激光剥离设备及其设备面板载台的制作方法

本实用新型涉及面板的技术领域，特别是涉及一种激光剥离设备及其设备面板载台。

背景技术：

目前，柔性OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示屏已在智能手机、手表和手环等领域获得广泛应用。传统的OLED显示屏采用激光剥离技术进行加工，以实现OLED显示屏的外延片与蓝宝石衬底分离。在OLED显示屏的激光剥离工艺中，需将OLED显示屏的屏体放置于设备面板载台上进行吸附固定。

传统的设备面板载台对产品的吸附固定方式为分区吸附固定方式。然而，上述的吸附固定方式不能完全消除产品与设备面板载台之间形成的气泡，容易造成产品产生褶皱的现象；由于产品产生褶皱的现象，使产品的加工精度较低。

技术实现要素：

基于此，有必要针对传统设备面板载台的吸附固定方式不能完全消除产品与设备面板载台之间形成的气泡、容易造成产品产生褶皱以及产品的加工精度较低的技术问题，提供一种激光剥离设备及其设备面板载台。

一种设备面板载台，包括工作台以及吸附组件；

所述工作台上开设有N个第一凹槽和L个通孔，其中一个所述通孔位于所述工作台的中心处，其他的所述通孔分布于所述工作台的周围；至少一个所述通孔与其中一个所述第一凹槽连通；

所述吸附组件分别与L个所述通孔连通，所述吸附组件按从所述中心到所述周围的顺序依次对L个所述通孔进行抽真空；其中，所述N大于或等于1；所述L大于1。

在其中一个实施例中，所述工作台上还开设有M个第二凹槽，其中所述M 小于所述L，在工作台上增设第二凹槽，可以提高工作台与产品接触的面积，使产品更牢固地吸附于工作台上。

在其中一个实施例中，每个所述第二凹槽与至少一个所述通孔连通，当与第二凹槽连通的通孔被吸附时，第二凹槽同时被吸附，可以避免第二凹槽内的空气对产品产生褶皱现象，使设备面板载台在保证产品的加工精度的前提下使产品更牢固地吸附于工作台上。

在其中一个实施例中，M个所述第二凹槽呈矩形阵列分布于所述工作台上，使加工M个第二凹槽所耗的时间较短，降低了设备面板载台的加工成本。

在其中一个实施例中，相邻两个所述第一凹槽相互连通，使N个所述第一凹槽将所述工作台割分为K个独立区域，每个所述第二凹槽开设于所述独立区域；其中，所述K大于所述N；当其中一个第一凹槽连通的通孔被吸附时，N个第一凹槽将被同时吸附，使产品被设备面板载台上的吸附作用的面积较大，从而使产品在保证加工精度的同时可以更牢固地吸附于设备面板载台上。

在其中一个实施例中，所述N大于所述L。

在其中一个实施例中，所述吸附组件包括抽真空机、L个连接气管和L个气管接头；所述抽真空机用于抽取空气；每个所述连接气管的一端与所述抽真空机连接，另一端与对应的一个所述气管接头连接；每个所述气管接头一一对应位于每个所述通孔内并与所述工作台连接，使抽真空机通过每个连接气管对每个通孔抽真空。

在其中一个实施例中，设备面板载台还包括控制器，所述控制器与所述吸附组件的控制端通信连接，所述控制器用于控制所述吸附组件动作，使所述吸附组件按所述顺序依次对L个所述连接气管进行抽真空。

在其中一个实施例中，设备面板载台还包括吹气组件，所述吹气组件的控制端与所述控制器通信连接，所述吹气组件分别与L个所述连接气管连通，所述控制器还用于控制所述吹气组件分别对L个所述连接气管进行吹气；当产品加工完毕后，控制器控制抽真空机停止动作，且控制器控制吹气组件分别对L个连接气管吹气，这样可以快速从设备面板载台上取出产品，提高产品的加工效率。

一种激光剥离设备，包括上述的设备面板载台。

上述的激光剥离设备及其设备面板载台，将产品放置于工作台上，工作台上开设有N个第一凹槽和L个通孔，其中一个通孔位于工作台的中心处，其他的通孔分布于周围，吸附组件分别与L个通孔连通，吸附组件按从中心到周围的顺序依次对L个通孔进行抽真空，即吸附组件对L个通孔先后抽真空，后抽真空的通孔都被延时抽真空，使工作台的中心到周围的通孔被顺序吸附，使产品的不同区域被分时段吸附于工作台上，这样可以完全消除产品与工作台之间形成的气泡，使产品不易发生褶皱现象；由于至少一个通孔与其中一个第一凹槽连通，当吸附组件对通孔吸附时，吸附组件同时对与通孔连通的第一凹槽进行吸附，可以增大产品被吸附作用的面积，从而使产品更牢固的吸附固定于工作台上，又由于产品不易发生褶皱现象，可以保证产品的加工精度。

附图说明

图1为一个实施例的设备面板载台的结构示意图；

图2为图1所示设备面板载台的局部示意图；

图3为图1所示设备面板载台的局部放大图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方 位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

例如，一种设备面板载台包括工作台以及吸附组件；例如，所述工作台上开设有N个第一凹槽和L个通孔；例如，其中一个所述通孔位于所述工作台的中心处，其他的所述通孔分布于所述周围；例如，至少一个所述通孔与其中一个所述第一凹槽连通；例如，所述吸附组件分别与L个所述通孔连通；例如，所述吸附组件按从所述中心到所述周围的顺序依次对L个所述通孔进行抽真空；例如，其中，所述N大于或等于1；例如，所述L大于1。例如，一种设备面板 载台包括工作台以及吸附组件；所述工作台上开设有N个第一凹槽和L个通孔，其中一个所述通孔位于所述工作台的中心处，其他的所述通孔分布于所述周围；至少一个所述通孔与其中一个所述第一凹槽连通；所述吸附组件分别与L个所述通孔连通，所述吸附组件按从所述中心到所述周围的顺序依次对L个所述通孔进行抽真空；其中，所述N大于或等于1；所述L大于1。

如图1与图2所示，一实施例的设备面板载台10包括工作台100以及吸附组件(图未示)。所述工作台上开设有N个第一凹槽110和L个通孔120。其中一个所述通孔位于所述工作台的中心处，其他的所述通孔分布于所述工作台的周围。至少一个所述通孔与其中一个所述第一凹槽连通；所述吸附组件分别与L个所述通孔连通，所述吸附组件按从所述中心到所述周围的顺序依次对L个所述通孔进行抽真空，即吸附组件对L个通孔先后抽真空，后抽真空的通孔都被延时抽真空，使工作台的中心到周围的通孔被顺序吸附，使产品的不同区域被分时段吸附于工作台上，这样可以完全消除产品与设备面板载台之间形成的气泡，使产品不易发生褶皱现象；其中，所述N大于或等于1；所述L大于1。在本实施例中，1个通孔位于工作台的中心处，另外的(L-1)个通孔分布于工作台上除中心之外的工作台的周围区域。吸附组件按从中心到周围的顺序依次对L个通孔进行抽真空，即吸附组件先对工作台的中心的通孔进行抽真空，然后向周围依次分区域对工作台周围的(L-1)个通孔进行抽真空。吸附组件先固定中心区域有利于防止产品移动，有助于产品的固定。又如，吸附组件为真空吸附组件。例如，(L-1)个通孔可以规则分布于工作台上。又如，(L-1)个通孔呈圆形阵列或矩形阵列分布或其他分布形式。又如，(L-1)个通孔还可以杂乱分布于工作台上。

如图3所示，在其中一个实施例中，所述工作台上还开设有M个第二凹槽130，其中所述M小于所述L。在工作台上增设第二凹槽，可以提高工作台与产品接触的面积，使产品更牢固地吸附于工作台上。在本实施例中，M等于12。

在其中一个实施例中，每个所述第二凹槽与至少一个所述通孔连通。当与第二凹槽连通的通孔被抽真空时，第二凹槽同时被抽真空，可以避免第二凹槽内的空气对产品产生褶皱现象，使设备面板载台在保证产品的加工精度的前提 下使产品更牢固地吸附于工作台上。在本实施例中，每个第二凹槽与两个通孔连通。可以理解，在其他实施例中，每个第二凹槽还可以与一个或三个以上的通孔连通。在其中一个实施例中，M个所述第二凹槽呈矩形阵列分布于所述工作台上，使加工M个第二凹槽所耗的时间较短，降低了工作台载台的加工成本。在其他实施例中，M个第二凹槽还可以呈圆形阵列分布于面板上。例如，每个所述第二凹槽与两个所述通孔连通。当与第二凹槽连通的通孔被抽真空时，第二凹槽同时被抽真空，可以避免第二凹槽内的空气对产品产生褶皱现象，使设备面板载台在保证产品的加工精度的前提下使产品更牢固地吸附于工作台上。M个所述第二凹槽呈矩形阵列分布于所述工作台上，使加工M个第二凹槽所耗的时间较短，降低了设备面板载台的加工成本。

在其中一个实施例中，相邻两个所述第一凹槽相互连通，使N个所述第一凹槽将所述工作台割分为K个独立区域，每个所述第二凹槽开设于所述独立区域；其中，所述K大于所述N。当其中一个第一凹槽连通的通孔被抽真空时，N个第一凹槽将被同时抽真空，使产品被设备面板载台上的真空吸附作用的面积较大，从而使产品在保证加工精度的同时可以更牢固地吸附于设备面板载台上。在其中一个实施例中，所述N大于所述L。

例如，每个所述第二凹槽与两个所述通孔连通。当与第二凹槽连通的通孔被抽真空时，第二凹槽同时被抽真空，可以避免第二凹槽内的空气对产品产生褶皱现象，使设备面板载台在保证产品的加工精度的前提下使产品更牢固地吸附于工作台上。M个所述第二凹槽呈矩形阵列分布于所述工作台上，使加工M个第二凹槽所耗的时间较短，降低了设备面板载台的加工成本。相邻两个所述第一凹槽相互连通，使N个所述第一凹槽将所述工作台割分为K个独立区域，每个所述第二凹槽开设于所述独立区域；其中，所述K大于所述N。当其中一个第一凹槽连通的通孔被抽真空时，N个第一凹槽将被同时抽真空，使产品被设备面板载台上的真空吸附作用的面积较大，从而使产品在保证加工精度的同时可以更牢固地吸附于设备面板载台上。

在其中一个实施例中，所述吸附组件包括抽真空机、L个连接气管和L个气管接头。所述抽真空机用于抽取空气；每个所述连接气管的一端与所述抽真 空机连接，另一端与对应的一个所述气管接头连接；每个所述气管接头一一对应位于每个所述通孔内并与所述工作台连接，使抽真空机通过每个连接气管对每个通孔抽真空。

在其中一个实施例中，设备面板载台还包括控制器，所述控制器与所述抽真空机的控制端通信连接，所述控制器用于控制所述抽真空机动作，使所述抽真空机按所述顺序依次对L个所述连接气管进行抽真空。

在其中一个实施例中，设备面板载台还包括吹气组件，所述吹气组件的控制端与所述控制器通信连接，所述吹气组件分别与L个所述连接气管连通，所述控制器还用于控制所述吹气组件分别对L个所述连接气管进行吹气。当产品加工完毕后，控制器控制抽真空机停止动作，且控制器控制吹气组件分别对L个连接气管吹气，这样可以平稳地从设备面板载台上取出产品，提高产品的加工效率。

本实用新型还提供一种包括上述的设备面板载台的激光剥离设备。

上述的激光剥离设备及其设备面板载台，将产品放置于工作台上，工作台上开设有N个第一凹槽和L个通孔，其中一个通孔位于工作台的中心处，其他的通孔分布于周围，吸附组件分别与L个通孔连通，吸附组件按从中心到周围的顺序依次对L个通孔进行抽真空，即吸附组件对L个通孔先后抽真空，后抽真空的通孔都被延时抽真空，使工作台的中心到周围的通孔被顺序抽真空，使产品的不同区域被分时段吸附于工作台上，这样可以完全消除产品与设备面板载台之间形成的气泡，使产品不易发生褶皱现象；由于至少一个通孔与其中一个第一凹槽连通，当吸附组件对通孔抽真空时，吸附组件同时对与通孔连通的第一凹槽进行抽真空，可以增大产品被真空吸附作用的面积，从而使产品更牢固的吸附固定于工作台上，又由于产品不易发生褶皱现象，可以保证产品的加工精度。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。