晶圆旋转机构的制作方法

技术总结
本实用新型公开了晶圆旋转机构，其技术要点是：包括安装座与支撑板，所述安装座与支撑板之间呈垂直设置，所述安装座上设有旋转装置，所述支撑板上设有用于驱动旋转装置的驱动装置，所述旋转装置包括两组PEKK传动轴，所述两组PEKK传动轴成平行安装在安装座上，能够起到提高了腐蚀速率和产品立良率的技术效果。

技术研发人员：葛林五
受保护的技术使用者：上海提牛机电设备有限公司
文档号码：201720286997
技术研发日：2017.03.23
技术公布日：2017.10.20