晶圆处理装置的制作方法

技术特征：

1.一种晶圆处理装置，包括两相对设置的侧壁，每一侧壁沿竖直方向设置有上层支架和下层支架，所述上层支架用于放置去胶前的晶圆，所述下层支架用于放置去胶后的晶圆；其特征在于，还包括设置于所述上层支架与下层支架之间的隔板，且所述隔板的两相对端分别与两侧壁连接，以隔离所述上层支架与所述下层支架。

2.根据权利要求1所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述隔板内设置有冷却组件，所述冷却组件用于冷却置于所述下层支架上的晶圆。

3.根据权利要求2所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述冷却组件包括布置于所述隔板内的管道，所述管道用于传输冷却水。

4.根据权利要求3所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述管道为在所述隔板内均匀分布的蛇形管。

5.根据权利要求3所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述管道包括冷却水入口和冷却水出口；所述晶圆处理装置还包括相对设置的大气传送阀门和真空传送阀门；所述冷却水入口设置于所述大气传送阀门端，所述冷却水出口设置于所述真空传送阀门端。

6.根据权利要求5所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述隔板与所述大气传送阀门之间具有预设间隙。

7.根据权利要求3所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述隔板采用陶瓷材料制作而成。

8.根据权利要求1所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述上层支架包括沿竖直方向设置的两层子支架，所述下层支架包括沿竖直方向设置的两层子支架。

9.根据权利要求1所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述隔板与所述侧壁可拆卸的连接。