一种等离子处理真空箱体的栅栏式通水极板的制作方法

本实用新型涉及等离子表面处理设备领域，特别涉及一种应用于等离子表面处理的一种等离子处理真空箱体的栅栏式通水极板。

背景技术：

等离子体表面处理设备已广泛应用于PCB制造、电子电路、电子电器、汽车制造、半导体制造、包装、印刷、涂覆、高分子材料、塑胶五金、医疗器械、灭菌等行业，目前已经成为中国最大的真空等离子体处理设备生产企业，产品面涉及极为广泛，在等离子表面处理设备的真空箱体内的普通极板通水不均匀，降温效果不好，极板温度高低不一，温度过高会出现烧板问题，温度过低会影响处理产品效果。极板没有长条孔位，等离子体密度在箱室内不均匀，严重影响处理产品后的均匀性。

技术实现要素：

为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种等离子处理真空箱体的栅栏式通水极板，提高降温效果，减少处理产品时烧板现象，提高处理效果，提高整体处理均匀性。

本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种等离子处理真空箱体的栅栏式通水极板，所述栅栏式通水极板固定在真空箱体内，真空箱体的前后两侧安装有固定框，所述栅栏式通水极板由极板、水道、进水口、出水口以及电极馈入位组成，所述水道包括围绕极板四周设置的方形水道，以及设置在极板中间的若干均匀间隔设置的条形水道，所述若干条形水道之间设有长条形孔位，所述进水口、出水口设置在方形水道上，且在进水口和出水口位置附近设置水流截止位，所述电极馈入位安装在极板上端。

作为本实用新型的进一步改进，所述极板的上方设有固定柱，极板通过固定柱固定安装在真空箱体内。

作为本实用新型的进一步改进，所述真空箱体的底部设有设有料架导槽以及若干固定孔，用于安装和固定料架，所述料架用于挂置栅栏式通水极板。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的等离子处理真空箱体的栅栏式通水极板通过水道和水流截止位实现极板内水流无死角通水，提高降温效果，有效的减少处理产品时烧板现象，提高处理效果；通过长条孔位提高真空箱室内等离子体密度，提高处理产品均匀性；极板采用铝型材焊接，有效避免原材料浪费，降低生产成本，节能减耗。

附图说明

图1为本实用新型真空箱体整体结构示意图；

图2 为本实用新型结构示意图；

图中标示：1-栅栏式通水极板；2-真空箱体；3-固定框；4-极板；5-水道；6-进水口；7-出水口；8-电极馈入位；9-长条形孔位；10-水流截止位；11-固定柱；12-料架导槽；13-固定孔。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。

图1示出了本实用新型一种等离子处理真空箱体的栅栏式通水极板的一种实施方式，所述栅栏式通水极板1固定在真空箱体2内，真空箱体2的前后两侧安装有固定框3，所述栅栏式通水极板1由极板4、水道5、进水口6、出水口7以及电极馈入位8组成，所述水道5包括围绕极板四周设置的方形水道，以及设置在极板4中间的若干均匀间隔设置的条形水道，所述若干条形水道之间设有长条形孔位9，所述进水口6、出水口7设置在方形水道上，且在进水口6和出水口7位置附近设置水流截止位10，所述电极馈入位8安装在极板上端。

所述极板4的上方设有固定柱11，极板4通过固定柱11固定安装在真空箱体2内。

所述真空箱体2的底部设有设有料架导槽12以及若干固定孔13，安装和固定用于挂置栅栏式通水极板1的料架。