴承的固定件。
3.根据权利要求2所述的晶圆旋转机构，其特征在于：所述驱动装置包括伺服电机、PEKK传动轴、第一伞状齿轮以及第二伞状齿轮，所述PEKK传动轴的一端与伺服电机连接，另一端连接第一伞状齿轮，所述第一伞状齿轮与第二伞状齿轮配合，所述第二伞状齿轮上设有第一齿轮，所述PEKK传动轴上设有与第一齿轮配合的第二齿轮。
4.根据权利要求3所述的晶圆旋转机构，其特征在于：所述支撑板上设有用于保护伺服电机的电机保护罩，所述电机保护罩上设有用于支撑伺服电机的支撑装置，所述伺服电机与PEKK传动轴之间设有联轴器。
5.根据权利要求4所述的晶圆旋转机构，其特征在于：所述支撑装置包括上板与下板，所述联轴器置于上板与下板之间，所述上板与下板上均与电机保护罩连接，所述上板上设有与伺服电机配合的第一轴承，所述下板上设有与PEKK传动轴配合的第二轴承。
6.根据权利要求5所述的晶圆旋转机构，其特征在于：所述下板与PEKK传动轴之间设有密封垫圈。
7.根据权利要求6所述的晶圆旋转机构，其特征在于：所述支撑板与安装座之间还设有两组支撑肋板。